Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

I roto i tenei korero pakiwaitara, i kitea e nga kaiputaiao he hau motuhake, he pai mo te tarai. Ka kiia te hau c3f8 hau: "C-toru-F-waru. He mea tino nui te mahi mo te mahi tarai. Ka korero tenei tuhinga mo te whakamahinga o te C3F8 i roto i te whakaranu hau mo te tarai, me ona painga.

He aha te Etching?

Te werohanga: He rite tonu te tukanga tango matū ki te whakaahuatanga whanui mo te tarai. He maha nga take mo tenei. Hei tauira, ka hiahia pea tatou ki te hanga hoahoa/ rahinga whakamere ki runga i te mata, hei whakamahi ranei mo te tarai hei horoi i tetahi mea paru. Ina hiahia koe ki te tarai i tetahi mea pai, ka whakamahia te ranunga haurehu na te mea ka tere ake te tango matū mai i te mata i etahi atu.

He maha nga momo hau kei roto i nga ranunga hau, tae atu ki te hāora, te hauota me te fluorine. Ka awhina enei hau katoa ki te wawahi i nga rawa e hiahia ana matou ki te whakakore. I roto i enei ranunga hau, ko te taapiri o te C3F8 ka taea te whakapai ake i te tarai [5]. He mahi nui tenei hau ahurei ki te whakatere me te whakahaere i nga mahi tarai, he mea tino nui mo nga umanga maha.

Me pehea te awhina a C3F8 ki te tarai?

Ko te Perfluoropropane (C3F8) he hau tino tauhohenga e wawahi ana i nga matū mata. Ko te taapiri o te C3F8 ki te ranunga hau hohenga ka pai ake te tango o nga rawa. Ka whakanuia e C3F8 te tukanga etch, he mea nui ma te whakanui ake i te whiriwhiringa.

Ko te whiriwhiringa he kupu whakahirahira mo te kaha ki te tango i tetahi momo matū me te waiho i tetahi atu momo matū. Ko tenei whiriwhiringa teitei e hiahiatia ana, hei tauira, ki te tarai i te mata whakarewa engari he paparanga photoresist kei runga. He mea nui tenei whiriwhiringa i te wa o te etch na te mea kaore matou e pai ki te tango i etahi atu paparanga e tika ana, a ka whakanuia e C3F8 tenei whiriwhiringa.

Kei hea te whakamahi a C3F8?

He maha nga waahi rereke e whakamahia ana he mea whakahirahira hau c3f8. He maha nga tono a C3F8 ki te hanga i nga taputapu hiko iti iti, MicroElectroMechanical Systems (MEMS), me nga panui solar e mohiotia ana ko te photovoltaics. He mahinga nui te tarai i roto i te hanga hua i enei wahanga, ka taea e koe te whakamahi C3F8 ki te whakarei ake i te mahi tarai.

Ka mutu, ka taea e koe te whakaiti i te paanga o te kino ki to maatau mata e mahi ana ano matou, hei taapiri i nga awhina whiriwhiri mai i C3F8. He mea nui ake tenei mo nga tono e kiia ana ko nga keehi ka pa ki te mata karekau e pai ki te whakapiri atu ki etahi mea tinana. Ka taea e C3F8 nga papa taraihia kia noho parakore.

He mea nui a C3F8 mo te Etcher?

Ko te C3F8 pea tetahi o nga mea tino nui e whakatau ana i nga mahi etch katoa. Na reira, ka whakarite a C3F8 ma te whakarei ake i te kowhiringa me te iti ake o te kino o te mata i te wa e tarai ana, ka tika ake te mahi me te whakahoki ano. Ma tenei ka taea e matou te hanga i etahi atu taonga (i roto i te nuinga, Ētahi atu Hua Pai) me nga taonga pai ake i roto i nga hua kua oti.

Me pehea te mahi a C3F8 ki te Etching?

I mua i te kitenga i tana tauira whanonga i roto i te ranunga hau tauhohenga mo te tarai, me maarama ki te whaipainga C3F8. Ko te C3F8 he hau e ngawari ana ki te wawahi matū i runga i te mata. Ka hangaia he kiriata whakamarumaru ka taea e koe te whakamahi hei tiaki i te mata i mua i te pakarutanga i a maatau e mahi ana.

Ko te whakamahinga o te C3F8 i roto i nga titonga hau tauhohenga hei whakamahi mo te tarai he mea iti, me te aro nui ki nga korero. Engari ma te mohiotanga me te whakamaramatanga tika mo te whakamahi C3F8, ka taea e ia te otinga pai ki te whakarei ake i te hua me te tika o nga mahi tarai.

Ko te mutunga, c4f8 hau me te C3F8 he mahi tino nui ki te whakahaere i nga mahi maeneene me te pai o te tarai. Ka rite ki te hau rewa, he awhina a C3F8 i nga waahi rereke ma te whakanui ake i te whiriwhiringa, te whakaheke i te kino o nga papa, me te whakarei ake i te pai me te tika o te etch. Ko AGEM te tohunga mo nga ranunga hau parakore me te parakore teitei, tae atu ki nga ranunga hau tauhohe mo te tarai. Ka taea e nga kaihoko te whakawhirinaki ki te mohio-pehea me te tohungatanga AGEM ki te whakaputa tino pai, mahi tonu o nga hua mutunga-kounga.