Hoë suiwer gasse vir elektronika Monofuormetaan 99.999% FC41 UN 2454 Halokoolstof 41 Metielfluoried CH3F

ondersoek

Oorsig
ondersoek
Verwante Produkte

Hoë suiwer gasse vir elektronika Monofuormetaan 99.999% FC41 UN 2454 Halokoolstof 41 Metielfluoried CH3F

OUDERDOM vervaardig en verkoop hoësuiwer monofluormetaangas (CH3F) om in die vervaardigingsproses van halfgeleierskyfies gebruik te word.

Fluormetaan, ook bekend as metielfluoried, Freon 41, Halocarbon-41 en HFC-41, is 'n nie-giftige, vloeibare gas by standaard temperatuur en druk. Dit is gemaak van koolstof, waterstof en fluoor. Die naam spruit uit die feit dat dit metaan (CH4) is met 'n fluooratoom wat vir een van die waterstofatome vervang word. Dit word in halfgeleiervervaardigingsprosesse as 'n etsgas in plasma-etsreaktore gebruik.

Fluormetaan, meer algemeen genoem metielfluoried (MeF) of Halocarbon 41 is 'n nie-giftige vloeibare gas wat gebruik word in die vervaardiging van halfgeleier en elektroniese produkte. In die teenwoordigheid van 'n RF-veld dissosieer dit in fluoorione vir selektiewe ets van silikonverbindingsfilms.

Aansoek:CH3F is 'n spesialiteitsgas wat gebruik word in die vervaardigingsproses van halfgeleierskyfies vir mikrobewerking van nitriedfilm deur ets. CH3F word hoofsaaklik gebruik in die vervaardiging van halfgeleiergeheueskyfies insluitend NAND-flits en DRAM wat mikrobewerkingstegnologie vereis. Aangesien sy etselektiwiteit hoër is as dié van ander gasse, is CH3F geskik vir mikrobewerking van meerlaagstruktuur van 3D NAND-flits. Die vraag na CH3F neem deesdae toe as gevolg van die aanvang van baie lyne om 3D NAND-flits te vervaardig.