Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Ka tino whakawhirinaki matou ki a maatau hangarau, engari ka kite koe i nga miihini iti e whakamahia ana e matou i nga ra katoa i roto i o raatau ahua tino parakore, kua whakaaro ano matou me pehea te hanga? Ko te plasma etchers, ko nga miihini e hanga ana i enei miihiniiti. Ko enei taputapu whakamiharo e whakamahi ana i te hau e kiia nei hau c3f8 ki te tarai tauira iti ki runga angiangi silicon. I te wa i hangaia ai enei tauira, ka hangaia nga porowhita, ka taea e te rorohiko, te waea atamai, etahi atu taputapu ranei te mahi tika. Ko enei huanui hiko paku (panui iahiko) he mea nui kia pai te mahi a a tatou taputapu.

Ko te C3F8 he hau hou e mau tonu ana me te kaha teitei me te pāmahana teitei, nga taonga pehanga-atete ka kitea i roto i nga umanga maha. Ko te tikanga he pai mo te hanga miihiniiti. Ma tenei ka whakatika nga mea katoa i roto i te hanga miihiniiti ma te whakanui ake i te painga mo te plasma etch me te C3F8. Ka taea e maatau te hanga miihini miihini he tino pai ake, he pai ake te kounga.

Nga Whakamahinga Hou mo C3F8 Etching

I mua, he iti noa nga taputapu plasma ka taea e raatau te mahi. He iti te whai huatanga ki runga i nga rawa motuhake. Heoi, ko te C3F8, he momo rerekee i kitea e nga kairangahau i tetahi kamupene Hapani e kiia nei ko AGEM he tino pai ki te tarai i nga momo taonga penei i te silicon, titanium me te konumohe. He kitenga whakaihiihi tenei na te mea he maha nga umanga hou e hanga ana i nga miihini miihini kaore pea e rite i mua.

Ka taea e nga Kaihanga te whakamahi i nga taonga he uaua ki te tarai. Ko te tikanga ka taea e raatau nga miihini miihini teitei ake he uaua rawa atu, he pai, he pai ake i nga waa o mua. I a matou e tohe tonu ana i nga rohe o a maatau hangarau, ka taea e enei miihini miihini hou te mahi tere me te pai ake i nga mahi o mua he mea tino nui.

Mahinga Whakapiri Plasma I tua atu i nga Tepe Hau C3F8

Hei tauira, i te AGEM, kei te ngana tonu nga tohunga hangarau ki te whakarei ake i nga tikanga tarai plasma. Kei te mataki tonu ratou mo te ahunga whakamua etch mo te whariki me te tere hoki. Ko tetahi kitenga whakamere i mahia e ratou ko te whakamahi i te C3F8 mo te tukanga e kiia nei ko te hiona hiona hohonu.

Ae, he tukanga motuhake ki te hanga ahua 3D ki runga i nga angiangi silicon. Ka taea e enei hanganga Ahu-3 te tono kanorau i roto i nga pukoro, hopuoro me te taiwhanga-i-mataiti (ara, nga taputapu iti ka taea te whakamatautau i nga tauira). Ma tenei hangahanga, ka taea e nga kairangahau te hoahoa taputapu hei whakatika i nga take tino.

Te Paanga o C3F8 ki runga Nanotech me Microchip Development

Ko te Hangarau Nano he puiao kei te taumata iti, he iti ake i te kirikiri kirikiri. Moroiti c3f8 hau Ko te hangahanga he momo hangarau nano, na te mea he iti rawa nga iahiko kei runga i te miihiniiti. Me tukutahi ia wahanga moroiti o te maramara kia mahi ai.

Ko C3F8 ano hoki he kaihuri keemu mo te hangarau nano, e whai waahi nui ana ki te whakawhanaketanga o te maha o nga miihiniiti iti me te uaua atu i nga wa i mahia i mua. He mea nui enei microchips maatanga mo nga hangarau hou penei i te AI (maramatanga artificial, e hoatu ana ranei ki nga miihini te kaha ki te ako me te whakatau whakatau) me nga waka taraiwa-whaiaro (nga waka e peia ana i a raatau ano me te kore whakauru tangata). Ka taea e enei ahunga whakamua he rereketanga nui i roto i to tatou oranga me te whakarereke i te ahua o to tatou noho me te hangarau.

Hangarau Hangarau o C3F8 i roto i te Plasma Etching

Kua pakeke te hangarau etch plasma mai i nga tau 1960, i te wa tuatahi i whakamahia ai. Ko AGMMP tetahi o nga kaiarahi i runga i te maakete mo te tarai plasma me nga whanaketanga hangarau hou. Ana, kei te whakahou tonu te kamupene ki te whakamaarama me te arotau.

Ko te whakairo plasma ka taea te maramara iti Na tenei ka taea te plasma Etchants ka hangaia e nga kaihanga ki te hanga maramara moroiti uaua me te kiato ma te whakamahi i te hau C3F8 i te mea i taea i mua. He mea tino tika tenei na te mea ko to maatau hiahia mo te hangarau tere, kaha ka kaha tonu te tipu haere i roto i te waa, ko AGEM kei mua i te hangarau hangarau plasma. A kei te whakapumau ratou i te wa kei te heke mai o te hanga microchip he maamaa me te ki tonu i nga huarahi. He nui to tatou ti'aturi ki runga i te hangarau, a, ahakoa te ahu whakamua o te hangarau a muri ake nei, ka whakatauhia to tatou oranga.