Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Điều này đã dẫn đến  AGEM lặp lại hoàn toàn các cách mới, phá cách để khai thác metan trong quá trình sản xuất bán dẫn. Những tiến bộ đó yêu cầu công nghệ đọc sâu bên trong — và bài viết này minh họa cách tăng cường sử dụng metan có thể tạo ra các con chip nhanh hơn với chi phí thấp hơn/chất lượng cao hơn, điều này đóng vai trò nền tảng cho tất cả các hệ thống điện tử. Vậy, chúng ta đã học được gì từ hai bài học trước đây: Tốt, bằng cách hiểu một số khái niệm phức tạp hơn này, chúng ta có thể nắm bắt tại sao sự đổi mới công nghệ là quan trọng và nó ảnh hưởng như thế nào đến cuộc sống hàng ngày của chúng ta.

Làm cho Bán dẫn Tốt hơn

Để tạo ra các mẫu vi mô nhỏ được in trên bề mặt của wafer bán dẫn, AGEM cần một dòng chảy liên tục của khí metan và Chất phản ứng đó là dư thừa hoặc thặng dư. Một phản ứng hóa học đặc biệt xảy ra giữa metan và oxy. Tuy nhiên, phản ứng này tạo ra khí plasma giúp loại bỏ một số chất trên bề mặt của wafer. Mức độ chúng ta phát triển có thiết kế hạt và AGEM chỉ có thể cẩn thận kiểm soát quy trình này.

Việc sản xuất bán dẫn là một quá trình rất phức tạp. Vì vậy, có hàng tấn các yếu tố khác cần được kiểm soát chặt chẽ theo thời gian thực cùng với dòng khí, áp suất buồng và nhiệt độ. Các nhà sản xuất bán dẫn sử dụng metan cho quá trình chuyển đổi này có thể tạo ra ít chất thải hơn và hoạt động kinh tế hơn. Điều này cho phép công ty sản xuất bán dẫn nhanh chóng, và việc cắt giảm chi phí rất quan trọng để duy trì khả năng cạnh tranh trong ngành kinh doanh đối với tất cả các doanh nghiệp.

Etching Khô: Một Phương Pháp Metan Từ Góc Độ Khác

Ví dụ, AGEM có thể trộn một ít metan vào khí khác, chẳng hạn như argon hoặc heli để cải thiện hiệu suất của quá trình etching khô. Sự kết hợp này làm giảm lượng chất thải được tạo ra so với việc sử dụng trực tiếp metan. AGEM có thể đi xa hơn nữa bằng cách kiểm tra các sự kết hợp hỗn hợp khí có thể dùng cho quy trình.

Một trong những cách AGEM làm điều đó là sử dụng nguồn plasma từ xa đặc biệt. Đây là phương pháp bạn đã sử dụng trước đây để tạo ra plasma, nhưng thực tế nó tạo ra plasma bên ngoài buồng xử lý, sau đó mới đưa vào lõi của nó. Ví dụ, trong trường hợp này, các tấm wafer nhạy cảm có thể được bảo vệ khỏi bị hư hại trong quá trình etching. Cuối cùng, điều này dẫn đến thành phần hoàn thiện hoạt động tốt hơn và nhà sản xuất bán dẫn có thể tin tưởng hơn vào hiệu suất cuối cùng.

Cách mạng hóa ngành công nghiệp bán dẫn Giảm thiểu Methane

AGEM dẫn đầu bằng cách sử dụng thông minh metan trong việc sản xuất bán dẫn. Họ đang làm việc thông minh để tăng tốc và tối ưu hóa toàn bộ quy trình sản xuất với việc giới thiệu các chiến lược mới. Kết quả là làm cho bán dẫn rẻ hơn và cuối cùng là một sản phẩm tốt hơn.

Cột metan tương tự cũng là một lợi thế khi nó có thể là sản phẩm phụ của khí天然气 -- một chiến thắng khác! Metan và  hydrogene , nói cách khác, tốn ít chi phí hơn để thu được so với bất kỳ khí ăn mòn thay thế nào. Do đó, metan đang bắt đầu trở thành một lựa chọn rất hấp dẫn đối với các nhà sản xuất đang tìm cách tạo ra những bán dẫn tuyệt vời nhưng vẫn rẻ tiền.

Những Người Hỗ Trợ Hiện Đại Nhất Cho Việc Sử Dụng Methan, Bán Dẫn, Cải Tiến Quy Trình

Các Phương Pháp Khác Để Sử Dụng Methane Một Cách Thông Minh Hơn AGEM Liên Tục Xem Xét Các Thủ Tục Mới Bằng cách thay đổi các yếu tố như dòng khí, áp suất và nhiệt độ, có thể đạt được sự thích ứng thêm cho một số trong số đó để giúp ngăn ngừa lãng phí trong khi tăng hiệu quả. Nó cải thiện theo thời gian và cho phép nhà sản xuất tăng công suất sản xuất, điều này làm giảm chi phí (có nghĩa là giá thấp hơn cho tất cả mọi người).

Điều này cũng là một lợi ích quan trọng khác trong việc cải thiện các quy trình này thông qua một tấm wafer silicon sạch sẽ. Sau khi tấm wafer được sản xuất, nếu quá trình sản xuất không được kiểm soát tốt, điều này sẽ gây ra phần của wafer bị ô nhiễm và trầy xước. Điều này dẫn đến giá sản phẩm thấp hơn và giá cao hơn cho nhà sản xuất đối với một số ít. AGEM đang đẩy mạnh các quy trình của họ vì các tấm wafer chất lượng cao là cần thiết cho việc sản xuất bán dẫn thành công.

Những Tiến Bộ Mới Nhất Trong Việc Sử Dụng Methane

AGEM hoặc Nhóm Khí Điện Khai Thác Methane là luôn tìm cách để sử dụng khí methane đã chuẩn bị và Hydrocarbon có thể được sử dụng một cách hiệu quả hơn. Hiện họ đang làm việc trên một thứ liên quan đến nguồn plasma mới. Một nguồn plasma nhanh hơn có thể gợi ý về việc sản xuất rẻ hơn của một lượng lớn các chất bán dẫn, nhưng vẫn cho phép các công ty đưa bán dẫn ra thị trường với giá thấp hơn.

AGEM cũng đang phát triển các loại khí ăn mòn mới dung nạp được với methane. Các loại khí này đóng vai trò quan trọng trong việc cải thiện hiệu suất của quá trình ăn mòn khô, từ đó nâng cao hiệu quả tổng thể của nó. Bằng cách pha trộn các loại khí khác nhau và xác định những loại tốt nhất, AGEM hy vọng có thể mở rộng khả năng của các nhà sản xuất trong tương lai trong lĩnh vực bán dẫn.