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CF4

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工場価格 電子グレード 5N 高純度 99.999% テトラフルオロメタン CF4 ガス
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製品情報

四フッ化炭素は通常の状態では比較的不活性な冷凍剤であり、酸素置換剤でもあり、また様々なウエハーのエッチングプロセスにも使用されます。

CF4は現在、マイクロエレクトロニクス産業で最も広く使用されているプラズマエッチングガスです。シリコン、シリコン二酸化物、シリコン窒化物、リンシリケートガラス、タングステンなどの薄膜材料のエッチングに広く使用され、電子デバイスや太陽電池の表面クリーニングにも使用されます。また、レーザー技術の製造、気相絶縁、低温冷凍、漏れ検出剤、宇宙ロケットの姿勢制御、印刷回路製造における除染剤としても広く使用されています。
四フッ化炭素の化学的安定性により、金属の精錬やプラスチック工業でも使用できます。

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