EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
ຄວາມສະແດງ 99.999% Electronic Grade ສຳລັບການໃຊ້ໃນ Semiconductor C4F6 Gas Octafluorocyclobutane Gas
- ຄວາມເປັນມາ
- ການຖາມຫໍ
- ສິນຄ້າທี่เกີດ;
ການເອົາອອກໂດຍວິທີ້ແຫ່ງ ມື້ນຳຕຳລາຂຶ້ນ ກາສະເພາະຖືກຄຸມ ພັນສູງ 2 butyne H 2316 ພັນສູງ 2butyne C4F6
Hexafluoro1,3-ບູຕາດີເອນ ເປັນກາສທີ່ມີພົ້ນສາກົນ ບໍ່ມີສີ ບໍ່ມີຫວານ ແລະ ບໍ່ເຜົ່າໄດ້
ການຄົ້ນຄວ້າຫຼາຍປີໆໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າ C4F6 (H-2316) ມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍການເອົາອອກໂດຍວິທີ້ແຫ່ງ ມື້ນຳຕຳລາຂຶ້ນ:
ມັນມີອຸບັດຕິການເສຍແລະຄວາມເລືອກເລື່ອງຫຼາຍກວ່າ octafluorocyclobutane (c-C4F8 – H318), ອີງຂໍ້ທີ່ຖືກໃຊ້ຫຼາຍໃນການເສຍ娃ຂອງແຮງສີລິໂຄນ. ບໍ່ແມ່ນຄືກັບ C4F8 (H318), ກັບ C4F6 (H2316), ເພື່ອເສຍແຮງສີຫຼູ້ມທີ່ເປັນສ່ວນປະກອບ. ຄວາມສູງຂອງສ້າງການເສຍມີຫຼາຍກວ່າ, ເນື່ອງຈາກມີເສັ້ນແຜ່ນຫຼາຍກວ່າ c-C4F8. ອຸບັດຕິການຂອງ VOC ມີຫຼັງ: C4F6 (H2316) ມີຄວາມຮ້ອນຂອງໂລກຕ່ຳເນື່ອງຈາກມັນມີຊີວິດສັ້ນໃນອາກາດ.
ການນຳໃຊ້:
ສ່ວນປະກອບຫຼັງໄລ໌ທີ່ 2 ຂອງ gen ໃນການຜະລິດ LSI ເພື່ອຫຼັງຄືນລົດແລະລົງ. ກາສ້າງເສຍແຫ່ງການໃຊ້ໃນການເສຍຂອງຫ້ອງຕິດຕໍ່ micro. ກາສ້າງເສຍພິເສດທີ່ມີສູດເຄມີ CxFy, ຄວາມໜ້ອຍຂອງ F/C ມີຫຼາຍກວ່າ CF2 ຕື້. ເທີງ C2F6 C3F8, C4F6 ມີຄວາມໜ້ອຍ F/C ແລະຜົນລัບຫຼາຍກວ່າ CF2, ທີ່ເສຍຫຼາຍກວ່າແຮງສີ. ດັ່ງນັ້ນ C4F6 ມີຄວາມເລືອກເລື່ອງຫຼາຍກວ່າແຮງສີແລະອະນຸຍາດໃຫ້ເສຍຫຼາຍ.
