ເซມິຄອນດູເຄີຍສ່ວນໃນທຸກສິ່ງ ທັງຈາກສະມາດຕິພົນແລະຄອມພືເຕີ້ສ່ວນບຸກຄົນຂອງທ່ານ ຫາຍຫາຍປະເທດອື່ນທີ່ເປັນອິเลັກໂຕຣົນ. ມັນຕ້ອງຖືກຜະລິດໂດຍການເຮັດຕາມການການສະເພາະ ແລະ ບໍ່ໄດ້ໃຊ້ກິດສູງສຸດ. ອີງຕາມຂໍ້ມູນ ສິ່ງທີ່ສຳຄັນແມ່ນກ່ຽວກັບປະເພດຂອງກິດທີ່ອຸດສາຫະກຳໜຶ່ງໃຊ້ ແລະ ຄວາມສຳຄັນຂອງສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ເພື່ອສ້າງສິ່ງທີ່ພວກເຮົາຕ້ອງການ. ປະເພດຂອງກິດທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດເຊມິຄອນ ເຊມິຄອນເປັນການສ້າງໂດຍການເຮັດການສຸ່ມສຳຄັນ ເຊິ່ງເປັນການເຮັດແບບ etching, deposition ແລະ cleaning. ອຸປະກອນແລະການນຳໃຊ້ຂອງກິດເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ ໃນການນຳໃຊ້ຫຼັງຫຼາຍ ຫຼື ຖືກນຳໃຊ້ໃນສະຖານະອາກາດສະເພາະ. ຕົວຢ່າງ ກິດອິນເດຍ ທີ່ສົ່ງໂດຍຜູ້ສະໜອງກິດອິນເດຍ ຫຼື ພິເສດເຊມິຄອນ ກິດທີ່ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກ ຫຼື ໃນລັບໂຮງ ເພື່ອສ້າງສະເພາະສັນຍາກິດທີ່ສຳເລັດທີ່ສຳເລັດ. ລົງທະບຽນ ເປັນກິດທີ່ສຳຄັນ ໃນການສ້າງເຄື່ອງມື. Silane SiH4: ກິດນີ້ບໍ່ມີສີ ແລະ ເປັນສ່ວນໜຶ່ງຂອງອິເລັກໂຕຣົນທີ່ເປັນເລື່ອງຂອງເຊມິ. ມັນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກວ່າ ມັນສາມາດເຄື່ອນໄຫວກັບออกຊີເຈນ ແລະ ນ້ຳເພື່ອສ້າງເຊມິ ແລະ ກິດຮູ້. Silane ສາມາດໃຊ້ເພື່ອສ້າງເຄື່ອງມືທີ່ເປັນເລື່ອງຂອງເຊມິ ເປັນການສຳເລັດ ຫຼື ທີ່ອຸນຫະພູມຕ່ຳ. Nitrogen N2: ກິດນີ້ບໍ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ ແລະ ສຳເລັດການປ້ອງກັນການເຄື່ອນໄຫວ. ມັນຖືກຜະລິດເປັນຈຳນວນຫຼາຍ ແລະ ສຳເລັດໃນການລ້າງອຸປະກອນໃນການແກ້ໄຂ ເພື່ອລົບລົ້ມ O2 ແລະ ນ້ຳ. ກິດນີ້ຍັງສາມາດໃຊ້ເພື່ອສ້າງການນຳໃຊ້ຂອງກິດອື່ນ ແລະ ນຳໃຊ້ເປັນການນຳໃຊ້ໃນການສ້າງ Nichrome vapor deposition ແລະ plasma enhanced nichrome vapour deposition.
