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エキシマレーザーガス 日本

これらすべての産業の中で、大きな変革をもたらした技術の1つがエキシマAGEMです。 エキシマレーザーガス/Arfプレミックスガスエキシマレーザーガスをベースとしたこの先進技術は、さまざまな意味で表面洗浄プロセスの飛躍的進歩の基盤を築き、医療機器製造における現代のエントロピーをさらに推進しています。     

エキシマ レーザー ガス洗浄は、表面処理の最も優れた利点となっています。エネルギー源にさらすと、化学的に活性な種が新しい表面処理に生成されます。表面残留物が少なく、後処理の副産物がまったくないことが特徴です。非反応性ガスが追加され、エキシマ レーザー ガスの流れが発生します。レーザー アブレーションとも呼ばれるこのプロセスは、非常に正確で再現性が高いだけでなく、非常に効率的であるため、複雑な形状に最適です。


物質の制御された分解

結局のところ、エキシマ レーザー ガスの背後にある技術は、まさに科学の成果です。エキシマ レーザー (短パルス、高エネルギー紫外線 [UV] 光) によるアブレーションは、物質の制御された分解を実現します。レーザーが表面に当たるとすぐに、物質は周囲に損傷を与えることなく蒸発します。混合物内の非反応性ガスによって、潜在的に有害な反応が事前に阻止され、常にすべてが制御されます。       

エキシマレーザーAGEMの導入 ガスボンベ この技術は、特にフォトリソグラフィーに関して、半導体業界に広範囲にわたる変化をもたらしました。これは、マスクを装着したコンピュータ チップの特徴を印刷するために光が使用されるため、非常に重要なステップです。エキシマ レーザーの短波長と高エネルギー密度は、微細な特徴を持つ複雑なマイクロ/ミュージカル パターンの作成に適しています。


AGEM エキシマレーザーガスを選ぶ理由は何ですか?

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