EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
НЕ
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Высокая чысціня 99.999% электроннага класа для выкарыстання ў паўправадніках Газ C4F6 Актафторцыклабутан Беларусь
- агляд
- Запыт
- Спадарожныя тавары
Сухое тручэнне Матэрыялы на аснове аксіду Сціснутыя звадкаваныя газы Перфтор 2 бутын H 2316 Перфтор 2 бутын C4F6
Гексафтор-1,3-бутадыен - гэта таксічны бескаляровы сціснуты газ без колеру і паху.
Гады даследаванняў паказалі, што C4F6 (H-2316) мае некалькі пераваг для сухога тручэння матэрыялаў на аснове аксіду:
Ён мае больш высокую хуткасць тручэння і селектыўнасць, чым актафторцыклабутан (c-C4F8 – H318), яшчэ адзін шырока выкарыстоўваны пратручвальнік для аксіду крэмнію. У адрозненне ад C4F8 (H318), у C4F6 (H2316) пратручваецца толькі дыэлектрычная падкладка. Выгравіраваная структура мае больш высокі каэфіцыент бакоў, што прыводзіць да звужэння траншэй у параўнанні з c-C4F8. Выкіды ЛОС зніжаюцца: C4F6 (H2316) мае нізкі патэнцыял глабальнага пацяплення, паколькі мае значна карацейшы час жыцця ў атмасферы.
Ужыванне:
Наступнае пакаленне асноўных матэрыялаў, неабходных у вытворчых працэсах LSI для мінімізацыі шырыні і глыбіні лініі схемы. Сухі травільны газ выкарыстоўваецца ў працэсе тручэння мікракантактных адтулін. Для спецыяльных газаў, заснаваных на хімічнай формуле CxFy, чым меншае значэнне F/C, тым больш утвараецца груп CF2. У параўнанні з C2F6 C3F8, C4F6 мае меншае стаўленне F/C і стварае больш груп CF2, якія, у сваю чаргу, вытраўліваюць больш аксіднай плёнкі. Такім чынам, C4F6 мае больш высокую селектыўнасць да аксіднай плёнкі і забяспечвае больш раўнамернае тручэнне.