ไฮโดรเจน (H2) - ไฮโดรเจนถูกใช้เป็นก๊าซลดโดยการกำจัดสิ่งปนเปื้อนออกจากวัสดุ ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มันเป็นขั้นตอนที่สำคัญในกระบวนการต่างๆ เช่น การอบและการทำความสะอาด นอกจากนี้ไฮโดรเจนยังช่วยสร้างเกตโลหะสำหรับการผลิตอุปกรณ์ cmos ขั้นสูง
ออกซิเจนคงที่ (O2/O) - กรอกแผ่นและเวลาในการส่งมอบตามลำดับ ฯลฯ ก๊าซโอ ขณะที่ออกซิเจนถูกใช้ในหลายกระบวนการพลาสมา เช่น การกร่อนและการลบ/เผา แต่มันยังทำหน้าที่เป็นตัวทำปฏิกิริยาเพื่อออกซิไดซ์วัสดุที่เกี่ยวข้องกับซิลิคอนให้กลายเป็น SiOx หรือเคลือบผิวโลหะผ่านการออกซิไดซ์
คลอรีน (Cl2): คลอรีนมีสีเหลืองหรือแดง มีควัน และเป็นสารไม่เป็นโลหะที่มีกลิ่นฉุนเมื่ออยู่ในสถานะของเหลว ก๊าสนี้มีปฏิกิริยาสูงกับวัสดุที่เกี่ยวข้องกับซิลิคอน ซิลิคอนไดออกไซด์ และโลหะหลายชนิดเช่นอลูมิเนียม ซึ่งนำไปใช้ในหลายแอปพลิเคชันของการกร่อนโครงสร้างเซมิคอนดักเตอร์
ຄວາມເປັນໄປທີ່ກຳລັງໃຊ້ກິດເສົ້າໃນການຜະລິດເຊມິໂຄນເດັກ ໄດ້ແຕ້ງຂື້ນອີເລັກໂຕຣນິກສ້າງຫຼາຍ ເພື່ອສ້າງໂດຍການເພີ່ມຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດເຊມິໂຄນ. ກິດເສົ້າຍັງມີການໃຊ້ຫຼາຍຄັນແລະຄວາມສຸດໃນອຸ້ງປະກອບເຊມິໂຄນ.
ກິດເສົ້າທີ່ເຊົ້າ, ອັມມັອນແລະນີເຕີເຈນ ໄດ້ຖືກໃຊ້ເພື່ອການເອົາເຂົ້າເຊມິໂຄນ ຫຼື ນີເຕີ ທີ່ຈະເປັນເຫຼົ່າເສີມຂອງເຊມິໂຄນ. Deposition.
ການແກ້: ມັນຖືກໃຊ້ເພື່ອລົບອອກສິ່ງທີ່ບໍ່ຕ້ອງການ ຫຼື ປັບແບບຈາກເຊມິໂຄນ ສ້າງໂດຍການໃຊ້ກິດເສົ້າທີ່ເຊົ້າ, ເຟີລິນແລະອົກຊີເຈນ.
ກິດເສົ້າ: ໂຮມແລະນີເຕີເຈນ ໄດ້ຖືກຕ້ອງການເພື່ອການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນການລ້ານເຊມິໂຄນ (ການປຸງ) ເພື່ອລົບຄວາມໜ້າຫຼາຍທີ່ສາມາດໝາຍເຖິງຄວາມປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ.
ການປຸງ: ອີງຂ່າຍໃຫຍ່ຂອງມັນແມ່ນ ພາຍໃນການເຮັດວຽກປຸງອຸປະກອນທີ່ກຳລັງເຮັດວຽກ, ເພື່ອລົບອອກອົກຊີເຈນແລະຄວາມຊຸມສູນຈາກລະບົບ ແລະເກັບຮັກສາສິ່ງທີ່ຢູ່ໃນລິນິ້ງ.
ເປັນຜົນການ, ການຄົ້ນຫາວัດຖຸທີ່ຍິງຂຶ້ນແລະການປະຕິບັດທີ່ຍິງສຸດກໍ່ບໍ່ມີທາງສິ້ນສຸດ ຫຼັງຈາກອຸຕະທຳພື້ນຖານໄປໜ້າ. ອາກາດທີ່ດີກວ່າແມ່ນສິ່ງທີ່ຕ້ອງການໃນການພັດທະນາອຸຕະທຳພື້ນຖານໃນອະນາຄົມ. ເອີ້ນີ້ແມ່ນອາກາດເทັກໂນໂລຊີ້ບາງຄົນທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດອຸຕະທຳພື້ນຖານ:
Fluorocarbons: ເຫດຜົນທີ່ອາກາດທີ່ມີຟລູໂຣແມ່ນດີສຳລັບການສ້າງລະບົບເສັ້ນທີ່ສຸດແມ່ນເພາະວ່າມັນເສີມສົງແລະເລືອກເອົາໄດ ໃນການແກ້ວ (ຫຼືລົບ) ແລະການເພີ່ມ (ເພີ່ມສ່ວນ).
