Электроникийн өндөр цэвэршилттэй хий Монфлуорометан 99.999% FC41 UN 2454 Галокарбон 41 Метил фтор CH3F
AGEM Хагас дамжуулагч чипс үйлдвэрлэх процесст ашиглах өндөр цэвэршилттэй монофторметан хий (CH3F) үйлдвэрлэж борлуулах.
Фторметан, Метил фтор, фреон 41, галокарбон-41, HFC-41 гэгддэг энэ нь стандарт температур, даралтад хоргүй, шингэрүүлдэг хий юм. Энэ нь нүүрстөрөгч, устөрөгч, фтороос бүрддэг. Энэ нэр нь устөрөгчийн аль нэг атомын оронд фторын атом бүхий метан (CH4) байдгаас үүдэлтэй. Энэ нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст плазмын сийлбэрийн реакторт сийлбэрлэх хий болгон ашигладаг.
Фторметан, ихэвчлэн метил фтор (MeF) буюу галокарбон 41 гэж нэрлэдэг нь хагас дамжуулагч болон электрон бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхэд ашигладаг хоргүй шингэрдэг хий юм. RF-ийн талбар байгаа тохиолдолд энэ нь цахиурын нийлмэл хальсыг сонгомол сийлбэрлэх зорилгоор фторын ионуудад хуваагддаг.
Програмын:CH3F нь нитридын хальсыг сийлбэрээр бичил боловсруулалт хийх зориулалттай хагас дамжуулагч чипс үйлдвэрлэхэд ашигладаг тусгай хий юм. CH3F-ийг голчлон хагас дамжуулагч санах ойн чип үйлдвэрлэхэд ашигладаг бөгөөд үүнд бичил боловсруулах технологи шаардагддаг NAND флаш болон DRAM. Сийлбэрийн сонгомол чанар нь бусад хийтэй харьцуулахад өндөр байдаг тул CH3F нь 3D NAND флэшийн олон давхаргат бүтцийг бичил боловсруулахад тохиромжтой. Эдгээр өдрүүдэд 3D NAND флаш үйлдвэрлэх олон шугам нээгдэж байгаатай холбоотойгоор CH3F-ийн эрэлт нэмэгдэж байна.