Mešane plinove

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  • Plin za excimer laser/Arf premix plin

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• Hidrokarboni

  • C2H2
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  • C3H6
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  • EO\/ETO

• Masovni in redki plinovi

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  • N2
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  • CL2

• Halokarboni

  • C5F8
  • R508B
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  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Hladilni plin

  • R290
  • R170
  • R508B

• Plinska oprema

  • Črpalka
  • Stojalo za cilindre
  • Plinski kabinet
  • regulator kisika
  • VMB
  • ISO TANK
  • Zapornik valja
  • Klipka
  • Aluminijev valj
  • jekleni valj