Kaasulaitteet

Kaikki

• Muut kemikaalit

  • Cream laturi
  • AlH3

• Kaasujen seos

  • Excimer Laser Gas/Arf Premix Gas

• Etchants

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• reagenssit

  • EI, typpioksidi
  • H2S
  • CO, hiilimonoksidi
  • NH3
  • HCL

• hiilivedyt

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Bulkki ja harvinaiset kaasut

  • O2
  • CO2
  • Vety
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • Krypton
  • Helium
  • Argon
  • CL2

• Halogeenihiilivetyjen

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Kylmäainekaasu

  • R290
  • R170
  • R508B

• Kaasulaitteet

  • Pumppu
  • Sylinteriteline
  • Kaasukaappi
  • Hapen säädin
  • VMB
  • ISO säiliö
  • Sylinterikorkki
  • venttiili
  • Alumiinisylinteri
  • Terässylinteri