ວັດຖຸທີ່ໃຊ້ໃນການແຈ້ງ

ທັງໝົດ

• ເຄື່ອງມືຟິສີກາລັບອື່ນໆ

  • cream charger
  • AlH3

• ກ๊າຊປະສົມ

  • Excimer Laser Gas/Arf Premix Gas

• ວັດຖຸທີ່ໃຊ້ໃນການແຈ້ງ

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • n2o
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• ຜູ້ສາມາດເຄື່ອນໄຫວ

  • NO,ກ๊າຊไนโตรเจນออกไซດ์
  • H2S
  • CO,ກ๊າຊคาร์บอนมอນอกไซด์
  • NH3
  • HCL

• ຮີດຣໍໂຄແບນ

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• ກ๊າສຫຼາຍແລະກ๊າສິດທິພາບ

  • O2
  • CO2
  • ໄຮໂດຣເຈນ
  • N2
  • Xenon
  • ເນອນ
  • Krypton
  • ຮີລຽມ
  • ອາກອນ
  • CL2

• ຮາມາສິດຕ໌

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• แก๊สทำความเย็น

  • R290
  • R170
  • R508B

• อุปกรณ์แก๊ส

  • ໝູ້ນໍ້າ
  • ชั้นวางกระบอกแก๊ส
  • ตู้เก็บแก๊ส
  • เรกูเลเตอร์ออกซิเจน
  • VMB
  • ຖັງ ISO
  • ສຸ່ງແຈນ
  • ลูกล็อค
  • ສິລິນເດີອົມຸມ
  • ສິລິນເຟີສະຕີ້ວ