- Forbhreathnú
- Fiosrúcháin
- Táirgí Gaolmhara
Eolas Táirge:
Is cuisneán crióigineach é tetrafluoride carbóin atá sách támh faoi ghnáthchoinníollacha, díláithreoir ocsaigine, agus úsáidtear é freisin i bpróisis eitseála wafer éagsúla.
Is é CF4 an gás eitseála plasma is mó a úsáidtear sa tionscal micrileictreonaic faoi láthair. Is féidir é a úsáid go forleathan in eitseáil ábhair scannáin tanaí ar nós sileacain, dé-ocsaíd sileacain, nítríde sileacain, gloine fosfailicáit agus tungstain, agus i nglanadh dromchla gléasanna leictreonacha agus cealla gréine. Úsáidtear go forleathan é freisin i dtáirgeadh teicneolaíocht léasair, insliú céim gáis, cuisniú íseal-teocht, gníomhairí braite sceite, rialú dearcadh na roicéid spáis, agus gníomhairí dí-éillithe i dtáirgeadh ciorcad priontáilte.
Mar gheall ar chobhsaíocht cheimiceach teitreafluairíd charbóin, is féidir teitreafluairíd charbóin a úsáid i dtionscail bruithnithe miotail agus plaisteach