ໍ່ປະເພດທັງໝົດ

ກ๊າຊທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດອຸປະກອນແຫ່ງການ

ເซມິຄອນດູເຄີຍສ່ວນໃນທຸກສິ່ງ ທັງຈາກສະມາດຕິພົນແລະຄອມພືເຕີ້ສ່ວນບຸກຄົນຂອງທ່ານ ຫາຍຫາຍປະເທດອື່ນທີ່ເປັນອິเลັກໂຕຣົນ. ມັນຕ້ອງຖືກຜະລິດໂດຍການເຮັດຕາມການການສະເພາະ ແລະ ບໍ່ໄດ້ໃຊ້ກິດສູງສຸດ. ອີງຕາມຂໍ້ມູນ ສິ່ງທີ່ສຳຄັນແມ່ນກ່ຽວກັບປະເພດຂອງກິດທີ່ອຸດສາຫະກຳໜຶ່ງໃຊ້ ແລະ ຄວາມສຳຄັນຂອງສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ເພື່ອສ້າງສິ່ງທີ່ພວກເຮົາຕ້ອງການ. ປະເພດຂອງກິດທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດເຊມິຄອນ ເຊມິຄອນເປັນການສ້າງໂດຍການເຮັດການສຸ່ມສຳຄັນ ເຊິ່ງເປັນການເຮັດແບບ etching, deposition ແລະ cleaning. ອຸປະກອນແລະການນຳໃຊ້ຂອງກິດເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ ໃນການນຳໃຊ້ຫຼັງຫຼາຍ ຫຼື ຖືກນຳໃຊ້ໃນສະຖານະອາກາດສະເພາະ. ຕົວຢ່າງ ກິດອິນເດຍ ທີ່ສົ່ງໂດຍຜູ້ສະໜອງກິດອິນເດຍ ຫຼື ພິເສດເຊມິຄອນ ກິດທີ່ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກ ຫຼື ໃນລັບໂຮງ ເພື່ອສ້າງສະເພາະສັນຍາກິດທີ່ສຳເລັດທີ່ສຳເລັດ. ລົງທະບຽນ ເປັນກິດທີ່ສຳຄັນ ໃນການສ້າງເຄື່ອງມື. Silane SiH4: ກິດນີ້ບໍ່ມີສີ ແລະ ເປັນສ່ວນໜຶ່ງຂອງອິເລັກໂຕຣົນທີ່ເປັນເລື່ອງຂອງເຊມິ. ມັນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກວ່າ ມັນສາມາດເຄື່ອນໄຫວກັບออกຊີເຈນ ແລະ ນ້ຳເພື່ອສ້າງເຊມິ ແລະ ກິດຮູ້. Silane ສາມາດໃຊ້ເພື່ອສ້າງເຄື່ອງມືທີ່ເປັນເລື່ອງຂອງເຊມິ ເປັນການສຳເລັດ ຫຼື ທີ່ອຸນຫະພູມຕ່ຳ. Nitrogen N2: ກິດນີ້ບໍ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ ແລະ ສຳເລັດການປ້ອງກັນການເຄື່ອນໄຫວ. ມັນຖືກຜະລິດເປັນຈຳນວນຫຼາຍ ແລະ ສຳເລັດໃນການລ້າງອຸປະກອນໃນການແກ້ໄຂ ເພື່ອລົບລົ້ມ O2 ແລະ ນ້ຳ. ກິດນີ້ຍັງສາມາດໃຊ້ເພື່ອສ້າງການນຳໃຊ້ຂອງກິດອື່ນ ແລະ ນຳໃຊ້ເປັນການນຳໃຊ້ໃນການສ້າງ Nichrome vapor deposition ແລະ plasma enhanced nichrome vapour deposition.

