Gasser med høy renhet for elektronikk Monofluormetan 99.999 % FC41 UN 2454 Halokarbon 41 Metylfluorid CH3F Norge

Forespørsel

Oversikt
Forespørsel
Relaterte produkter

Gasser med høy renhet for elektronikk Monofluormetan 99.999 % FC41 UN 2454 Halokarbon 41 Metylfluorid CH3F

AGEM produsere og selge høyren monofluormetangass (CH3F) som skal brukes i produksjonsprosessen av halvlederbrikker.

Fluormetan, også kjent som metylfluorid, Freon 41, Halocarbon-41 og HFC-41, er en ikke-giftig, flytende gass ved standard temperatur og trykk. Den er laget av karbon, hydrogen og fluor. Navnet stammer fra det faktum at det er metan (CH4) med et fluoratom substituert for ett av hydrogenatomene. Den brukes i halvlederfremstillingsprosesser som en etsegass i plasmaetsereaktorer.

Fluormetan, mer ofte kalt metylfluorid (MeF) eller Halocarbon 41 er en ikke-giftig flytende gass som brukes til fremstilling av halvledere og elektroniske produkter. I nærvær av et RF-felt dissosieres det til fluorioner for selektiv etsing av silisiumsammensatte filmer.

Søknad:CH3F er en spesialgass som brukes i produksjonsprosessen av halvlederbrikker for mikrobearbeiding av nitridfilm ved etsing. CH3F brukes hovedsakelig til produksjon av halvlederminnebrikker inkludert NAND-flash og DRAM som krever mikromaskinteknologi. Siden etseselektiviteten er høyere enn for andre gasser, er CH3F egnet for mikrobearbeiding av flerlagsstruktur av 3D NAND-blits. Etterspørselen etter CH3F har økt i disse dager på grunn av oppstart av mange linjer for å produsere 3D NAND-blits.