CO2 - อากาศเฉื่อยที่ใช้สำหรับการประยุกต์ เช่น การพุ่งกระจาย, CVD และการทำความสะอาด.
ເຖິງແມ່ນວ່າມັນຄວນເຫັນວ່າເປັນການກ້າວໜ້າໃນການຜະລິດອຸຕະທຳພື້ນຖານ, ເນື່ອງຈາກລະບົບສົ່ງສິ່ງໃໝ່ທີ່ມີຢູ່ວັນນີ້. ປະສົມຜູ້ຜະລິດເລືອຍໆກໍ່ຄົ້ນຫາວິທີ້ເພີ່ມຄວາມສຳເລັດ, ລົບລັບຄວາມສູญເສຍ ແລະເພີ່ມຄວາມປອດໄພ. ອາກາດຂັ້ນສູງແລະລະບົບສົ່ງເຄື່ອງເຄື່ອງທີ່ມີຢູ່ວັນນີ້ແມ່ນແຈ້ງຢູ່ຂ້າງລຸ່ມ.
ລະບົບສົ່ງການ (ສຳລັບການທີ່ຄວບຄຸມຈຳນວນນ້ອຍຂອງການເຄື່ອນໄຫວ / ອຸປະກອນເຄມິກທີ່ຕ້ອງການໃນຊີບແຮ່)
ທື່ມາ: ລະບົບຊີບແຮ່ຂັດແຈ້ງຂັນສູງ ozoone plasma ແລະ hydrogen peroxide ສຳລັບວິທີທີ່ມີຄວາມມີຜົນສຳເລັດທີ່ສຸດເພື່ອຊີບແຮ່ຄວາມไม້ຈາກວັດຖຸທີ່ບັນຫາ.
ການເຄື່ອນໄຫວຊີບແຮ່ສາມາດສູ້ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບອົງປະກອນທີ່ມີຜົນກະທົບທີ່ດີກວ່າແຕ່ຍັງມີຄວາມສິ່ງອັນตรາຍທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ.ມີໂປຣແກຣຳບາງຢ່າງທີ່ໄດ້ຖືກເອົາໃຊ້ເພື່ອຫຼຸດຄວາມສູญເສຍແລະຮັບກັບການເຄື່ອນໄຫວໃນອິນເດີສຊີບແຮ່. ນີ້ບໍ່ແຕ່ແມ່ນຄົນລົງທຶນທີ່ເຮັດເພື່ອສັງຄົມຄວາມເປັນຫ่วງກ່ຽວກັບການເຄື່ອນໄຫວຊີບແຮ່;
ຄົນທີ່ໜຶ່ງແລະສຸດແທນ, ເປັນການຫຼຸດຄວາມສູญເສຍ -> ຄົນລົງທຶນເປັນເລື່ອງທີ່ຫາການຫຼຸດຈຳນວນຄວາມສູญເສຍທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນການຊີບແຮ່. ຂໍ້ກຳນົດທີ່ເຊັນກັບການຫຼຸດຈຳນວນຂອງເຄມິກແລະການເຄື່ອນໄຫວທີ່ໃຊ້, ຕົວຢ່າງການຮັບກັບທີ່เปົ່ງໄປ, ຫຼືການສ້າງລະບົບປິດ.
ກຳລັງຮຽນຮູ້: ການຊີ່ຄືນແຫ່ງວັດຖຸແລະເຄມິກອີນຈະເປັນວິທີ່ສຳຄັນອີກຢ່າງທີ່ຊ່ວຍໃນການຫຼຸດຜົນພາບຕໍ່娿 layoffs. ການເຮັດໃຫ້ເກີດຂົ້າເກັບສາມາດຖືກຫຼຸດໄດ້ໂດຍຜູ້ຜະລິດທີ່ອ່ານຮັບການຄືນຄຸນ, ຄືນແລະຊີ່ຄືນຂອງການສົ່ງອາຫານຫຼືເຄມິກທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດ.
