EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
ນີ້ໄດ້ນໍາພາ ອາຍຸ ເພື່ອທົບທວນຄືນວິທີການໃຫມ່ຢ່າງສົມບູນແບບ, ຢູ່ນອກກ່ອງເພື່ອ harness methane ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ຄວາມກ້າວຫນ້າເຫຼົ່ານັ້ນຕ້ອງການເຕັກໂນໂລຢີອ່ານເລິກພາຍໃນ - ແລະບົດຄວາມນີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງວິທີການປັບປຸງການນໍາໃຊ້ methane ສາມາດສ້າງ semiconductors ໄວຂຶ້ນດ້ວຍຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຫນ້ອຍ / ຄຸນນະພາບສູງກວ່າ, ເຊິ່ງເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນພື້ນຖານສໍາລັບລະບົບເອເລັກໂຕຣນິກທັງຫມົດ. ດັ່ງນັ້ນ, ພວກເຮົາໄດ້ຮຽນຮູ້ຫຍັງຢູ່ທີ່ນີ້ຈາກສອງບົດຮຽນທີ່ຜ່ານມາ: ດີໂດຍການເຂົ້າໃຈບາງແນວຄວາມຄິດທີ່ສັບສົນກວ່ານີ້, ພວກເຮົາສາມາດເຂົ້າໃຈວ່າເປັນຫຍັງການປະດິດສ້າງເຕັກໂນໂລຢີມີຄວາມສໍາຄັນແລະມີອິດທິພົນຕໍ່ຜູ້ຂັບຂີ່ປະຈໍາວັນຂອງພວກເຮົາແນວໃດ.
ການເຮັດໃຫ້ semiconductors ດີຂຶ້ນ
ເພື່ອສ້າງຮູບແບບຂະຫນາດນ້ອຍຂອງກ້ອງຈຸລະທັດທີ່ຖືກພິມຢູ່ເທິງຫນ້າຂອງ wafers semiconductor, AGEM ຕ້ອງການການໄຫຼເຂົ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງອາຍແກັສ methane ແລະ ປະຕິກິລິຍາ ນັ້ນແມ່ນເກີນຫຼືເກີນ. ປະຕິກິລິຍາເຄມີພິເສດທີ່ເກີດຂື້ນລະຫວ່າງ methane ແລະອົກຊີ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ປະຕິກິລິຍານີ້ປະກອບເປັນອາຍແກັສ plasma ທີ່ຊ່ວຍເອົາສານບາງຢ່າງຢູ່ໃນຫນ້າຂອງ wafer. ລະດັບທີ່ພວກເຮົາພັດທະນາມີການອອກແບບເມັດແລະ AGEM ພຽງແຕ່ສາມາດຄວບຄຸມຂະບວນການນີ້ຢ່າງລະມັດລະວັງ.
ການຜະລິດ semiconductors ແມ່ນຂະບວນການທີ່ສັບສົນຫຼາຍ. ດັ່ງນັ້ນ, ມີຫຼາຍສິ່ງອື່ນໆທີ່ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງແຫນ້ນຫນາໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງພ້ອມກັບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ຄວາມກົດດັນຂອງຫ້ອງແລະອຸນຫະພູມ. ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ທີ່ໃຊ້ methane ສໍາລັບການແປງນີ້ສາມາດຜະລິດສິ່ງເສດເຫຼືອຫນ້ອຍລົງແລະດໍາເນີນການທາງດ້ານເສດຖະກິດຫຼາຍ. ນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ບໍລິສັດຜະລິດ semiconductors ຢ່າງໄວວາ, ແລະການຕັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍເພື່ອແຂ່ງຂັນໃນທຸລະກິດສໍາລັບວິສາຫະກິດທັງຫມົດ.
