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高純度99.999% オクタフルオロシクロペンテン 半導体用 4N C5F8ガス
| 製品名 : | オクタフルオロシクロペンテン | 純度: | 99.999% |
| CAS No | 559-40-0 | EINECS番号 | 209-203-0 |
| MF: | C5F8 | シリンダーパッケージ: | 10L/16L/20L |
| 国連番号: | UN2810 | 危険物クラス | 6.1 – 毒物 |
| 適切な船積み名 (DOT) : | 有毒物質、液体、有機、n.o.s. | 臭気 | 臭いがなく |
- 概要
- 問い合わせ
- 関連製品
製品の説明
C5F8 オクタフルオロシクロペンテンガス
半導体デバイス製造におけるエッチングプロセスに広く使用され、特に最小の幾何学的特徴（インターコネクトラインの幅、コンタクト、トレンチなど）のサイズと選択的エッチングに使用されます
半導体デバイス製造におけるエッチングプロセスに広く使用され、特に最小の幾何学的特徴（インターコネクトラインの幅、コンタクト、トレンチなど）のサイズと選択的エッチングに使用されます
製品名 : |
オクタフルオロシクロペンテン |
純度: |
99.999% |
CAS No |
559-40-0 |
EINECS番号 |
209-203-0 |
MF: |
C5F8 |
シリンダーパッケージ: |
10L/16L/20L |
国連番号: |
UN2810 |
危険物クラス |
6.1 – 毒物 |
適切な船積み名 (DOT) : |
有毒物質、液体、有機、n.o.s. |
臭気 |
臭いがなく |
特性名 |
特性値 |
分子量
|
212.04
|
XLogP3-AA |
2.1 |
水素結合供与体数 |
0 |
水素結合受容体数 |
8 |
回転可能な結合数 |
0 |
正確な質量 |
211.98722530 |
単一同位体質量 |
211.98722530 |
トポロジカル極性表面積 |
0 Ų |
重原子数 |
13 |
形式電荷 |
0 |
複雑さ |
248 |
同位体原子数 |
0 |
定義された原子立体中心数 |
0 |
未定義の原子立体中心数 |
0 |
定義された結合立体中心数 |
0 |
未定義の結合立体中心数 |
0 |
共有結合単位数 |
1 |
化合物は標準化されています |
はい |
適用
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