EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
Үгүй
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Энэ үлгэрт эрдэмтэд сийлбэр хийхэд тохиромжтой тусгай хий олжээ. хий гэж нэрлэдэг c3f8 хий: "C-three-F-3. Энэ нь сийлбэр хийх үйл явцыг зөв явуулахад маш чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэ нийтлэлд сийлбэр хийх зориулалттай хий холиход C8FXNUMX ашиглах, түүнчлэн түүний ашиг тусыг авч үзэх болно.
Etching гэж юу вэ?
Сийлбэр: Химийн бодисоор арилгах үйл явц нь сийлбэрийн өргөн тодорхойлолттой маш төстэй юм. Үүнд янз бүрийн шалтгаан бий. Жишээлбэл, бид гадаргуу дээр сонирхолтой загвар/хэмжээ хийх эсвэл бохир зүйлийг цэвэрлэхийн тулд сийлбэр хийхэд ашиглахыг хүсч болно. Аливаа зүйлийг сайн сийлбэрлэхийг хүсвэл хийн хольцыг ихэвчлэн ашигладаг, учир нь энэ нь гадаргуугаас бодисыг бусдаас илүү хурдан арилгадаг.
Хийн хольц нь ихэвчлэн хүчилтөрөгч, азот, фтор зэрэг янз бүрийн хийнээс бүрддэг. Эдгээр бүх хий нь бидний арилгахыг хүсч буй материалыг задлахад тусалдаг. Эдгээр хийн хольцуудад C3F8 нэмснээр сийлбэрийг сайжруулж чадна [5]. Энэхүү өвөрмөц хий нь сийлбэрлэх процессыг хурдасгах, хянахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд энэ нь олон салбарт маш чухал юм.
C3F8 сийлбэр хийхэд хэрхэн тусалдаг вэ?
Перфторпропан (C3F8) нь гадаргуугийн химийн бодисыг задалдаг маш идэвхтэй хий юм. Реактив хийн холимогт C3F8 нэмснээр материалыг зайлуулах ажлыг илүү үр дүнтэй болгодог. C3F8 нь сонгомол чанарыг нэмэгдүүлэх замаар сийлбэрлэх процессыг нэмэгдүүлдэг.
Сонголт гэдэг нь нэг төрлийн бодисыг гадагшлуулж, өөр төрлийн бодисыг үлдээх чадвартай гэсэн гоёмсог нэр томъёо юм. Энэ өндөр сонгомол чанар нь жишээлбэл, металл гадаргууг сийлэхэд шаардлагатай боловч дээр нь фоторезистийн давхарга байдаг. Энэ сонгомол чанар нь сийлбэр хийх явцад чухал байдаг, учир нь бид бусад шаардлагатай давхаргыг арилгахыг хүсэхгүй байгаа бөгөөд C3F8 нь энэ сонгомол чанарыг нэмэгдүүлдэг.
C3F8 хаана ашиглагддаг вэ?
Сийлбэр хийх нь маш чухал байдаг олон янзын газруудыг ашиглаж байна хий c3f8. C3F8 нь жижиг электрон төхөөрөмжүүд, MicroElectroMechanical Systems (MEMS) болон фотоволтайк гэгддэг нарны хавтанг үйлдвэрлэхэд олон хэрэглээтэй. Сийлбэр нь эдгээр салбарт бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх чухал үйл явц бөгөөд сийлбэрийн гүйцэтгэлийг мэдэгдэхүйц сайжруулахын тулд C3F8 ашиглах боломжтой болно.
Эцэст нь хэлэхэд, та C3F8-ийн сонгон тусламжаас гадна бидний ажиллаж байгаа гадаргуу дээрх гэмтлийн нөлөөллийг бууруулж чадна. Энэ нь ерөнхийдөө хүрч байгаа гадаргуу нь ямар нэгэн физик объекттой харьцах нь зохисгүй тохиолдол гэж тооцогддог хэрэглээний хувьд илүү чухал юм. C3F8 нь бидний ажиллаж буй сийлсэн гадаргууг цэвэрхэн байлгах боломжийг олгодог.
C3F8 нь Etcher-д хамаатай юу?
C3F8 нь сийлбэрийн гүйцэтгэлийг тодорхойлдог хамгийн чухал хүчин зүйлүүдийн нэг юм. Тиймээс C3F8 нь сийлбэр хийх явцад сонгомол чанарыг сайжруулж, гадаргуугийн эвдрэлийг багасгаснаар процесс илүү нарийвчлалтай, давтагдах боломжтой болдог. Энэ нь бидэнд илүү их бараа (бөөнөөр, илүү сайн бүтээгдэхүүн) хийхээс гадна бэлэн бүтээгдэхүүнд илүү чанартай бараа хийх боломжийг олгодог.
C3F8 сийлбэр дээр хэрхэн ажилладаг вэ?
Сийлбэр хийх реактив хийн хольц дахь түүний зан үйлийн хэв маягийг олж мэдэхээс өмнө C3F8 хэрэгслийн талаар үндсэн ойлголттой байх шаардлагатай. C3F8 нь химийн бодисыг гадаргуу дээр амархан задалдаг хий юм. Энэ нь мөн хамгаалалтын хальс үүсгэдэг бөгөөд үүнийг бидэнтэй ажиллах явцад гадаргууг гэмтэхээс нь өмнө хамгаалах боломжтой.
Сийлбэр хийхэд ашиглах реактив хийн найрлагад C3F8-ийг хэрэглэх нь энгийн зүйл биш бөгөөд нарийн ширийн зүйлийг анхаарч үзэхийг шаарддаг. Гэхдээ C3F8-ийг ашиглах талаар зохих мэдлэг, тайлбартай бол энэ нь сийлбэрлэх үйл явцын бүтээмж, нарийвчлалыг нэмэгдүүлэх үр дүнтэй шийдэл болж чадна.
Үр дүнд нь, c4f8 хий болон C3F8 нь сийлбэрийн жигд, үр дүнтэй үйл явцыг хөнгөвчлөх маш чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Сийлбэрийн хийн хувьд C3F8 нь сонгомол чанарыг нэмэгдүүлж, гадаргуугийн эвдрэлийг багасгаж, сийлбэрийн ерөнхий үр ашиг, нарийвчлалыг нэмэгдүүлэх замаар янз бүрийн хэсэгт тустай. AGEM нь цэвэр, өндөр цэвэршилттэй хийн хольц, түүний дотор сийлбэр хийх реактив хийн хольцын мэргэжилтэн юм. Үйлчлүүлэгчид дээд зэргийн чанартай эцсийн бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхийн тулд AGEM-ийн ноу-хау, мэргэшилд найдаж болно.