EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Prehľad
- dotaz
- Súvisiace produkty
Informácie o produkte:
Fluorid uhličitý je kryogénne chladivo, ktoré je za normálnych podmienok relatívne inertné, vytláča kyslík a používa sa aj pri rôznych procesoch leptania plátkov.
CF4 je v súčasnosti najrozšírenejším plynom na plazmové leptanie v mikroelektronickom priemysle. Môže byť široko používaný pri leptaní tenkovrstvových materiálov, ako je kremík, oxid kremičitý, nitrid kremíka, fosfosilikátové sklo a volfrám, a pri povrchovom čistení elektronických zariadení a solárnych článkov. Je tiež široko používaný pri výrobe laserovej technológie, izolácie v plynnej fáze, nízkoteplotného chladenia, prostriedkov na detekciu netesností, riadenia polohy vesmírnych rakiet a dekontaminačných prostriedkov pri výrobe tlačených obvodov.
Vďaka chemickej stabilite fluoridu uhličitého sa fluorid uhličitý môže používať v tavení kovov a plastov
