Excimer Laser Gas/Arf Premix Gas

Almal

• Ander chemikalieë

  • Roomlaaier
  • AlH3

• Mengsel gasse

  • Excimer Laser Gas/Arf Premix Gas

• Etsmiddels

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • Hbr
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• reaktante

  • NEE, stikstofoksied
  • H2S
  • CO, Koolstofmonoksied
  • NH3
  • HCL

• koolwaterstowwe

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Grootmaat en skaars gasse

  • O2
  • CO2
  • Waterstof
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • Kripton
  • Helium
  • argon
  • CL2

• Halokoolstowwe

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Koelgas

  • R290
  • R170
  • R508B

• Gas toerusting

  • Pomp
  • Silinderrak
  • Gaskas
  • Suurstof reguleerder
  • VMB
  • ISO-tenk
  • Silinderdop
  • Klep
  • Aluminium silinder
  • Staal silinder