- Giới thiệu chung
- Câu Hỏi
- Sản phẩm tương tự
Khí C5F8 Octafluorocyclopentene
Được sử dụng rộng rãi trong quá trình khắc của sản xuất thiết bị bán dẫn, đặc biệt đối với kích thước và khắc chọn lọc các đặc điểm hình học nhỏ nhất (chẳng hạn như chiều rộng của các đường kết nối, điểm tiếp xúc, rãnh, v.v.)