ไฮโดรเจน (H2) - ไฮโดรเจนถูกใช้เป็นก๊าซลดโดยการกำจัดสิ่งปนเปื้อนออกจากวัสดุ ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มันเป็นขั้นตอนที่สำคัญในกระบวนการต่างๆ เช่น การอบและการทำความสะอาด นอกจากนี้ไฮโดรเจนยังช่วยสร้างเกตโลหะสำหรับการผลิตอุปกรณ์ cmos ขั้นสูง

ออกซิเจนคงที่ (O2/O) - กรอกแผ่นและเวลาในการส่งมอบตามลำดับ ฯลฯ ก๊าซโอ ขณะที่ออกซิเจนถูกใช้ในหลายกระบวนการพลาสมา เช่น การกร่อนและการลบ/เผา แต่มันยังทำหน้าที่เป็นตัวทำปฏิกิริยาเพื่อออกซิไดซ์วัสดุที่เกี่ยวข้องกับซิลิคอนให้กลายเป็น SiOx หรือเคลือบผิวโลหะผ่านการออกซิไดซ์

คลอรีน (Cl2): คลอรีนมีสีเหลืองหรือแดง มีควัน และเป็นสารไม่เป็นโลหะที่มีกลิ่นฉุนเมื่ออยู่ในสถานะของเหลว ก๊าสนี้มีปฏิกิริยาสูงกับวัสดุที่เกี่ยวข้องกับซิลิคอน ซิลิคอนไดออกไซด์ และโลหะหลายชนิดเช่นอลูมิเนียม ซึ่งนำไปใช้ในหลายแอปพลิเคชันของการกร่อนโครงสร้างเซมิคอนดักเตอร์

ການຟັງເບິ່ງຄວາມສຳຄັນຂອງການໃຊ້ກ๊າຊທີ່ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນອຸປະກອນແຫ່ງການແລະຜົນປະໂຫຍດ

ຄວາມເປັນໄປທີ່ກຳລັງໃຊ້ກິດເສົ້າໃນການຜະລິດເຊມິໂຄນເດັກ ໄດ້ແຕ້ງຂື້ນອີເລັກໂຕຣນິກສ້າງຫຼາຍ ເພື່ອສ້າງໂດຍການເພີ່ມຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດເຊມິໂຄນ. ກິດເສົ້າຍັງມີການໃຊ້ຫຼາຍຄັນແລະຄວາມສຸດໃນອຸ້ງປະກອບເຊມິໂຄນ.

ກິດເສົ້າທີ່ເຊົ້າ, ອັມມັອນແລະນີເຕີເຈນ ໄດ້ຖືກໃຊ້ເພື່ອການເອົາເຂົ້າເຊມິໂຄນ ຫຼື ນີເຕີ ທີ່ຈະເປັນເຫຼົ່າເສີມຂອງເຊມິໂຄນ. Deposition.

ການແກ້: ມັນຖືກໃຊ້ເພື່ອລົບອອກສິ່ງທີ່ບໍ່ຕ້ອງການ ຫຼື ປັບແບບຈາກເຊມິໂຄນ ສ້າງໂດຍການໃຊ້ກິດເສົ້າທີ່ເຊົ້າ, ເຟີລິນແລະອົກຊີເຈນ.

ກິດເສົ້າ: ໂຮມແລະນີເຕີເຈນ ໄດ້ຖືກຕ້ອງການເພື່ອການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນການລ້ານເຊມິໂຄນ (ການປຸງ) ເພື່ອລົບຄວາມໜ້າຫຼາຍທີ່ສາມາດໝາຍເຖິງຄວາມປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ.

ການປຸງ: ອີງຂ່າຍໃຫຍ່ຂອງມັນແມ່ນ ພາຍໃນການເຮັດວຽກປຸງອຸປະກອນທີ່ກຳລັງເຮັດວຽກ, ເພື່ອລົບອອກອົກຊີເຈນແລະຄວາມຊຸມສູນຈາກລະບົບ ແລະເກັບຮັກສາສິ່ງທີ່ຢູ່ໃນລິນິ້ງ.

Why choose AGEM ກ๊າຊທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດອຸປະກອນແຫ່ງການ?

ປະເພດຜະລິດຕະພັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ

ບໍ່ພົບສິ່ງທີ່ທ່ານກໍາລັງຊອກຫາບໍ?
ຕິດຕໍ່ທີ່ປຶກສາຂອງພວກເຮົາສໍາລັບຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຢູ່ເພີ່ມເຕີມ.

ຂໍໃບສະເໜີລາຄາດຽວນີ້