- Oversikt
- Forespørsel
- Relaterte produkter
Produktinformasjon:
Karbontetrafluorid er et kryogent kjølemiddel som er relativt inert under normale forhold, en oksygenfortrenger, og brukes også i forskjellige prosesser for etsing av wafer.
CF4 er for tiden den mest brukte plasmaetsegassen i mikroelektronikkindustrien. Det kan brukes mye i etsing av tynnfilmmaterialer som silisium, silisiumdioksid, silisiumnitrid, fosfosilikatglass og wolfram, og i overflaterengjøring av elektroniske enheter og solceller. Det er også mye brukt i produksjon av laserteknologi, gassfaseisolasjon, lavtemperaturkjøling, lekkasjedeteksjonsmidler, kontroll av romraketters holdning og dekontamineringsmidler i produksjon av trykte kretser.
På grunn av den kjemiske stabiliteten til karbontetrafluorid, kan karbontetrafluorid brukes i metallsmelting og plastindustri