Purdeb Uchel 99.999% Gradd Electronig Ar gyfer Defnydd Lled-ddargludyddion C4F6 Nwy Octafluorocyclobutane Nwy

Ymchwiliad

Trosolwg
Ymchwiliad
Cynhyrch perthnasol

Ysgythru Sych Deunyddiau Seiliedig ar Ocsid Nwyon Hylifedig Cywasgedig Perfflworo 2 butyne H 2316 Perfluoro2butyne C4F6

Mae hexafluoro1,3-biwtadïen yn nwy cywasgedig hylifedig gwenwynig, di-liw, heb arogl, fflamadwy.

Mae blynyddoedd o ymchwil wedi dangos bod C4F6 (H-2316) yn cyflwyno nifer o fanteision ar gyfer ysgythru sych deunyddiau sy'n seiliedig ar ocsid:

Mae ganddo gyfradd ysgythru a detholusrwydd uwch nag octafluorocyclobutane (c-C4F8 - H318), ysgythr arall a ddefnyddir yn helaeth ar gyfer silicon ocsid. Yn wahanol i C4F8 (H318), gyda C4F6 (H2316), dim ond y swbstrad dielectrig sydd wedi'i ysgythru. Mae gan y strwythur ysgythru gymhareb agwedd uwch, sy'n arwain at ffosydd culach o'i gymharu â c-C4F8.VOC yn cael ei leihau: mae gan C4F6 (H2316) botensial cynhesu byd-eang isel oherwydd mae ganddo oes llawer byrrach yn yr atmosffer.

cais:

Y genhedlaeth nesaf o ddeunyddiau craidd sydd eu hangen mewn prosesau cynhyrchu LSI i leihau lled a dyfnder llinell cylched. Defnyddir y nwy ysgythru sych mewn proses ysgythru o dyllau cyswllt micro. Ar gyfer nwyon arbennig yn seiliedig ar fformiwla gemegol CxFy, y lleiaf yw'r gwerth F / C, y mwyaf o grwpiau CF2 a gynhyrchir. O'i gymharu â C2F6 C3F8, mae gan C4F6 gymhareb F / C lai ac mae'n cynhyrchu mwy o grwpiau CF2, sydd yn ei dro yn ysgythru mwy o ffilm ocsid. Felly, mae gan C4F6 ddetholusrwydd uwch i'r ffilm ocsid ac mae'n caniatáu ar gyfer ysgythru mwy unffurf.