ບໍລິສັດ Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Methane ເປັນອາຍແກັສທີ່ສໍາຄັນອີກອັນຫນຶ່ງທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດຈຸນລະພາກແລະສ່ວນປະກອບສໍາລັບເອເລັກໂຕຣນິກເຊັ່ນ: ໂທລະສັບ, ຄອມພິວເຕີ, ແລະໂທລະທັດ._ ໃນຄວາມເປັນຈິງ, ມັນແມ່ນ 99.999% ຂອງຂະບວນການມືຖືທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອຜະລິດຊິ້ນສ່ວນເອເລັກໂຕຣນິກເຫຼົ່ານີ້. ແຕ່ມັນມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນ, ແລະມັນປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນເຄື່ອງກໍາເນີດວົງຈອນທີ່ມີຜົນກະທົບ, ໃນຂະນະທີ່ມາພ້ອມກັບສິ່ງທ້າທາຍຂອງມັນ.

ນັ້ນແມ່ນເຫດຜົນທີ່ວ່າ methane ມີຄວາມສໍາຄັນໃນ microelectronics

ໄມໂຄຣເອເລັກໂທຣນິກແມ່ນການສຶກສາການສ້າງວົງຈອນນ້ອຍໆ ແລະອຸປະກອນທີ່ເຮົາບໍ່ສາມາດເບິ່ງເຫັນດ້ວຍຕາຂອງເຮົາເອງ. ວົງຈອນນ້ອຍເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ອຸປະກອນຈໍານວນຫຼາຍທີ່ພວກເຮົາໃຊ້ປະຈໍາວັນ. ພະລັງງານແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ວິທະຍາສາດສາຂານີ້ເພາະວ່າມີເທນເປັນຫນຶ່ງໃນວັດສະດຸຕົ້ນຕໍທີ່ຊ່ວຍໃຫ້ອຸປະກອນຂະຫນາດນ້ອຍເຫຼົ່ານີ້ເຮັດວຽກຢ່າງຖືກຕ້ອງ. Methane ສະຫນອງສ່ວນປະກອບສໍາຄັນທີ່ຈະມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກຫຼາຍ - ຖ້າເປັນໄປບໍ່ໄດ້ - ທີ່ຈະເຮັດໂດຍບໍ່ມີການຜະລິດຊິບທີ່ເປັນຈຸດໃຈກາງຂອງທຸກໆເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມຂອງພວກເຮົາ. ເຖິງ​ແມ່ນ​ວ່າ​ພວກ​ເຮົາ​ອາດ​ຈະ​ບໍ່​ໄດ້​ເຫັນ​ມັນ​ດ້ວຍ​ຕົວ​ເອງ, ແຕ່​ມີ​ເທນ​ເປັນ​ອາຍ​ແກ​ສ​ທີ່​ສໍາ​ຄັນ​ໃນ​ຊີ​ວິດ​ປະ​ຈໍາ​ວັນ​ຂອງ​ພວກ​ເຮົາ.

ບົດບາດຂອງ methane ໃນການຝັງດິນ ແລະ ການຖິ້ມ

ສອງຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້, etching ແລະ deposition, ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການກໍ່ສ້າງຂອງວົງຈອນຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ເຂົ້າໄປໃນອົງປະກອບ microelectronic. Etching: ແມ່ນຂະບວນການທີ່ຮູບແບບສະເພາະແມ່ນສ້າງຂຶ້ນໂດຍການເອົາວັດສະດຸອອກຈາກຫນ້າດິນ. ອັນນີ້ຄືກັບການເຮັດເຄື່ອງພິມໃນໄມ້. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ການຝາກແມ່ນຂະບວນການເພີ່ມເຕີມທີ່ໃຊ້ໃນການຝາກວັດສະດຸໃສ່ພື້ນຜິວເພື່ອສ້າງຮູບແບບ. ເຈົ້າສາມາດຄິດວ່າມັນເປັນການແຕ້ມຮູບການອອກແບບເທິງຜ້າໃບ. ທັງສອງຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ໃຊ້ methane ເພື່ອຊ່ວຍໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຮູບແບບທີ່ສ້າງຂຶ້ນແມ່ນເປັນລະບຽບແລະຖືກຕ້ອງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການປະຕິບັດຂອງເອເລັກໂຕຣນິກ.

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງ methane

ຄວາມບໍລິສຸດມີເທນແມ່ນສໍາຄັນໃນການຜະລິດຈຸນລະພາກເອເລັກໂຕຣນິກ. ນີ້ ໝາຍ ຄວາມວ່າ methane ທີ່ໃຊ້ຕ້ອງມີສີຂຽວເທົ່າທີ່ມັນເປັນໄປໄດ້. ແມ້ແຕ່ຝຸ່ນ ຫຼືການປົນເປື້ອນໃນປະລິມານໜ້ອຍກໍສາມາດສ້າງອາການເຈັບຫົວອັນໃຫຍ່ຫຼວງໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຝັງຕົວ ແລະ ການຊຶມເຊື້ອ. ແລະຖ້າຫາກວ່າມີ impurities ໃນ methane, ພວກເຂົາເຈົ້າສາມາດ muddle ຂະບວນການແລະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດໃນເວລາທີ່ການສ້າງວົງຈອນ. ນີ້ສາມາດນໍາໄປສູ່ການຜິດປົກກະຕິຂອງອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກແລະອຸປະກອນທີ່ບໍ່ເຮັດວຽກ. ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນທີ່ພວກເຮົາຕ້ອງການເຮັດວຽກກັບ methane ultra-ບໍລິສຸດເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມຜິດພາດໃດໆແລະໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າວົງຈອນຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ພວກເຮົາເຮັດວຽກແລະສ້າງຜົນກະທົບ.

