EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
Yo'q
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Elektron uchun yuqori toza gazlar Monoflorometan 99.999% FC41 UN 2454 Halokarbon 41 Metil florid CH3F O'zbekiston
- haqida umumiy ma'lumot
- so'rov
- Shu Mahsulotlar
Elektron uchun yuqori toza gazlar Monoflorometan 99.999% FC41 UN 2454 Halokarbon 41 Metil florid CH3F
AGEM yarimo'tkazgich chiplarini ishlab chiqarish jarayonida foydalanish uchun yuqori tozalikdagi monofluorometan gazini (CH3F) ishlab chiqarish va sotish.
florometan, metil ftorid, Freon 41, Halocarbon-41 va HFC-41 sifatida ham tanilgan, standart harorat va bosimda toksik bo'lmagan, suyultiriladigan gazdir. U uglerod, vodorod va ftordan qilingan. Ism vodorod atomlaridan biri o'rniga ftor atomi bilan metan (CH4) ekanligidan kelib chiqadi. U yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarida plazma o'tkazgichli reaktorlarda etching gazi sifatida ishlatiladi.
florometan, ko'proq metil ftorid (MeF) yoki Halocarbon 41 deb ataladigan yarimo'tkazgich va elektron mahsulotlar ishlab chiqarishda ishlatiladigan toksik bo'lmagan suyultiriladigan gaz. RF maydoni mavjud bo'lganda u kremniy birikma plyonkalarini tanlab olish uchun ftor ionlariga ajraladi.
ariza:CH3F nitrid plyonkasini etching orqali mikro ishlov berish uchun yarimo'tkazgich chiplarini ishlab chiqarish jarayonida ishlatiladigan maxsus gazdir. CH3F asosan yarimo'tkazgichli xotira chiplarini, shu jumladan NAND flesh va DRAMni ishlab chiqarishda qo'llaniladi, bu esa mikro ishlov berish texnologiyasini talab qiladi. Uning selektivligi boshqa gazlarga qaraganda yuqori bo'lganligi sababli, CH3F 3D NAND chirog'ining ko'p qatlamli tuzilishini mikro ishlov berish uchun javob beradi. CH3F ga talab 3D NAND chirog'ini ishlab chiqarish uchun ko'plab liniyalarning ishga tushirilishi tufayli shu kunlarda ortib bormoqda.
