EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Электроникт ашиглагдах их чанаруудтай МоноФлуорометан 99.999% FC41 UN 2454 Халокарбон 41 Метил Флуорид CH3F
- Төгсөгч
- Хүсэлт
- Холбоотой бүтээгдэхүүнүүд
Электроникт ашиглагдах их чанаруудтай МоноФлуорометан 99.999% FC41 UN 2454 Халокарбон 41 Метил Флуорид CH3F
AGEM их чист Монофторметан газ (CH3F) семикондуктор шилдэгчийн бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн процессд ашигладаг.
Фторметан, мөн метил флуорид, Фреон 41, Халокарбон-41, HFC-41 гэж нэрлэгддэг, стандарт хэмжээнд байх үед ихэнхдээ амьсгалт, цус болгоход зориулагдсан газ юм. Энэ нь карбон, хүчээсэн, флуоринээс бүрддэг. Нэр нь энэ нь метан (CH4) молекул дэх нэг хүчэсний оронд флуорин атом орсон байдаг учир тодорхойлогдсон юм. Энэ нь плазма хувиргах reactor-ууд дахь хувиргагч газ болгон семикондукторын бүтээгдэхүүн бий болгох процессыг ашиглахад ашигладаг.
Фторметан, ихэвчлэн метил флуорид (MeF) эсвэл Халокарбон 41 гэж нэрлэгддэг, амьсгалт, цус болгоход зориулагдсан газ юм. Энэ нь RF field-ийн байрлалд байхад флуорин ионууд рүү хувааж, селектив хувиргахад ашигладаг силингийн хамгийн film-үүд.
Хэрэглэе :CH3F микро шинжлэх технологийн дагуу нитрид эмзэг барихын тулд хэрэглэгддэг специал газ юм. CH3F нь NAND flash, DRAM гэх мэт эх сурвалжийн чипүүдийг бий болгоход зориулагдсан микромашининг технологийг ашиглахад хэрэглэгддэг. Энэ нь өөр газуудтой харьцуулахад эмзэг барихын сонголтын хувь нь ихтэй учраас CH3F нь 3D NAND flash-ийн тархалтанд зориулж байгаа хамгийн олон тархалтын структурыг машининг хийхэд зориулагдсан юм. 3D NAND flash-ийн бүтээгдэхүүнийг бий болгоход зориулсан олон тархалт ажиллаж байгаа учир CH3F-ийн хэрэглээ нэгэн цагт нэмэгдэж байна.
