Gesi Safi za Juu za Elektroniki Monofluoromethane 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl Fluoride CH3F

Uchunguzi

Mapitio
Uchunguzi
Related Products

Gesi Safi za Juu za Elektroniki Monofluoromethane 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl Fluoride CH3F

AGEM kuzalisha na kuuza gesi ya kiwango cha juu cha Monofluoromethane (CH3F) itakayotumika katika mchakato wa utengenezaji wa chips za semiconductor.

Fluoromethane, pia inajulikana kama methyl fluoride, Freon 41, Halocarbon-41 na HFC-41, ni gesi isiyo na sumu, inayoweza kuyeyuka kwa joto la kawaida na shinikizo. Imetengenezwa kwa kaboni, hidrojeni, na fluorine. Jina linatokana na ukweli kwamba ni methane (CH4) na atomi ya florini badala ya moja ya atomi za hidrojeni. Inatumika katika michakato ya utengenezaji wa semiconductor kama gesi ya etching katika reactors za plasma etch.

Fluoromethane, inayojulikana zaidi methyl fluoride (MeF) au Halocarbon 41 ni gesi inayoweza kuyeyuka isiyo na sumu inayotumika katika utengenezaji wa semicondukta na bidhaa za elektroniki. Mbele ya uga wa RF hujitenga na ioni za florini kwa ajili ya kuchagua filamu za kiwanja za silicon.

Maombi:CH3F ni gesi maalum inayotumika katika mchakato wa utengenezaji wa chips za semiconductor kwa filamu ya micromachining nitridi kwa etching. CH3F hutumika zaidi katika utengenezaji wa chips za kumbukumbu za semiconductor ikiwa ni pamoja na NAND flash na DRAM ambayo inahitaji teknolojia ya micromachining. Kwa kuwa uteuzi wake wa etching ni wa juu zaidi kuliko ule wa gesi zingine, CH3F inafaa kwa micromachining ya muundo wa safu nyingi wa 3D NAND flash. Mahitaji ya CH3F yamekuwa yakiongezeka siku hizi kutokana na kuanza kwa laini nyingi za kutengeneza 3D NAND flash.