- Tổng quan
- Truy vấn
- Sản phẩm liên quan
Khí C5F8 Octafluorocyclopentene
Được sử dụng rộng rãi trong quá trình ăn mòn trong sản xuất thiết bị bán dẫn, đặc biệt là để ăn mòn có chọn lọc và theo kích thước của các đặc điểm hình học nhỏ nhất (chẳng hạn như chiều rộng của các đường kết nối, điểm tiếp xúc, rãnh, v.v.)