- आढावा
- चौकशी
- संबंधित उत्पादने
सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी प्लाझ्मा डिपॉझिशन गॅस आणि इचेंट 99.9% C318 परफ्लुरोसायक्लोब्युटेन रेफ्रिजरंट्स गॅस C4F8
सेमीकंडक्टर मटेरियल आणि उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये, ऑक्टाफ्लुरोसायक्लोब्युटेन डिपॉझिशन गॅस आणि इचेंट म्हणून काम करते. ओझोन कमी करणाऱ्या क्लोरोफ्लुरोकार्बन रेफ्रिजरंट्सच्या बदली म्हणून, विशेष ऍप्लिकेशन्समध्ये रेफ्रिजरंट म्हणून देखील याची तपासणी केली गेली आहे. त्याच्या अस्थिरतेचा आणि रासायनिक जडत्वाचा उपयोग करून, काही एरोसोलाइज्ड पदार्थांमध्ये ऑक्टाफ्लुरोसायक्लोब्युटेन आढळू शकते. कोडेक्स ॲलिमेंटारियसने ९४६ (EU साठी E946) या क्रमांकाखाली सूचीबद्ध केले आहे. डायलेक्ट्रिक गॅस म्हणून सल्फरहेक्साफ्लोराइडचे संभाव्य बदल म्हणून त्याची तपासणी केली जाते.