Pros ແລະ Cons ຂອງການນໍາໃຊ້ Methane

ການນໍາໃຊ້ຂອງ methane ມາພ້ອມກັບຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼາຍຢ່າງ. ນີ້ແມ່ນອາຍແກັສທີ່ດີແລະມີປະສິດທິພາບຫຼາຍສໍາລັບຂະບວນການ etching ແລະ deposition ທັງຫມົດທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນໄປໄດ້ທີ່ຈະຜະລິດອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກໃນລະດັບຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ພວກເຮົາຕ້ອງການ. ສຸດທ້າຍ, methane ແມ່ນອຸດົມສົມບູນ, ເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດເຂົ້າເຖິງໄດ້ງ່າຍຕໍ່ຜູ້ຜະລິດ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ຍັງມີສິ່ງທ້າທາຍບາງຢ່າງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການນໍາໃຊ້ methane ໃນວິສະວະກໍາຈຸລະພາກ. ຍົກຕົວຢ່າງ, ເມື່ອເຮັດວຽກກັບອາຍແກັສ, ເຊັ່ນ: methane, ຄວາມປອດໄພແມ່ນບັນຫາສໍາຄັນ. ຜູ້ອອກແຮງງານໄປທຸລະກິດຂອງເຂົາເຈົ້າແມ່ນມາດຕະການຄວາມປອດໄພໄດ້ຖືກປະຕິບັດ. ຂະບວນການຕົວມັນເອງສາມາດສັບສົນທີ່ສຸດແລະຕ້ອງການຄວາມຮູ້ໃນລະດັບສູງເພື່ອຄຸ້ມຄອງພວກມັນຢ່າງຖືກຕ້ອງ. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າປະກອບອາຊີບຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ດໍາເນີນການອຸປະກອນແລະຂະບວນການ.

ຂອບເຂດຈໍາກັດຂອງ Methane ແລະອະນາຄົດໃນ Microelectronics

ການສະຫນັບສະຫນູນ micro-edged ທີ່ອີງໃສ່ methane ຫຼຸດລົງເລື້ອຍໆຫຼາຍກ່ວານັ້ນ. ຂະບວນການດັ່ງກ່າວສາມາດມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະໃຊ້ເວລາຫຼາຍ, ສໍາລັບຕົວຢ່າງ. ນີ້ສາມາດສ້າງສິ່ງທ້າທາຍສໍາລັບບາງບໍລິສັດໃນການສະຫນອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອຜະລິດຈຸນລະພາກເອເລັກໂຕຣນິກ. ຍັງມີຄວາມກັງວົນເພີ່ມຂຶ້ນກ່ຽວກັບຜົນກະທົບດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມຂອງການນໍາໃຊ້ methane ໃນການຜະລິດ. ປະຊາຊົນຕ້ອງການທີ່ຈະຮັບປະກັນໃນຂະນະທີ່ການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີໃຫມ່; ພວກເຮົາກໍາລັງເບິ່ງແຍງໂລກຂອງພວກເຮົາ. ແຕ່ມີການພັດທະນາທີ່ຫນ້າຕື່ນເຕັ້ນຫຼາຍທີ່ຈະມາໃນໄວໆນີ້ໃນພາກສະຫນາມນີ້! ນັກວິທະຍາສາດກໍາລັງສືບສວນວິທີການທາງເລືອກເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບແລະຄວາມຍືນຍົງຂອງຂະບວນການອຸດສາຫະກໍາເຫຼົ່ານີ້. ຕົວຢ່າງ, ນັກວິທະຍາສາດກໍາລັງເຮັດວຽກກ່ຽວກັບວິທີການນໍາໃຊ້ແຫຼ່ງພະລັງງານທົດແທນເພື່ອຂັບເຄື່ອນຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ບາງຢ່າງເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ການຜະລິດຂອງພວກເຂົາປອດໄພກວ່າແລະມີຜົນກະທົບຫນ້ອຍລົງຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ.

ເພື່ອສະຫຼຸບ, methane ມີບົດບາດສໍາຄັນຫຼາຍໃນ microelectronics. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ໃນເກືອບທັງຫມົດຂອງຂະບວນການເພື່ອຜະລິດວົງຈອນກ້ອງຈຸລະທັດແລະອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກ. ເກືອບມີເທນບໍລິສຸດແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນທີ່ສຸດນັບຕັ້ງແຕ່ impurities ຈໍານວນຫນ້ອຍສາມາດເຮັດໃຫ້ລະບົບມີຄວາມສ່ຽງ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ການນໍາໃຊ້ methane ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບ, ແລະສິ່ງທ້າທາຍບາງຢ່າງເຊັ່ນ: ບັນຫາຄວາມປອດໄພແລະຄວາມຫຍຸ້ງຍາກ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ມີຂໍ້ຈໍາກັດຕໍ່ຈຸນລະພາກທີ່ອີງໃສ່ methane, ແລະນັກຄົ້ນຄວ້າຊອກຫາການພັດທະນາໃຫມ່ທີ່ຫນ້າຕື່ນເຕັ້ນທີ່ສາມາດປັບປຸງຂະບວນການແລະເຮັດໃຫ້ພວກມັນມີປະສິດທິພາບແລະເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ. ຖ້າພວກເຮົາສາມາດໃຊ້ methane ໃນທາງທີ່ຖືກຕ້ອງ, ພວກເຮົາ ກຳ ລັງໃຊ້ແລະ ສຳ ຫຼວດເຕັກໂນໂລຢີທີ່ເຕີບໃຫຍ່ໃນຊີວິດປະ ຈຳ ວັນຂອງພວກເຮົາ.