EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Te Maamaa Teitei 99.999% Tohu Hiko Mo te Whakamahi Semiconductor C4F6 Gas Octafluorocyclobutane Gas
- Overview
- Inquiry
- e pā ana Products
Nga Rauemi Hangarite Oxide Whakamao Kua Kopea Nga Hau Rerewa Whakarerea Perfluoro 2 butyne H 2316 Perfluoro2butyne C4F6
Ko te Hexafluoro1,3-butadiene he paitini, he kore tae, he kakara, he karehu karehu karehu.
Kua kitea e nga tau rangahau he maha nga painga o te C4F6 (H-2316) mo te whakamaroketanga o nga rawa-waikura:
He teitei ake te reiti etch me te whiriwhiringa i te octafluorocyclobutane (c-C4F8 – H318), tetahi atu etchant whakamahia nuitia mo te waikura silicon. Kaore i rite ki a C4F8 (H318), me C4F6 (H2316), ko te taputapu dielectric anake ka mau. He teitei ake te owehenga o te hanganga etched, e arai ana ki nga awarua whaiti ka whakaritea ki te c-C4F8.Ka whakahekehia nga tukunga VOC: C4F6 (H2316) he iti te kaha o te whakamahana o te ao na te mea he poto ake te ora o te hau.
Taupānga:
Ko te whakatipuranga e whai ake nei o nga rawa matua e hiahiatia ana i roto i nga tukanga whakaputa LSI hei whakaiti i te whanui me te hohonu o te raina ara iahiko. Ka whakamahia te hau maroke i roto i te tukanga tarai o nga rua whakapiri moroiti. Mo nga hau motuhake i runga i te tauira matū CxFy, ka iti ake te uara F/C, ka nui ake nga roopu CF2 ka puta. Ka whakatauritea ki te C2F6 C3F8, he iti ake te tauwehenga F/C a C4F6, ka nui ake nga roopu CF2, na reira ka nui ake te kiriata waikura. No reira, he nui ake te kowhiringa o te C4F6 ki te kiriata waikura, a ka taea e ia te ahua o te ahua o te hangai.
