EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
Үгүй
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Өндөр цэвэршилттэй 99.999% электрон зэрэглэлийн хагас дамжуулагч C4F6 хий Октафторциклобутан хий
- Тойм
- Лавлагаа
- Холбоотой бүтээгдэхүүн
Хуурай сийлбэрийн исэлд суурилсан материал Шахсан шингэрүүлсэн хий Perfluoro 2 butyne H 2316 Perfluoro2butyne C4F6
Хексафторо1,3-бутадиен нь хортой, өнгөгүй, үнэргүй, шатамхай шингэрүүлсэн шахсан хий юм.
Олон жилийн судалгаагаар C4F6 (H-2316) нь исэлд суурилсан материалыг хуурай сийлбэрлэх хэд хэдэн давуу талтай болохыг харуулсан.
Энэ нь цахиурын исэлд өргөн хэрэглэгддэг өөр нэг бодис болох октафторциклобутан (c-C4F8 – H318)-аас өндөр сийлбэрийн хурд, сонгомол чанар юм. C4F8 (H318), C4F6 (H2316)-аас ялгаатай нь зөвхөн диэлектрик субстратыг сийлсэн байдаг. Сийлсэн бүтэц нь илүү өндөр харьцаатай бөгөөд энэ нь c-C4F8-тай харьцуулахад илүү нарийссан суваг руу хүргэдэг. VOC ялгаруулалт багассан: C4F6 (H2316) нь агаар мандалд хамаагүй богино хугацаанд амьдрах чадвартай тул дэлхийн дулаарлын хүчин чадал багатай.
Хэрэглээ:
Хэлхээний шугамын өргөн ба гүнийг багасгахын тулд LSI үйлдвэрлэлийн процесст шаардлагатай дараагийн үеийн үндсэн материалууд. Хуурай сийлбэрийн хий нь бичил контактын нүхийг сийлбэрлэх процесст ашиглагддаг. CxFy химийн томъёонд суурилсан тусгай хийнүүдийн хувьд F/C утга бага байх тусам CF2 бүлгүүд ихэсдэг. C2F6 C3F8-тай харьцуулахад C4F6 нь F/C харьцаа багатай бөгөөд илүү олон CF2 бүлгийг үүсгэдэг бөгөөд энэ нь эргээд илүү их исэлдүүлэгч хальс үүсгэдэг. Тиймээс C4F6 нь исэлдлийн хальсыг илүү сонгон авах чадвартай бөгөөд илүү жигд сийлбэр хийх боломжийг олгодог.
