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高純度 99.999% C116 ヘキサフルオロエタン C2F6 ガスは、実際、業界の最大の基準を満たすよう非常に慎重に作られた最高級品です。純度が優れているため、燃料には性能や安全性を損なう可能性のある不純物や汚染物質が含まれていないことがわかります。
高純度 99.999% C116 ヘキサフルオロエタン C2F6 ガスの重要な特長の XNUMX つは、その模範的なセキュリティです。この技術は、条件や圧力の量よりもはるかに多くの特性を維持するため、他のガスとは異なり、精度と精度が重要となる要求の厳しい用途での使用に適しています。
このガソリンは通常、その安全性と純度が特徴で、非常に用途が広いです。冷媒、溶剤、噴射剤など、さまざまな用途に利用できる可能性があります。その独特な特性は、電子デバイスやマイクロチップの製造に広く使用されている半導体業界での使用に特に適しています。
この製品の最も重要な特徴の 1 つは、環境への影響が最小限に抑えられているため、他のガスとは異なり環境に優しいことです。つまり、有毒物質の含有量が少なく、多くの人にとって適していると考えられます。
満足感と信頼性に関して言えば、AGEM は単に業界から信頼されているタイトルです。当社は、当社の製品とサービスが品質とセキュリティの最大の要件を満たしていることを確認するために細心の注意を払っています。当社が最新の技術と設備を使用した最先端の施設でガスを製造する理由。当社の卓越性への献身は、高純度 99.999% C116 ヘキサフルオロエタン C2F6 ガスがお客様の求める満足と基準を提供すると信頼していただけることを意味します。
水、アルコールにわずかに溶けます。これは非常に強力で長寿命の温室効果ガスです。
物理的性質[編集]
ヘキサフルオロエタンの固相には 2 つの多形があります。科学文献では、さまざまな相転移温度が記載されています。
述べました。最新の研究では、103 K (-170 °C) に割り当てられています。 103 K 未満ではわずかに不規則な構造があり、転移を超えると
要は、体心立方構造を持っているということです[1]。臨界点は 19.89 °C (293.04 K) および 30.39 bar です。[2]
密度の表:
状態、温度密度(kg.m−3)液体、−78.2℃16.08ガス、−78.2℃8.86ガス、15℃5.84ガス、20.1℃5.716ガス、24℃5.734蒸気
密度は 4.823 (空気 = 1)、比重は 21 °C で 4.773 (空気 = 1)、比容積は 21 °C で 0.1748 m3/kg です。
用途[編集]
ヘキサフルオロエタンは、半導体製造において多用途のエッチング剤として使用されます。金属の選択エッチングに使用可能
ケイ化物と酸化物とその金属基板の比較、またシリコン上の二酸化シリコンのエッチングにも使用できます。一次アルミニウムと
半導体製造業界は、ホール エロー法を使用するヘキサフルオロエタンの主な排出者です。
トリフルオロメタンとともに、冷媒 R508A (61%) および R508B (54%) に使用されます。
網膜硝子体手術後の網膜の再付着を補助するタンポナーデとして使用されます。 [3]
環境への影響[編集]
さまざまな緯度でのヘキサフルオレタンの時系列。
CF 結合のエネルギーが高いため、ヘキサフルオレタンはほぼ不活性であり、非常に安定した温室効果ガスとして作用します。
大気中の寿命は 10,000 年 (他の情報源: 500 年) [4]。地球温暖化係数 (GWP) は 9200 で、オゾンが存在します。
ヘキサフルオロエタンは、IPCC の温室効果ガスのリストに含まれています。
工業規模での製造が行われる以前は、ヘキサフルオロエタンは環境中に大量に存在していませんでした。大気
ヘキサフルオロエタンの濃度は、3 世紀初頭に 21 pptv に達しました。[5]赤外線部分の吸収バンド
このスペクトルは約 0.001 W/m2 の放射力を引き起こします。
健康リスク[編集]
相対密度が高いため、低地に集まり、高濃度では窒息を引き起こす可能性があります。他の
健康への影響はテトラフルオロメタンと同様です。
ハロカーボン 2 としても知られる C6F116 は、半導体および MEMS エッチング アプリケーションおよび MEMS 向けに当社が提供する最高純度の製品です。
チャンバー洗浄用途。ハロカーボン 116 は、無色、無臭の液化ガスです。
商品名 | 高純度 99.999% C116 ヘキサフルオロエタン C2F6 ガス | お肌にいいもの | 99.9〜99.999%の |
CASいいえ | 76-16-4 | EINECSいいえ | 200-939-8 |
MF | C2F6 | モル質量 | 76-16-4.mol |
国連番号 | 2193 | ハザードクラス | 2.2 |
外観 | 無色、不燃性 | 臭気 | 無臭 |
検査項目 | 単位 | 要件 | 検査結果 |
製品外観 | / | 無色透明 | 無色透明 |
製品の臭気 | / | 無臭 | 無臭 |
純度、%、≧ | M / M | 99.9 | 99.99 |
水分,%,≦ | M / M | 0.001 | 0.0004 |
酸性度 (HCL として)、≦ | M / M | 0.0001 | <0.00001 <> |
蒸発残留物,%,≦ | M / M | 0.01 | 0.001 |
使用法 | ヘキサフルオロエタンの代表的な用途 |
半導体とマイクロエレクトロニクス | プラズマタイミングガス、デバイス表面洗浄剤として使用 |
冷凍 | 繊維の生産と極低温冷凍 |
小包のサイズ | 40Ltrシリンダー | 500Ltrシリンダー | |
充填内容/シリンダー | 42Kgs | 520Kgs | |
20フィートコンテナに搭載された数量 | 170シリンダー | 15シリンダー | |
全容積 | 7.14Tons | 7.8Tons | |
ヘキサフルオロエタン用バルブ | QF-2 |