ອຸປະກອນກGasາຊ

ທັງຫມົດ

• ສານເຄມີອື່ນໆ

  • ເຄື່ອງສາກສີຄີມ
  • AlH3

• ທາດປະສົມ

  • ອາຍແກັສ Excimer Laser/Arf Premix Gas

• Etchants

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • ຮສ
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• ປະຕິກິລິຍາ

  • ບໍ່, nitric oxide
  • H2S
  • CO, ຄາບອນໂມໂນໄຊ
  • NH3
  • HCL

• ໄຮໂດຄາບອນ

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• ອາຍແກັສຫຼາຍ ແລະຫາຍາກ

  • O2
  • CO2
  • ໄຮໂດເຈນ
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • krypton
  • Helium
  • argon
  • CL2

• ຮາໂລຄາບອນ

  • C5F8
  • R508B
  • CHF 3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• ຕູ້ເຢັນຕູ້ເຢັນ

  • R290
  • R170
  • R508B

• ອຸປະກອນກGasາຊ

  • Pump
  • rack ກະບອກ
  • ຕູ້ແກັດ
  • ຄວບຄຸມອົກຊີເຈນ
  • VMB
  • ຖັງ ISO
  • ຝາກະບອກ
  • Valve
  • ກະບອກອາລູມິນຽມ
  • ກະບອກເຫຼັກ