Bán dẫn có mặt trong mọi thứ, từ điện thoại thông minh và máy tính cá nhân đến bất kỳ loại thiết bị điện tử nào khác. Chúng cần được sản xuất thông qua một quy trình cụ thể và sử dụng nhiều loại khí khác nhau. Phần sau đây làm nổi bật danh sách các loại khí mà chỉ một ngành công nghiệp sử dụng và cách các chất cao cấp này được dùng để tạo ra những thứ mà chúng ta thực sự phụ thuộc vào. Các Loại Khí Khác Nhau Được Sử Dụng Trong Ngành Sản Xuất Bán Đẫn Bán dẫn được hình thành bằng một loạt các quy trình phức tạp như khắc ăn mòn, lắng đọng và làm sạch. Các đặc tính và ứng dụng khác nhau của những khí này thay đổi tùy theo mục đích sử dụng cụ thể hoặc điều kiện môi trường, dù đó là xung quanh các nhà cung cấp khí công nghiệp, nhà cung cấp khí bán dẫn chuyên dụng nổi tiếng, hay trong phòng thí nghiệm, cung cấp một phổ rộng phù hợp với tất cả chúng với các đặc điểm quan trọng cần thiết để hoàn thành nhiệm vụ một cách hài lòng. Hôm nay, trên cơ sở này, chúng tôi sẽ giới thiệu một số khí chính được sử dụng trong quá trình chế tạo vật liệu. Silan SiH4: Khí này không màu và cũng được biết đến như một vật liệu điện tử dựa trên silic quan trọng. Nó được biết là rất năng động và phản ứng nhanh với oxy và nước để tạo ra silicon oxide SiO và khí hidro. Silan có thể được sử dụng để đặt vật liệu dựa trên silic, như SiNx, một cách nhanh chóng hoặc ở nhiệt độ tương đối thấp. Nguyên tố Nitơ N2: Khí này trơ và ngăn ngừa quá trình oxi hóa. Nó được sản xuất liên tục và cần thiết để làm sạch thiết bị trong quá trình bảo trì nhằm loại bỏ sự gia tăng của O2 và độ ẩm. Một loại khí như vậy cũng được sử dụng để hỗ trợ và vận chuyển hoạt động của các khí khác, làm việc như khí mang trong quá trình lắng đọng hơi kim loại niken và lắng đọng hơi plasma tăng cường.
Hydrogen (H2) - Hydrogen được sử dụng như một khí khử bằng cách loại bỏ các tạp chất khỏi vật liệu. Trong sản xuất bán dẫn, đây là bước quan trọng trong nhiều quy trình như nhiệt luyện và làm sạch. Ngoài ra, hydrogen còn tạo ra cổng kim loại dùng trong việc sản xuất các thiết bị cmos tiên tiến.
Oxy ổn định (O2/O) - nhập thông tin tờ khai và thời gian giao hàng, v.v. Khí O mà oxy được sử dụng trong nhiều quá trình plasma như khắc và tẩy/đốt ash, đồng thời nó cũng hoạt động như chất phản ứng để oxi hóa các vật liệu dựa trên silic thành SiOx hoặc bảo vệ bề mặt kim loại thông qua quá trình oxi hóa.
Clo (Cl2): Clo là một chất không kim loại có màu vàng hoặc đỏ, tỏa khói mạnh và có mùi hăng khi ở trạng thái lỏng. Khí này, rất phản ứng với các vật liệu dựa trên silic, dioxide silic và nhiều kim loại như nhôm, đã được áp dụng trong nhiều lĩnh vực của quá trình etching cấu trúc bán dẫn.
Sự thực rằng khí được sử dụng trong sản xuất bán dẫn đã dẫn đến việc tạo ra các thiết bị điện tử độ trung thực cao, như được sản xuất bởi khả năng tăng cường sản xuất bán dẫn. Khí cũng có nhiều ứng dụng và lợi thế đáng kể trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Các loại khí như silan, amoniac và nitơ được sử dụng để lắng đọng oxit hoặc nitride của silicon, sẽ là các màng mỏng của chất bán dẫn. Lắng đọng.
Điêu khắc: Nó được sử dụng để loại bỏ chọn lọc các vật liệu hoặc mẫu không mong muốn khỏi chất bán dẫn bằng cách sử dụng khí như clo, flo và oxy.