Dry Etching: methane ຂອງມຸມອື່ນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ
ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, AGEM ສາມາດປະສົມບາງ methane ເຂົ້າໄປໃນອາຍແກັສອື່ນ, ເຊັ່ນ: argon ຫຼື helium ເພື່ອເຮັດໃຫ້ການດໍາເນີນການ etching ແຫ້ງສາມາດໄດ້ຮັບການປັບປຸງ. ການຜະສົມຜະສານນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ຜະລິດໄດ້ເມື່ອທຽບກັບການໃຊ້ methane ຊື່ໆ. AGEM ສາມາດໄປອີກບາດກ້າວໜຶ່ງ ແລະກວດກາການປະສົມຂອງອາຍແກັສທີ່ເປັນໄປໄດ້ສໍາລັບຂັ້ນຕອນ.
ຫນຶ່ງໃນວິທີທີ່ AGEM ເຮັດນັ້ນແມ່ນກັບແຫຼ່ງ plasma ຫ່າງໄກສອກຫຼີກພິເສດ. ນີ້ແມ່ນວິທີການທີ່ເຈົ້າເຄີຍໃຊ້ກ່ອນການສ້າງ plasma, ແຕ່ຕົວຈິງແລ້ວມັນກໍ່ສ້າງ plasma ຢູ່ນອກຫ້ອງຂະບວນການເຊິ່ງຫຼັງຈາກນັ້ນຕ້ອງຖືກນໍາມາສູ່ຫົວໃຈຂອງມັນ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນກໍລະນີນີ້, wafers ທີ່ອ່ອນໂຍນສາມາດໄດ້ຮັບການປົກປ້ອງຈາກການໄດ້ຮັບຄວາມເສຍຫາຍໂດຍຜ່ານຂະບວນການ etching. ໃນທີ່ສຸດ, ເຮັດໃຫ້ພາກສ່ວນສໍາເລັດຮູບທີ່ດີກວ່າແລະຫນຶ່ງທີ່ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ສາມາດມີຄວາມຫມັ້ນໃຈຫຼາຍກວ່າເກົ່າໃນການປະຕິບັດສຸດທ້າຍ.
ການປະຕິວັດຂະແໜງ Semiconductor ຫຼຸດຜ່ອນ methane
AGEM Spearheads ໂດຍວິທີການທີ່ສະຫລາດກວ່າການນໍາໃຊ້ Methane ໃນການສ້າງ Semiconductors ພວກເຂົາເຈົ້າກໍາລັງເຮັດວຽກຢ່າງສະຫຼາດເພື່ອເລັ່ງແລະປັບປຸງຂະບວນການຜະລິດທັງຫມົດດ້ວຍການນໍາສະເຫນີຍຸດທະສາດໃຫມ່. ຜົນໄດ້ຮັບແມ່ນເພື່ອເຮັດໃຫ້ semiconductor ລາຄາຖືກກວ່າແລະໃນທີ່ສຸດຜະລິດຕະພັນທີ່ດີກວ່າ.
ຖັນ methane ດຽວກັນຍັງເປັນບວກທີ່ວ່າມັນສາມາດເປັນຜົນຜະລິດຂອງອາຍແກັສທໍາມະຊາດ - ໄຊຊະນະອີກ! ມີເທນແລະ ໄຮໂດເຈນ, ໃນຄໍາສັບຕ່າງໆອື່ນໆ, ແມ່ນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຫນ້ອຍທີ່ຈະໄດ້ຮັບຫຼາຍກ່ວາອາຍແກັສ etching ທາງເລືອກໃດໆ. ດັ່ງນັ້ນ, methane ກໍາລັງເລີ່ມເບິ່ງຄືວ່າເປັນທາງເລືອກທີ່ຫນ້າສົນໃຈຫຼາຍສໍາລັບຜູ້ຜະລິດທີ່ຊອກຫາເພື່ອເຮັດໃຫ້ຜະລິດຕະພັນ semiconductors ທີ່ດີເລີດ, ແຕ່ຍັງມີລາຄາຖືກ.
