- ພາບລວມ
- ການສອບຖາມ
- ຜະລິດຕະພັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ
ອາຍແກັສ C5F8 Octafluorocyclopentene
ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການ etching ຂອງການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor, ໂດຍສະເພາະແມ່ນສໍາລັບຂະຫນາດແລະການຄັດເລືອກ etching ຂອງລັກສະນະ geometric ຂະຫນາດນ້ອຍສຸດ (ເຊັ່ນ: ຄວາມກວ້າງຂອງສາຍເຊື່ອມຕໍ່ກັນ, ຕິດຕໍ່ພົວພັນ, trenches, ແລະອື່ນໆ).