Khí quy trình: Hydro và nitơ là cần thiết cho hoạt động của thiết bị làm sạch bán dẫn (tinh chế) để giảm tạp chất có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị.
Thổi rửa: Một trong những ứng dụng chính của nó là khi nó hoạt động như một khí thổi rửa trong khi bảo trì thiết bị đang diễn ra, điều này giúp loại bỏ oxy và độ ẩm khỏi hệ thống, giữ cho các vật liệu trong đường dây tự do.
Như một hệ quả, cuộc tìm kiếm các vật liệu và quy trình ngày càng tinh vi hơn dường như không có điểm dừng khi ngành công nghiệp bán dẫn tiếp tục phát triển. Các loại khí được cải tiến là yếu tố thiết yếu cho sự tiến bộ của bán dẫn trong tương lai. Dưới đây là một số loại khí công nghệ cao được sử dụng trong sản xuất bán dẫn:
Fluorocarbons: Lý do các loại khí chứa fluor tốt cho việc sản xuất các thiết kế mạch hiện đại là vì chúng phản ứng mạnh mẽ và chọn lọc để cả khắc (loại bỏ phần) và lắng đọng (thêm phần).
CO2 - Một khí trơ được sử dụng cho các ứng dụng như xói mòn, CVD và làm sạch.
Mặc dù nó nên được coi là một bước tiến trong việc sản xuất các linh kiện bán dẫn, hoàn toàn chỉ nhờ vào các hệ thống giao hàng mới có thể thực hiện ngày nay. Các nhà sản xuất luôn tìm cách cải thiện hiệu suất, giảm lãng phí và tăng cường an toàn. Một số khí tiên tiến nhất và các hệ thống giao hàng hóa học mới nhất hiện nay được liệt kê ngay bên dưới.
Hệ thống cung cấp khí (dùng cho các loại khí chính xác kiểm soát lượng nhỏ khí / hóa chất lỏng cần thiết trong bán dẫn)
Nguồn: Hệ thống làm sạch tấm Wafer ướt tiên tiến sử dụng plasma ozone và hydrogen peroxide cho phương pháp hiệu quả nhất để loại bỏ tạp chất từ vật liệu bán dẫn.
Khí dùng trong sản xuất bán dẫn có thể thúc đẩy nhu cầu về điện tử hiệu quả hơn nhưng cũng gây ra những mối đe dọa môi trường nguy hiểm. Có một số chương trình được triển khai để giảm thiểu chất thải và tái chế khí trong ngành công nghiệp bán dẫn. Điều này không khác gì cách mà các nhà sản xuất đang cố gắng xoa dịu những lo ngại môi trường liên quan đến khí dùng trong bán dẫn;
Phương pháp đầu tiên và trực tiếp nhất là Giảm thiểu Chất Thải -> Các nhà sản xuất luôn tìm kiếm cách để giảm thiểu lượng chất thải phát sinh trong quá trình sản xuất bán dẫn. Ví dụ như giảm lượng hóa chất và khí sử dụng, tái chế chúng khi có thể hoặc tạo ra các hệ thống vòng kín.
Tái chế ' Việc tái sử dụng khí và hóa chất sẽ là một phương pháp quan trọng khác giúp giảm thiểu tác động đến môi trường. Việc tạo ra chất thải có thể được giảm thiểu dễ dàng hơn bởi các nhà sản xuất cho phép thu hồi, làm sạch và tái chế khí hoặc hóa chất được sử dụng trong quá trình sản xuất.
Tóm tắt: Khí là yếu tố thiết yếu cho việc sản xuất một số thiết bị điện tử tốt nhất hiện nay. Các nhà sản xuất cam kết cải tiến cả khí tiên tiến cùng với các giải pháp vận chuyển hỗ trợ quy trình tối ưu, giảm thiểu chất thải và đảm bảo an toàn cho cộng đồng. Ngành công nghiệp bán dẫn cũng sẽ giảm dần lượng tiêu thụ khí và dấu chân môi trường tổng thể của những khí này đã thúc đẩy nhiều chiến dịch bền vững trong những năm gần đây.
