EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Plyny vysokej čistoty pre elektroniku Monofluórmetán 99.999 % FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Metylfluorid CH3F
- Prehľad
- dotaz
- Súvisiace produkty
Plyny vysokej čistoty pre elektroniku Monofluórmetán 99.999 % FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Metylfluorid CH3F
AGEM vyrábať a predávať vysoko čistý monofluórmetánový plyn (CH3F), ktorý sa má použiť vo výrobnom procese polovodičových čipov.
fluórmetán, tiež známy ako metylfluorid, Freon 41, Halocarbon-41 a HFC-41, je netoxický, skvapalnený plyn pri štandardnej teplote a tlaku. Je vyrobený z uhlíka, vodíka a fluóru. Názov vyplýva zo skutočnosti, že ide o metán (CH4) s atómom fluóru nahradeným jedným z atómov vodíka. Používa sa v procesoch výroby polovodičov ako leptací plyn v plazmových leptacích reaktoroch.
fluórmetán, bežnejšie nazývaný metylfluorid (MeF) alebo Halocarbon 41 je netoxický skvapalnený plyn používaný pri výrobe polovodičových a elektronických produktov. V prítomnosti RF poľa sa disociuje na ióny fluóru na selektívne leptanie filmov zo zlúčenín kremíka.
Využitie:CH3F je špeciálny plyn používaný vo výrobnom procese polovodičových čipov na mikroobrábanie nitridového filmu leptaním. CH3F sa používa hlavne pri výrobe polovodičových pamäťových čipov vrátane NAND flash a DRAM, ktoré vyžadujú technológiu mikroobrábania. Pretože jeho selektivita leptania je vyššia ako u iných plynov, CH3F je vhodný na mikroobrábanie viacvrstvovej štruktúry 3D NAND flash. Dopyt po CH3F sa v týchto dňoch zvyšuje v dôsledku spustenia mnohých liniek na výrobu 3D NAND flash.
