EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
99.999%-р чимэглэлийн Электроникт ашиглагддаг Семикондукторын хэрэгслээр C4F6 Газ Октафторциклобутан Газ
- Төгсөгч
- Хүсэлт
- Холбоотой бүтээгдэхүүнүүд
Хавтгайн материалууд дээр хүрээндүүлэх тодорхойлолт, Химийн шугамшсан газ, Перфлуоро 2 бутин H 2316, Перфлуоро2бутин C4F6
Хексафлуор 1,3-бутадиен нь амьдтай, цэнхэр өнгөтэй, хоолойгүй, эсвэл тусгаарлагдсан газ бөгөөд хуучин байдалд байдаг.
Шинжлэх ухааны олон жилний судалгаа нь C4F6 (H-2316) нь оксидын альдагад зориулж суваглахад ихэнхийн хялбарчлагч болох хэд хэдэн хамгийн сайн үзэгдлийг гаргасан:
Энэ нь октафлуорцикlobутан (c-C4F8 – H318)-ээс илүү их суваглах хурдтай, сонголтот байдаг. C4F8 (H318)-аас өөр C4F6 (H2316) ашигладагдахад, зөвхөн диэлектрик хувилбар суваглагддаг. Суваглагдсан бүтэц нь ихэнхийн харьцаатай байдаг, энэ нь c-C4F8-ээс хамгийн чухал нь хамгийн бага хэмжээтэй шугамуудтай байдаг. VOC эмиссийн тоог бууруулна: C4F6 (H2316) нь атмосфер дотор ихэнх хугацаанд байдаггүй учраас глобал өнгөрөөний потенциал нь бага.
Хэрэглээ:
Дараах үеийн төвөгтэй материалуудыг ЛСИ бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн процесст дугуйны хурд болон үлдэгдлийг багасгахад ашигладаг. Сух эрчим газ нь микро холбооны цогцлын эрчимтэй процест ашиглагддаг. CxFy хими утгын хувьд осон газуудад F/C утга бага байхдаа CF2 группуудыг ихэвчлэн үүсгэнэ. C2F6, C3F8-аас илүү C4F6-ийн F/C харьцаа бага бөгөөд CF2 группуудыг ихэвчлэн үүсгэн, тэгшитгэлийг ихэвчлэн хийдэг. Иймд C4F6 нь оксид филмтэй харьцуулан их сонголттой бөгөөд тэгшитгэлийг ихэвчлэн бодит байдлаар хийдэг.
