Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Whārangi 1: He aha te Plasma Etching? 

Kia ora, kua rongo ano koe mo tetahi mea e kiia nei ko te plasma etching? Ko te tarai plasma he tukanga i whakamahia e matou ki te whakaputa hiko, penei i nga maramara rorohiko ka kitea i roto i nga papa me nga taputapu pūkoro. Ma te whakamahi i te tikanga e kiia nei ko te lithography, ka whakairohia nga hoahoa iti, tauira ranei ki runga i nga rawa - he mahi nui ki te whakawhanake i enei taputapu. Me whai hau motuhake tenei weri hei mahi matū ki te rauemi e whakamahia ana e matou. Ko te hau e whakamahia ana e matou i te wa e mahi ana i tenei tukanga ka kiia ko C3F8. 

He hau whakaihiihi a C3F8 na te mea ka tere te tauhohenga ki nga matū e hiahia ana tatou ki te tarai. Ko te tikanga he tere ake te tarai i nga haurehu. Mena ka mahi tahi matou me C3F8, ka whiwhi matou i nga tohu tino maamaa me te tika o nga hoahoa. He tino whai hua tenei ki te hanga maramara rorohiko, me etahi atu taputapu hiko e tika ana te mahi i nga mahi. 

C3F8: Te Whakapai ake i te Mahinga Etching 

I roto i tenei horopaki, ka mahi a C3F8 hei hau awhina hei whakarei ake i te pai o te tarai. Ka whai waahi a C3F8 ki te aukati i te plasma hau kia kore e pa ki nga pakitara o te ruma tarai. Ko te mea, ko te plasma e pa ana ki nga pakitara ka nui ake te waa o te tarai. I te wa e whakamahia ana te C3F8, ka tukuna e ia te plasma tika ki nga mea e tika ana kia taraihia. Ma tenei ka tino whakatere me te whakaene i te tukanga katoa. 

Kei a C3F8 ano te painga o te tino pai. Ka whakamaoritia tenei ki te mauroa, a ka mau i a ia ona ahuatanga whakamarumaru mo nga tau maha. No reira, Ma te whakamahi i te C3F8 e kore e whakatere noa i te tarai engari ka taea hoki te pupuri i te kounga riterite. 

[[STIR] Wharangi Mahi Mata 3: CH4 Te Whakamahinga o C3F8 Hanga Titipi Rorohiko Iti 

Kua whakaaro koe me pehea te hanga i aua maramara rorohiko iti? Ko te tikanga ko te tuhi tauira karaihe—he iti rawa—ki runga i te maramara kirikiri. Ko tenei silicon he rawa hiko matua. Ko te C3F8 he mea tino nui mo tenei mahi na te mea ka taea e ia te whakatutuki i nga tohu tino koi me te ma. Ko te mea nui, na te mea me whai tauira te maramara rorohiko kia pai ai te mahi. 

Na te C3F8, ka taea e nga kaihanga te hanga i enei tauira iti i runga i te tika me te whakaputa. Ko te tikanga ka taea e ia maramara te mahi noa. Ko te C3F8 ano he etchant tino whai kiko, na te mea ka taea e ia te tarai i nga momo rauemi maha. Ma tenei ka taea e nga kaihanga te whakaputa i nga taonga hiko rereke me nga waea atamai me nga papa. 

C3F8 – Te hau pai mo te wehe 

Ina tae mai ki te poraka hau, ehara i te mea whai hua noa te C3F8 engari he pai ano hoki. I te mea he tino pumau te ahua ka taea te whakamahi i nga wa katoa, he otinga tino kore utu. Ko te tikanga me iti ake te hoko a nga kaihanga C3F8 hei utu mo te hoko hau utu nui ake. Ma tenei ka taea e nga kamupene te whakaheke i nga utu o te pupuri i te wa e whiwhi hua pai ana me te C3F8 kua tiakina. 

I tua atu, ko te C3F8 he tino pai ki te taiao. Ehara tenei i te rongo pai mo te whakamahanatanga o te ao, ko te tino raruraru o te ao i enei ra. He painga motuhake to C3F8 i runga i te nuinga o nga hau e kore e tuku matū paitini ki te hau. Na tera ka pai te whiriwhiri mo nga kaihanga whai mana e hiahia ana ki te haere matomato i te wa e whakaputa ana a raatau hua. 

C3F8 He pai ake, he tere ake te tuhi 

Ae, ko te C3F8 te hau e tarai ana na te mea he tino tere, he tika hoki te mahi mo nga rawa maha. He tere ake tenei mo nga kaihanga ki te hanga i nga taputapu hiko maha. Ma te C3F8, ka taea e raatau te penapena moni i te wa e mau tonu ana.