ຄວາມສົມຄົ້ມ: ອາກາດແມ່ນສຳຄັນສຳລັບການຜະລິດອິเลັກໂຕຣນິກສ່ວນຫຼາຍທີ່ດີທີ່ສຸດ. ຜູ້ຜະລິດເປັນຈຳນວນຫຼາຍທີ່ສົງສະຫຼຸດທີ່ຈະປຸງແຂ່ງທັງການສົ່ງອາກາດແລະວິທີ່ສົ່ງທີ່ເປັນການສົ່ງສະເພາະທີ່ເປັນການສົ່ງທີ່ສົ່ງທີ່ສົ່ງທີ່ສົ່ງ. ທີ່ສົ່ງທີ່ສົ່ງທີ່ສົ່ງທີ່ສົ່ງທີ່ສົ່ງ.
AGEM ກຳລັງຮູ້ຈັກວ່າແຕ່ລະລູກຄ້າມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ຕ່າງກັນໃນດ້ານກ๊າຊພິເສດ, ເປັນຕົ້ນວ່າກ๊າຊເຄື່ອງວັດ. ພວກເຮົາສະຫນຸບສະຫນູນສົ່ງຜົນທີ່ຖືກຕັ້ງຂື້ນເພື່ອສະເໜີຄວາມຕ້ອງການພິເສດຂອງລູກຄ້າ. ຖ່າຍຸ່ມີຄວາມຕ້ອງການກ່ຽວກັບຄວາມສະກຸນ, ຄວາມໃຫຍ່ຂອງ Cylinder ຫຼື ການເປັກເປັນ, AGEM ບໍ່ສາມາດຊ່ວຍເຫຼົ່ງເພື່ອແປງສິນຄ້າໃຫ້ສົງຄົງກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງທ່ານໄດ້. ການແປງນີ້ຈະສົ່ງຜົນໃຫ້ທ່ານໄດ້ຮັບ Cylinder ກ๊າຊເຄື່ອງວັດທີ່ດີທີ່ສຸດສຳລັບການໃຊ້ງານຂອງທ່ານ, ເຊິ່ງຈະເພີ່ມຄວາມມັນທົບແລະຄວາມປະຕິບັດ. ສິນຄ້າຂອງ AGEM ບໍ່ໄດ້ຖືກຈັດເຂົ້າໃນກ๊າຊເຄື່ອງວັດເທົ່ານັ້ນ. ການລາຍຊື່ຂອງ AGEM ໃຫ້ມີກ๊າຊຫົວໜ້າ, Halocarbons, Chemical Gases ແລະ Rare gases. ທ່ານສາມາດຢືນຢັນໄດ້ວ່າ AGEM ມີກ๊າຊທີ່ທ່ານຕ້ອງການ.
ການອົ່ງອອກຂອງກ๊າຊທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດເຄື່ອງມືອົບສັນແມນແມ່ນບັນຫາທີ່ຍິ່ງ. ພວກເຮົາສອບສວນການອົ່ງອອກຕົ້ນ 5 ຄັ້ງເພື່ອປຸງປົກຄູນິດ. ບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາມີລິນສຳລັບການຜະລິດແລະສອບສວນທັງໝົດ, ແລະການປຸງປົກຄູນິດທີ່เขັງແຂງ, ເປັນລະດັບທີ່ສູງສຸດ ແລະລະບົບບໍລິການຫຼັງຈາກການຂາຍທີ່ສຳເລັດ, ເພື່ອປຸງປົກວ່າລູກຄ້າຈະໄດ້ຮັບເຄື່ອງມືທີ່ມີຄູນິດສູງສຸດແລະບໍລິການທີ່ສຳເລັດທັງໝົດ. ທຸລະກຳຂອງພວກເຮົາໃນການສະໜອງບໍລິການລູກຄ້າທີ່ດີທີ່ສຸດແລະຄູນິດທີ່ສູງແມ່ນສິ່ງທີ່ພວກເຮົາສຸດໃຈ. ຕົວແທນທີ່ມີທັศນາຄົມຂອງພວກເຮົາເປັນທຸກຄັ້ງທີ່ຢູ່ໃນມື້ທີ່ຈະຊ່ວຍເຫຼຸ່ງທ່ານແລະປຸງປົກວ່າທ່ານຈະໄດ້ຮັບບໍລິການທີ່ດີທີ່ສຸດເຖິງຄວາມສັດສະດວງຂອງທ່ານ. ບໍລິການ 24X7 ຂອງພວກເຮົາແມ່ນສິ່ງທີ່ເສີຍພຽງ. ພວກເຮົາມີຢູ່ທີ່ນີ້ເພື່ອທ່ານທຸກມື້, ມື້ທຸກມື້, ແລະທຸກເວລາ.
