- Prehľad
- dotaz
- Súvisiace produkty
Pre polovodičový proces plazmové nanášanie Plyn a leptadlo 99.9 % C318 Perfluórcyklobután Chladiace plyny C4F8
Pri výrobe polovodičových materiálov a zariadení slúži oktafluórcyklobután ako depozičný plyn a leptadlo. Bol tiež skúmaný ako chladivo v špecializovaných aplikáciách, ako náhrada za chlórfluórované uhľovodíkové chladivá poškodzujúce ozónovú vrstvu. Využitím jeho prchavosti a chemickej inertnosti sa oktafluórcyklobután môže nachádzať v niektorých aerosolizovaných potravinách. Je uvedený v Codex Alimentarius pod číslom 946 (E946 pre EÚ). Skúma sa ako možná náhrada za fluorid sírový ako dielektrický plyn.