VMB

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• Reactants

  • HCL
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  • CO,Carbon Monoxide
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  • SO2
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  • N2O
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  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3

• Mixture Gases

  • Excimer Laser Gas/Arf Premix Gas

• Other Chemicals

  • Cream charger
  • AlH3

• Refrigerant Gas

  • R290
  • R170
  • R508B

• Gas Equipment

  • Pump
  • Cylinder rack
  • Gas cablinet
  • Oxygen regulator
  • VMB
  • ISO Tank
  • Cylinder Cap
  • Valve
  • Aluminium Cylinder
  • Steel Cylinder