Công ty TNHH Vật liệu điện tử Air Gas Việt Nam

Tất cả danh mục

Tối đa hóa hiệu quả của Methane trong quá trình khắc khô và bán dẫn

2024-11-09 15:13:02
Tối đa hóa hiệu quả của Methane trong quá trình khắc khô và bán dẫn

Điều này đã dẫn MỘT VIÊN NGỌC để lặp lại những cách hoàn toàn mới, sáng tạo để khai thác mêtan trong quá trình chế tạo chất bán dẫn. Những tiến bộ đó đòi hỏi công nghệ phải được hiểu sâu bên trong — và bài viết này minh họa cách tăng cường sử dụng mêtan có thể tạo ra chất bán dẫn nhanh hơn với chi phí thấp hơn/chất lượng cao hơn, đóng vai trò là nền tảng cho tất cả các hệ thống điện tử. Vậy, chúng ta đã học được gì ở đây từ hai bài học trước: Bằng cách hiểu một số khái niệm phức tạp hơn một chút này, chúng ta có thể nắm bắt được lý do tại sao đổi mới công nghệ lại quan trọng và nó ảnh hưởng đến các động lực hàng ngày của chúng ta như thế nào. 

Làm cho chất bán dẫn tốt hơn

Để tạo ra các mẫu cực nhỏ được in trên bề mặt của các tấm bán dẫn, AGEM cần một luồng khí mê-tan liên tục và Hoá chất đó là dư thừa hoặc dư thừa. Một phản ứng hóa học đặc biệt diễn ra giữa mêtan và oxy. Tuy nhiên, phản ứng này tạo thành khí plasma giúp loại bỏ một số chất trên bề mặt của wafer. Mức độ chúng tôi phát triển có thiết kế dạng hạt và AGEM chỉ có thể kiểm soát quá trình này một cách thận trọng. 

Sản xuất chất bán dẫn là một quá trình rất phức tạp. Vì vậy, có rất nhiều thứ khác cần được kiểm soát chặt chẽ theo thời gian thực cùng với lưu lượng khí, áp suất buồng và nhiệt độ. Các nhà sản xuất chất bán dẫn sử dụng mêtan để chuyển đổi này có thể tạo ra ít chất thải hơn và hoạt động kinh tế hơn. Điều này cho phép công ty sản xuất chất bán dẫn nhanh chóng và việc cắt giảm chi phí rất quan trọng để duy trì khả năng cạnh tranh trong kinh doanh cho tất cả các doanh nghiệp. 

Khắc khô: Một mêtan của một góc độ khác

Ví dụ, AGEM có thể trộn một số khí mê-tan vào một loại khí khác, chẳng hạn như argon hoặc heli để có thể cải thiện độ dẫn khắc khô. Hỗn hợp này làm giảm chất thải được tạo ra so với việc sử dụng trực tiếp khí mê-tan. AGEM có thể tiến thêm một bước nữa và kiểm tra các kết hợp hỗn hợp khí có thể có cho quy trình. 

Một trong những cách AGEM thực hiện điều đó là với một nguồn plasma từ xa đặc biệt. Đây là phương pháp bạn đã sử dụng trước đây để tạo plasma, nhưng thực tế nó tạo ra plasma bên ngoài buồng xử lý, sau đó phải được đưa đến lõi của nó. Ví dụ, trong trường hợp này, các tấm wafer mỏng manh có thể được bảo vệ khỏi bị hư hỏng trong quá trình khắc. Cuối cùng, điều đó tạo ra một bộ phận hoàn thiện có hiệu suất tốt hơn và là bộ phận mà các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể đảm bảo hiệu suất cuối cùng tốt hơn. 

Cách mạng hóa ngành bán dẫn làm giảm khí mê-tan

AGEM tiên phong trong việc sử dụng khí mê-tan thông minh hơn trong sản xuất chất bán dẫn Họ đang làm việc một cách thông minh để đẩy nhanh và hợp lý hóa toàn bộ quy trình sản xuất bằng cách giới thiệu các chiến lược mới. Kết quả là làm cho chất bán dẫn rẻ hơn và cuối cùng là một sản phẩm thậm chí còn tốt hơn. 

Cột khí mê-tan tương tự cũng là một điểm cộng vì nó có thể là sản phẩm phụ của khí đốt tự nhiên -- một chiến thắng khác! Mê-tan và Hydro, nói cách khác, ít tốn kém hơn để có được so với bất kỳ loại khí khắc thay thế nào. Do đó, mêtan bắt đầu trông giống như một lựa chọn rất hấp dẫn đối với các nhà sản xuất muốn tạo ra chất bán dẫn tuyệt vời nhưng vẫn rẻ tiền. 


Người ủng hộ hiện đại nhất của việc sử dụng mêtan, chất bán dẫn, cải tiến quy trình

Các phương pháp khác để sử dụng khí mê-tan theo cách thông minh hơn AGEM liên tục xem xét các quy trình mới Bằng cách thay đổi các khía cạnh như lưu lượng khí, áp suất và nhiệt độ, có thể đạt được khả năng thích ứng hơn nữa đối với một số phương pháp để giúp ngăn ngừa lãng phí trong khi tăng hiệu quả. Nó cải thiện theo thời gian và cho phép nhà sản xuất tăng năng lực sản xuất, giúp giảm chi phí (có nghĩa là giá thấp hơn cho tất cả mọi người. 

Đây cũng là một lợi ích quan trọng khác trong việc giúp cải thiện các quy trình này thông qua một wafer silicon khá sạch. Sau khi wafer được sản xuất, nếu quy trình sản xuất không được kiểm soát tốt, điều này sẽ khiến một phần wafer bị ô nhiễm và bị trầy xước. Điều này dẫn đến giá sản phẩm thấp hơn và giá nhà sản xuất cao hơn đối với một số ít. AGEM đang tăng cường các quy trình của họ vì các wafer chất lượng cao là điều cần thiết cho sản xuất chất bán dẫn thành công. 

Những tiến bộ mới nhất trong việc sử dụng khí mê-tan

AGEM hay Nhóm Khí Điện Mê-tan Liên kết luôn luôn cố gắng tìm ra những cách thức để chuẩn bị khí mê-tan và Hydrocacbon có thể được sử dụng thành thạo hơn. Họ đang nghiên cứu một thứ liên quan đến nguồn plasma mới. Một nguồn plasma nhanh hơn có thể gợi ý sản xuất rẻ hơn với số lượng lớn hơn các thành phần bán dẫn, tuy nhiên vẫn cho phép các công ty đưa chất bán dẫn ra thị trường với giá rẻ hơn. 

AGEM cũng đang phát triển các loại khí khắc mới có khả năng chịu được khí mê-tan. Các loại khí này đóng vai trò chính trong việc cải thiện hiệu quả của quá trình khắc khô, do đó nâng cao hiệu suất tổng thể của quá trình này. Bằng cách pha trộn các loại khí khác nhau và xác định loại khí tốt nhất, AGEM hy vọng có thể mở rộng khả năng của người chơi trong tương lai trong lĩnh vực bán dẫn.