製品概要 日本

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• ハロカーボン

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• バルクガスおよび希ガス

  • Neon
  • クリプトン
  • ヘリウム
  • アルゴン
  • キセノン
  • N2
  • CL2
  • O2
  • CO2
  • 水素

• 炭化水素

  • C2H4
  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • EO/ETO

• 反応体

  • HCL
  • NO、一酸化窒素
  • H2S
  • CO、一酸化炭素
  • NH3

• エッチング剤

  • SF6
  • SO2
  • WF6
  • N2O
  • HBR
  • GeH4
  • SIH4
  • SiF4
  • BF3

• 混合ガス

  • エキシマレーザーガス/Arfプレミックスガス

• その他の化学薬品

  • クリームチャージャー
  • AlH3

• 冷媒ガス

  • R290
  • R170
  • R508B

• ガス機器

  • ポンプ
  • シリンダーラック
  • ガスキャビネット
  • 酸素調整器
  • VMB
  • ISOタンク
  • シリンダーキャップ
  • Valve
  • アルミシリンダー
  • スチールシリンダー