Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Bu hadisada, ilm-fan asosida maxsus gazni topgan. U gaz etching uchun yaxshi. U gaz deb ataladi c3f8 gaz : "C-uch-F-sakkiz. U etching jarayonining to‘g‘ri ishlashi uchun juda muhim ro‘l o‘ynaydi. Bu maqola C3F8 ni etching uchun gazzaralashdagi foydasi va qulayliklari haqida gapiradi.

Etching (O‘rlanish) Nima?

Etching (O‘rlanish): Kimyoviy ravishda olib tashlash jarayoni etchingning keng tarqalgan ta’rifiga juda o‘xshaydi. Bunda bir necha sabab bor. Masalan, sathda qiziqarli dizaynlar/olchamlar yaratmoqchi bo‘lishimiz mumkin yoki uni tozalash uchun ishlatamiz. Agar narsani yaxshi etching qilmoqchi bo‘lsangiz, gaz aralashmasi ko‘p holatlarda sathdan materialni tezroq olib tashlaydi.

Gaz miyorlari bir necha turdagi gazlarni, u shuningdek, oksigen, azot va fluorini o'z ichiga oladi. Barcha ushbu gazlar bizni olib tashlamoqchi bo'lgan materialni yopishga yordam beradi. Ushbu gaz miyorlarida C3F8 qo'shilishi etchingni [5] yaxshilab turadi. Ushbu xususiy gaz etching jarayonlarini tezlashtirish va boshqarishda muhim rol o'ynaydi, bu esa ko'p sanoatlar uchun juda muhimdir.

C3F8 Etchingni Qanday Yordam Beradi?

Perfluoropropan (C3F8) uzun muddatli reaktiv gazdir, u saf malumotlarni buzib tashlaydi. C3F8 reaktiv gaz miyoriga qo'shilganda, materialni olib tashlash juda effektli bo'ladi. C3F8 etching jarayonini tanlanganligini oshirish orqali muhim tarzda oshiradi.

Tanlovchanlik, bir turdagi maddani olib tashlash imkoniyatini anglatadi, vaqtinchalik boshqa turdagi maddani qoldirish. Masalan, metall sathi niqoblangan photoresist qatlamini saqlash uchun katta tanlovchanlik talab qilinadi. Niqoblash jarayonida bu tanlovchanlik muhim, chunki biz boshqa kerakli qatlamalarni olib tashlama olmaymiz va C3F8 ushbu tanlovchanligini oshiradi.

Qayerda C3F8 ishlatiladi?

Niqlash juda muhim bo'lgan ko'p turdagi joylarda gaz c3f8 ishlatiladi. C3F8 trivial darajada kichik elektronik qurilmalar, MikroElektrMekhanik Sistemalar (MEMS) va surx chorvonalari hamda fotovoltaik panellar yaratishda ko'p qo'llaniladi. Ushbu sektorlardagi mahsulotlarni ishlab chiqarishda niqlash muhim jarayon hisoblanadi va siz C3F8 niqlash performansini aniq oshirish uchun ishlatishingiz mumkin.

Nihoyat, siz ishlayotgan sathni ziyon bilan yengilay olasiz, shuningdek C3F8 dan tanlangan yordamdan foydalanishingiz mumkin. Bu esa, mushu sathga tegish mavzusiga qarab, umumiy ravishda fizik obyektlarga amaliy bog'liq qilmasligi kerak bo'lgan holatlarda ko'proq muhim. C3F8 biz ishlayotgan yengilgan sathlarni saqlashga imkon beradi.

C3F8 Etchermani uchun muhimmi?

C3F8 eng muhim omillardan biri hisoblanadi, bu etchingning umumiy performansini aniqlaydi. Shuning uchun, C3F8 tanlanganlikni oshirish va etching davomida sath bozilishini kamaytirish orqali jarayon aniqroq va takrorlanadigan bo'ladi. Bu esa bizga katta hajmda yaxshi mahsulotlar (Ko'proq Yaxshi Mahsulotlar) ishlab chiqarish va yakuniy mahsulotlarda sifatni yaxshilashga imkon beradi.

C3F8 etchingda qanday ishlaydi?

Reaktiv gaz aralashmasida etching uchun harakat tarzini aniqlashdan oldin, C3F8 foydalanishining asosiy tushunchasini bilish shart. C3F8 to'qirqishga qaraganda, aytib yuborgan ishda to'garakni pozishidan oldin to'garakka himoyalash uchun ishlatilishi mumkin bo'lgan himoyalik fil'm yaratadi.

Etching uchun ishlatiladigan reaktiv gaz tarkiblarida C3F8 ning qo'llanilishi oddiy emas va detallarga e'tibor qaratish talab qilinadi. Ammo C3F8 ni to'g'ri bilim va izoh bilan qo'llash, etching jarayonlari productivligini va aniqliagini oshirish uchun effektiv yechim bo'lishi mumkin.

Natijada, c4f8 gaz va C3F8 o‘zgarish jarayonlarining turli bosqichlarda qattiq va effektiv etching (o‘rlash) jarayonlarini ta’minlashda xususi vazifani bajarishi mumkin. Etching gasi sifatida, C3F8 tanlanganligini oshirish orqali, sathlarga zarar berishni kamaytirish va umumiy etching darajasini va aniqliagini oshirishga yordam beradi. AGEM pastki va yuqori sifatdagi gaslardan, etching uchun reaktiv gaz aralashmalari hamda boshqa aralashmalar bilan shug‘ullanuvchi kompaniya. Xaridorlar AGEM bilimi va maxsuslashtirilgan ishlab chiqarish jarayonidan foydalanib, eng yaxshi natijalarni ta’minlashda ishonib olishlari mumkin.