AGEM ກຳລັງສະຫນອງຊຸດຄົນທີ່ມີຂອບເຂົ້າຫຼາຍປະເພດເພື່ອຮັບການຫຼິ້ນອຸນຫະພູມຕ່ຳຫຼາຍແລະການຈັບຢູ່ຂອງນ້ຳແລະການເຊື່ອທີ່ຖືກຫຼິ້ນອຸນຫະພູມຕ່ຳ, ເຊັ່ນ ໜຶ່ງໂຄເຊື່ອ (liquid oxygen) ແລະ ອາກອນ (argon). ມັນຍັງສາມາດຈັບ ຄາບອນໄດ້ອອກຊິດ (carbon dioxide), ນີເຕີເຈນ (nitrogen) ແລະ ນີເຕີເຈນໂອີຊິດ (nitrous). ພວກເຮົາໃຊ້ ລົດແລະອຸປະກອນທີ່ເຂົ້າມາຈາກຕ່າງປະເທດເພື່ອສົ່ງຜົນການເຮັດວຽກສູງສຸດ. ການໃຊ້ອຸປະກອນບັນທຶກກາສ ແລະ ການໃຫ້ຄວາມສຳຄັນກັບການໃຊ້ກາສ ທີ່ເກີນຄວາມດັ່ງກ່າວ ໃນເຂດກາສ. ລົດຄຸ້ມຄຸ້ມສອງແຈກສະຫນອງຄວາມປົກປ້ອນສູງສຸດສໍາລັບການເຮັດວຽກ. ພວກເຮົາສະຫນອງຊຸດຄົນທີ່ມີຂອບເຂົ້າຫຼາຍປະເພດທີ່ສາມາດຮັບການນຳໃຊ້ຂອງນ້ຳທີ່ຖືກຫຼິ້ນອຸນຫະພູມຕ່ຳ ແລະ ນຳໃຊ້ໃນຊີວິດປະຈຳມື້. ຕົວຝູ້: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/500L/1000L ຕົວເລື່ອງ: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa ອຸນຫະພູມອອກແບບຂອງຖົງໃນ: +196 ອຸນຫະພູມອອກແບບຂອງຖົງໜ້າ: 20oC+50oC ການປັບ: ວ່າງກັບຫຼາຍແຈກ ທີ່ຖືກປັບ. ການຮັບການບັນທຶກ: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM ໄດ້ເປັນຫນຶ່ງໃນການເຮັດວຽກໃນໄທແລນມາກວ່າ 25 ປີ ພວກເຮົາມີຄວາມຊ່ອງເສີນໃນການຄົ້ນຄວ້ນແລະພັດທະນາ (R&D) ໃນພື້ນທີ່ນີ້ ແລະສາມາດສະແດງຄວາມຊ່ອງເສີນທີ່ບໍ່ຊ້ານິກໃນໜ້າທີ່ຂອງກ๊າຊພິເສດ, ກ๊າຊຫຼາຍ, ແລະກ๊າຊຕົວຢ່າງໃນ 6 ເຂດຕ່າງໆ. ໄທແລນ - ນະຄອນ Kaohsiung (ຫົວໜ້າ, ການຄົ້ນຄວ້ນແລະພັດທະນາ) ອິນເດຍ - Mumbai, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, Delhi ຈີນ - Wuhan ຕາເວັນອອກ - Dubai (UAE) & Kingdom of Saudi Arabia ອັງກິດ - Cambridge ສົມບູນການຈັດເຫຼົ້າກ່ຽວກັບກ๊າຊທີ່ພວກເຮົາສະແດງມາມີ: ການສະແດງຄວາມຄິດເຫັນຕຸ່ມ. ການປະສົມປະສານແລະການເປີດຕົວ. ການສອບສວນຕົວຢ່າງ. ການເ泰国ຟ້າ. ການແຜນການ. ແລະການຜະລິດ.