ຜູ້ສະຫນັບສະຫນູນໃນປະຈຸບັນຫຼາຍທີ່ສຸດຂອງການນໍາໃຊ້ methane, Semiconductors, ການປັບປຸງຂະບວນການ
ວິທີການອື່ນໆເພື່ອນໍາໃຊ້ Methane ໃນຮູບແບບທີ່ສະຫລາດກວ່າ AGEM ທົບທວນຄືນຂັ້ນຕອນໃຫມ່ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໂດຍການປ່ຽນແປງດ້ານຕ່າງໆເຊັ່ນການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ຄວາມກົດດັນແລະອຸນຫະພູມການປັບຕົວເພີ່ມເຕີມແມ່ນສາມາດບັນລຸໄດ້ສໍາລັບບາງສ່ວນຂອງພວກເຂົາເພື່ອຊ່ວຍປ້ອງກັນສິ່ງເສດເຫຼືອໃນຂະນະທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບ. ມັນປັບປຸງຕາມເວລາ, ແລະອະນຸຍາດໃຫ້ຜູ້ຜະລິດເພີ່ມກໍາລັງການຜະລິດເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຫຼຸດລົງ (ຫມາຍຄວາມວ່າລາຄາຕ່ໍາສໍາລັບທຸກຄົນ.
ນີ້ຍັງເປັນຜົນປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນອີກອັນຫນຶ່ງທີ່ຈະຊ່ວຍໃຫ້ຂັ້ນຕອນເຫຼົ່ານີ້ດີຂຶ້ນໂດຍຜ່ານຊິລິໂຄນ wafer ທີ່ສະອາດ. ຫຼັງຈາກ wafer ໄດ້ຖືກຜະລິດ, ຖ້າຂະບວນການຜະລິດບໍ່ໄດ້ຄວບຄຸມໄດ້ດີ, ນີ້ຈະເຮັດໃຫ້ສ່ວນຫນຶ່ງຂອງ wafer ມົນລະພິດແລະຖືກຂູດ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ລາຄາຜະລິດຕະພັນຂະຫນາດນ້ອຍກວ່າແລະລາຄາຜູ້ຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່ສໍາລັບຈໍານວນຫນ້ອຍ. AGEM ກໍາລັງເລັ່ງຂະບວນການຂອງເຂົາເຈົ້າຍ້ອນວ່າ wafers ຄຸນນະພາບສູງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor ສົບຜົນສໍາເລັດ.
ຄວາມກ້າວຫນ້າທີ່ຜ່ານມາຫຼາຍທີ່ສຸດໃນການນໍາໃຊ້ methane
AGEM ຫຼືກຸ່ມບໍລິສັດໄຟຟ້າອາຍແກັສມີເທນທີ່ກ່ຽວພັນແມ່ນພະຍາຍາມຕະຫຼອດໄປເພື່ອກະກຽມອາຍແກັສ methane ແລະ ໄຮໂດຄາບອນ ສາມາດໄດ້ຮັບການຈ້າງງານຫຼາຍກວ່າ. ດີ, ພວກເຂົາເຈົ້າກໍາລັງເຮັດວຽກກ່ຽວກັບສິ່ງຫນຶ່ງທີ່ຈະເຮັດກັບແຫຼ່ງໃຫມ່ຂອງ plasma ແຫຼ່ງ plasma ທີ່ໄວກວ່າອາດຈະແນະນໍາການຜະລິດທີ່ມີລາຄາຖືກກວ່າຂອງອົງປະກອບ semi conductive ທີ່ດີກວ່າ, ຢ່າງໃດກໍຕາມຍັງເຮັດໃຫ້ບໍລິສັດສາມາດນໍາເອົາ semiconductors ໄປສູ່ຕະຫຼາດລາຄາຖືກກວ່າ.
AGEM ຍັງກໍາລັງພັດທະນາກ໊າຊ etching ໃຫມ່ທີ່ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ methane. ທາດອາຍຜິດເຫຼົ່ານີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງ etching ແຫ້ງ, ດັ່ງນັ້ນການເພີ່ມປະສິດທິພາບໂດຍລວມຂອງມັນ. ໂດຍການຜະສົມທາດອາຍແກັສທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະກໍານົດສິ່ງທີ່ດີທີ່ສຸດ, AGEM ຫວັງວ່າມັນສາມາດຂະຫຍາຍຄວາມສາມາດຂອງຜູ້ຫຼິ້ນໄປສູ່ເຊມິຄອນດັກເຕີ.