- Тойм
- Лавлагаа
- Холбоотой бүтээгдэхүүн
C5F8 Октафторциклопентен хий
Хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэх сийлбэрийн процесст өргөн хэрэглэгддэг, ялангуяа геометрийн хамгийн жижиг хэсгүүдийн хэмжээ, сонгомол сийлбэр (харилцан холболтын шугам, контакт, суваг гэх мэт) өргөн хэрэглэгддэг.