ບໍລິສັດ Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

ທຸກຫມວດຫມູ່

ບົດບາດຂອງ C3F8 ໃນທາດປະສົມອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາສໍາລັບການປັກແສ່ວ

2024-12-20 19:32:23
ບົດບາດຂອງ C3F8 ໃນທາດປະສົມອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາສໍາລັບການປັກແສ່ວ

ໃນ fairytale ນີ້, ນັກວິທະຍາສາດໄດ້ພົບເຫັນອາຍແກັສພິເສດ, ທີ່ດີສໍາລັບການ etching. ອາຍແກັສແມ່ນເອີ້ນວ່າ c3f8 ອາຍແກັສ: "C-three-F-eight. ຕົວຈິງແລ້ວມັນມີບົດບາດສໍາຄັນຫຼາຍສໍາລັບຂະບວນການ etching ເຮັດວຽກຢ່າງຖືກຕ້ອງ. ບົດຄວາມນີ້ຈະປຶກສາຫາລືກ່ຽວກັບການນໍາໃຊ້ C3F8 ໃນການປະສົມອາຍແກັສສໍາລັບການ etching, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບຜົນປະໂຫຍດຂອງມັນ.

Etching ແມ່ນຫຍັງ?

Etching: ຂະບວນການກໍາຈັດດ້ວຍສານເຄມີແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບຄໍາອະທິບາຍຢ່າງກວ້າງຂວາງຂອງ etching. ມີເຫດຜົນຕ່າງໆສໍາລັບການນີ້. ເພື່ອເປັນຕົວຢ່າງ, ພວກເຮົາອາດຈະຕ້ອງການອອກແບບ/ຂະໜາດທີ່ໜ້າສົນໃຈ ຫຼືໃຊ້ມັນເພື່ອເຮັດຮອຍຂີດຂ່ວນເພື່ອເຮັດຄວາມສະອາດສິ່ງທີ່ເປື້ອນ. ເມື່ອທ່ານຕ້ອງການຂັດສິ່ງທີ່ດີ, ທາດປະສົມຂອງທາດອາຍພິດມັກຈະຖືກໃຊ້ເພາະວ່າມັນເອົາສິ່ງຂອງອອກຈາກພື້ນຜິວໄວກວ່າສິ່ງອື່ນໆ.

ການປະສົມອາຍແກັສມັກຈະປະກອບດ້ວຍອາຍແກັສຕ່າງໆ, ລວມທັງອົກຊີເຈນ, ໄນໂຕຣເຈນແລະ fluorine. ທາດອາຍຜິດທັງ ໝົດ ນີ້ຊ່ວຍ ທຳ ລາຍວັດສະດຸທີ່ພວກເຮົາຕ້ອງການ ກຳ ຈັດ. ໃນການປະສົມອາຍແກັສເຫຼົ່ານີ້, ການເພີ່ມ C3F8 ສາມາດປັບປຸງ etching ຕື່ມອີກ [5]. ອາຍແກັສທີ່ເປັນເອກະລັກນີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການເລັ່ງແລະຄວບຄຸມຂະບວນການ etching, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນຫຼາຍສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາຫຼາຍ.

C3F8 ຊ່ວຍ​ການ​ຂັດ​ໄດ້​ແນວ​ໃດ?

Perfluoropropane (C3F8) ແມ່ນອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຫຼາຍທີ່ທໍາລາຍສານເຄມີເທິງຜິວ. ການເພີ່ມ C3F8 ເຂົ້າໃນການປະສົມອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາເຮັດໃຫ້ການໂຍກຍ້າຍຂອງວັດສະດຸມີປະສິດທິພາບຫຼາຍ. C3F8 ຍັງເພີ່ມຂະບວນການ etch, ໃນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນໂດຍການເພີ່ມການຄັດເລືອກ.

ການເລືອກເຟັ້ນເປັນຄຳສັບທີ່ໜ້າສົນໃຈສຳລັບການສາມາດເອົາສານຊະນິດໜຶ່ງອອກໄດ້ໃນຂະນະທີ່ອອກຈາກສານຊະນິດອື່ນ. ການຄັດເລືອກສູງນີ້ແມ່ນຈໍາເປັນ, ສໍາລັບການຍົກຕົວຢ່າງ, ເພື່ອ etch ດ້ານໂລຫະແຕ່ຍັງມີ layer ຂອງ photoresist ເທິງ. ການຄັດເລືອກນີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໃນລະຫວ່າງການ etch ເພາະວ່າພວກເຮົາບໍ່ຕ້ອງການທີ່ຈະເອົາຊັ້ນທີ່ຈໍາເປັນອື່ນໆແລະ C3F8 ເພີ່ມການຄັດເລືອກນີ້.

C3F8 ໃຊ້ຢູ່ໃສ?

