Gáis Ardíonachta don Leictreonaic Móinfhluaramethán 99.999% FC41 NA 2454 Halacarbón 41 Meitil-Fluairíd CH3F
AGEM gás Monafluarameatán ardíonachta (CH3F) a tháirgeadh agus a dhíol le húsáid i bpróiseas monaraíochta sliseanna leathsheoltóra.
Fluaraimeatán, ar a dtugtar freisin fluairíd meitile, Freon 41, Halocarbon-41 agus HFC-41, is gás neamh-tocsaineach, inleachtaithe ag teocht agus brú caighdeánach. Tá sé déanta de charbón, hidrigin, agus fluairín. Eascraíonn an t-ainm ón bhfíric gur meatán (CH4) é agus adamh fluairín curtha in ionad ceann de na hadaimh hidrigine. Úsáidtear é i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra mar ghás eitseála in imoibreoirí plasma etch.
Fluaraimeatán, Is gás inleachtaithe neamhthocsaineach é fluairíd mheitile (MeF) nó Halocarbón 41 a úsáidtear chun táirgí leathsheoltóra agus leictreonacha a mhonarú. I láthair réimse RF díscaoileann sé isteach iain fluairín chun eitseáil roghnaíoch a dhéanamh ar scannáin chomhdhúile sileacain.
Iarratais:CH3F Is gás speisialtachta é a úsáidtear i bpróiseas monaraíochta sliseanna leathsheoltóra le haghaidh scannán nítríde micromachining trí eitseáil. Úsáidtear CH3F go príomha i ndéanamh sliseanna cuimhne leathsheoltóra lena n-áirítear NAND flash agus DRAM a éilíonn teicneolaíocht micromachining. Ós rud é go bhfuil a roghnaíocht eitseála níos airde ná iad siúd de gháis eile, tá CH3F oiriúnach le haghaidh micromachining struchtúr ilchiseal de 3D NAND flash. Tá an t-éileamh ar CH3F ag méadú na laethanta seo mar gheall ar go leor línte a thosú chun flash 3D NAND a mhonarú.