AGEM nhận thức được rằng mỗi khách hàng có những yêu cầu khác nhau trong lĩnh vực khí đặc biệt, chẳng hạn như khí hiệu chuẩn. Chúng tôi cung cấp các giải pháp tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể của khách hàng. Nếu bạn cần một lượng độ tinh khiết nhất định, kích thước bình hoặc tùy chọn đóng gói, AGEM có thể hợp tác với bạn để điều chỉnh sản phẩm theo đúng yêu cầu của bạn. Mức độ tùy chỉnh này sẽ đảm bảo rằng bạn nhận được bình khí hiệu chuẩn tốt nhất cho ứng dụng của mình, từ đó cải thiện hiệu quả và hiệu suất tổng thể. Danh mục sản phẩm của AGEM không giới hạn ở khí hiệu chuẩn. Catalogue của AGEM bao gồm Khí Hidrocarbon, Halocarbon, Khí Hóa học và Khí Hiếm. Bạn có thể yên tâm rằng AGEM có loại khí cụ thể mà bạn cần.
Việc rò rỉ khí được sử dụng trong sản xuất bán dẫn là một vấn đề lớn. Chúng tôi kiểm tra rò rỉ ít nhất năm lần để đảm bảo chất lượng. Công ty chúng tôi cung cấp một dây chuyền sản xuất và kiểm tra hoàn chỉnh, áp dụng kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt và hệ thống dịch vụ sau bán hàng hoàn hảo, nhằm đảm bảo rằng khách hàng nhận được sản phẩm chất lượng cao và đầy đủ dịch vụ. Sự cam kết của chúng tôi trong việc cung cấp dịch vụ khách hàng tuyệt vời và chất lượng cao là điều mà chúng tôi tự hào. Đội ngũ chuyên gia của chúng tôi luôn sẵn sàng hỗ trợ bạn và đảm bảo rằng bạn nhận được dịch vụ tốt nhất với sự hài lòng tối đa. Dịch vụ 24X7 của chúng tôi là điều làm nên sự khác biệt. Chúng tôi luôn ở đây phục vụ bạn mọi lúc, mọi nơi.
AGEM cung cấp một loạt các xi lanh nhiệt độ thấp để làm mát các chất lỏng và khí siêu lạnh như oxy lỏng và argon. Chúng cũng có thể chứa dioxide carbon, nitơ và oxide nitơ. Chúng tôi sử dụng van và thiết bị nhập khẩu để đảm bảo hiệu suất tối đa. Sử dụng các thiết bị tiết kiệm khí và ưu tiên sử dụng khí quá áp trong không gian pha khí. Van an toàn kép cung cấp sự đảm bảo vững chắc cho hoạt động an toàn. Chúng tôi cung cấp một loạt các xi lanh nhiệt độ thấp có thể chứa các chất lỏng siêu lạnh và được sử dụng trong cuộc sống hàng ngày. Thể tích đầy: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/500L/1000L Áp suất làm việc: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa Nhiệt độ thiết kế bồn trong: +196 Nhiệt độ thiết kế bồn vỏ: 20oC+50oC Cách nhiệt: Bằng chân không với nhiều lớp bọc Chất lưu trữ: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM đã hoạt động tại Đài Loan hơn 25 năm. Chúng tôi có chuyên môn nghiên cứu và phát triển sâu rộng trong lĩnh vực này và có thể cung cấp kiến thức độc đáo trong các lĩnh vực Khí Đặc biệt, Khí Công nghiệp và Khí Định chuẩn trên 6 khu vực khác nhau. Đài Loan - Thành phố Cao Hùng (Trụ sở chính, Trung tâm Nghiên cứu và Phát triển) Ấn Độ - Mumbai, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, Delhi Trung Quốc - Vũ Hán Trung Đông - Dubai (Các tiểu vương quốc Ả Rập Thống nhất) & Vương quốc Ả Rập Xê Út Anh Quốc - Cambridge Các giải pháp khí do chúng tôi cung cấp bao gồm Tư vấn Kỹ thuật. Lắp đặt & Hoàn thiện. Kiểm tra Mẫu. Đóng gói & Vận chuyển. Thiết kế Bản vẽ. Sản xuất.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) là nhà máy sản xuất và nghiên cứu khí đặt tại Đài Loan, có chuyên môn độc đáo trong lĩnh vực khí đặc biệt, điện tử, khí khối lượng lớn và khí hiệu chuẩn trên toàn cầu ở 6 khu vực khác nhau
Room 2&3, 10rd Floor, Unit 1, Phase I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
Copyright © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Chính sách bảo mật
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