ສະຖານທີ່ທີ່ແຕກຕ່າງກັນຈໍານວນຫຼາຍທີ່ etching ມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍແມ່ນການນໍາໃຊ້ ອາຍແກັສ c3f8. C3F8 ມີ​ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຈໍາ​ນວນ​ຫຼາຍ​ໃນ​ການ​ຜະ​ລິດ​ຂອງ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ເອ​ເລັກ​ໂຕຣ​ນິກ​ຂະ​ຫນາດ​ນ້ອຍ​, MicroElectroMechanical Systems (MEMS​)​, ແລະ​ຫມູ່​ຄະ​ນະ​ແສງ​ຕາ​ເວັນ​ທີ່​ຮູ້​ຈັກ​ຍັງ​ເປັນ photovoltaics​. Etching ແມ່ນຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດຜະລິດຕະພັນໃນຂະແຫນງການເຫຼົ່ານີ້, ແລະທ່ານຈະສາມາດນໍາໃຊ້ C3F8 ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບ etching ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ສຸດທ້າຍ, ທ່ານສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ຫນ້າດິນຂອງພວກເຮົາທີ່ພວກເຮົາກໍາລັງເຮັດວຽກເຊັ່ນດຽວກັນ, ນອກເຫນືອຈາກການຊ່ວຍເຫຼືອທີ່ເລືອກຈາກ C3F8. ອັນນີ້ຍິ່ງສຳຄັນກວ່າສຳລັບແອັບພລິເຄຊັນທົ່ວໄປທີ່ຖືວ່າເປັນກໍລະນີທີ່ພື້ນຜິວຖືກສຳຜັດ ອາດຈະບໍ່ຢາກຕິດຕໍ່ກັບວັດຖຸຕ່າງໆ. C3F8 ຊ່ວຍໃຫ້ພື້ນຜິວທີ່ແກະສະຫຼັກທີ່ພວກເຮົາເຮັດວຽກຢູ່ໃຫ້ຄົງຕົວ.

C3F8 ມີຄວາມສໍາຄັນສໍາລັບ Etcher ບໍ?

C3F8 ອາດຈະເປັນຫນຶ່ງໃນປັດໃຈສໍາຄັນທີ່ສຸດທີ່ກໍານົດການປະຕິບັດ etch ໂດຍລວມ. ດັ່ງນັ້ນ, C3F8 ຮັບປະກັນວ່າໂດຍການເພີ່ມການຄັດເລືອກແລະຄວາມເສຍຫາຍຂອງຫນ້າດິນຫນ້ອຍລົງໃນລະຫວ່າງການ etching, ຂະບວນການຈະກາຍເປັນຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຊ້ໍາກັນ. ນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ພວກເຮົາເຮັດສິນຄ້າຫຼາຍຂຶ້ນ (ເປັນຈໍານວນຫຼາຍ, ຜະລິດຕະພັນທີ່ດີຫຼາຍ) ແລະສິນຄ້າທີ່ມີຄຸນນະພາບດີກວ່າໃນຜະລິດຕະພັນສໍາເລັດຮູບ.

C3F8 ເຮັດວຽກແນວໃດໃນການ etching?

ກ່ອນທີ່ຈະຄົ້ນພົບຮູບແບບພຶດຕິກໍາຂອງມັນໃນການປະສົມອາຍແກັສ reactive ສໍາລັບການ etching, ຄວາມເຂົ້າໃຈພື້ນຖານຂອງ C3F8 utility ແມ່ນຈໍາເປັນ. C3F8 ແມ່ນອາຍແກັສທີ່ສາມາດທໍາລາຍສານເຄມີເທິງຫນ້າດິນໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍ. ມັນຍັງສ້າງຮູບເງົາປ້ອງກັນທີ່ທ່ານສາມາດນໍາໃຊ້ເພື່ອປົກປ້ອງຫນ້າດິນກ່ອນທີ່ມັນຈະເສຍຫາຍໃນຂະນະທີ່ພວກເຮົາເຮັດວຽກກັບມັນ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ C3F8 ໃນອົງປະກອບຂອງອາຍແກັສ reactive ທີ່ຈະນໍາໃຊ້ສໍາລັບການ etching ແມ່ນບໍ່ trivial ແລະຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມສົນໃຈຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນລາຍລະອຽດ. ແຕ່ດ້ວຍຄວາມຮູ້ທີ່ເຫມາະສົມແລະຄໍາອະທິບາຍກ່ຽວກັບການນໍາໃຊ້ C3F8, ມັນສາມາດເປັນການແກ້ໄຂທີ່ມີປະສິດທິພາບໃນການເພີ່ມຜົນຜະລິດແລະຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຂະບວນການ etching.


ດັ່ງນັ້ນ, c4f8 ອາຍແກັສ ແລະ C3F8 ສາມາດມີຫນ້າທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍໃນການອໍານວຍຄວາມສະດວກຂະບວນການກ້ຽງແລະປະສິດທິພາບຂອງ etching. ໃນຖານະເປັນອາຍແກັສ etching, C3F8 ແມ່ນເປັນປະໂຫຍດໃນຂົງເຂດຕ່າງໆໂດຍການເພີ່ມການຄັດເລືອກ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ຫນ້າດິນ, ແລະເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບໂດຍລວມແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ etch. AGEM ແມ່ນຜູ້ຊ່ຽວຊານດ້ານການປະສົມອາຍແກັສບໍລິສຸດແລະຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ລວມທັງການປະສົມອາຍແກັສ reactive ສໍາລັບ etching. ລູກຄ້າສາມາດອີງໃສ່ຄວາມຮູ້ແລະຄວາມຊ່ຽວຊານຂອງ AGEM ເພື່ອຜະລິດຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບດີເລີດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.