Plynové zařízení

Vše

• Ostatní chemikálie

  • Krémová nabíječka
  • AlH3

• Směsné plyny

  • Excimerový laserový plyn/arfový premixový plyn

• Leptadla

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• reaktanty

  • NE, oxid dusnatý
  • H2S
  • CO, oxid uhelnatý
  • NH3
  • HCL

• Uhlovodíky

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Hromadné a vzácné plyny

  • O2
  • CO2
  • Vodík
  • N2
  • xenon
  • Neon
  • Krypton
  • Hélium
  • argon
  • CL2

• Halocarbons

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Chladicí plyn

  • R290
  • R170
  • R508B

• Plynové zařízení

  • Čerpadlo
  • Stojan na válce
  • Plynová skříň
  • Regulátor kyslíku
  • VMB
  • Nádrž ISO
  • Uzávěr válce
  • Klapka
  • Hliníkový válec
  • Ocelový válec