Chất bán dẫn có trong mọi thứ, từ điện thoại thông minh và máy tính cá nhân đến bất kỳ loại thiết bị điện tử nào khác. Chúng cần được thực hiện thông qua một quy trình cụ thể và sử dụng vô số loại khí. Phần sau đây nêu bật phần trình bày về nhiều loại khí chỉ được sử dụng trong công nghiệp và ý nghĩa của những chất công nghệ cao này trong việc tạo ra những thứ mà chúng ta thực sự dựa vào. Nhiều loại khí khác nhau được sử dụng trong thế giới sản xuất chất bán dẫn Chất bán dẫn được hình thành bằng cách sử dụng một loạt quy trình phức tạp như ăn mòn, lắng đọng và làm sạch. Các đặc tính và ứng dụng khác nhau của các loại khí này khác nhau tùy theo mục đích sử dụng cụ thể hoặc điều kiện khí quyển, cho dù đó là xung quanh các nhà cung cấp khí công nghiệp, các nhà cung cấp khí bán dẫn đặc biệt nổi tiếng hay trong phòng thí nghiệm, cung cấp phổ rộng phù hợp với tất cả chúng với các đặc tính quan trọng cần thiết để hoàn thành nhiệm vụ một cách thỏa đáng theo chủ ý. Hôm nay, vì lý do này, chúng tôi sẽ giới thiệu một số loại khí hàng đầu được sử dụng cho các quy trình chế tạo vật liệu. Silane SiH4: Khí này không màu và cũng được coi là vật liệu điện tử dựa trên silicon quan trọng. Nó được biết là rất năng động và phản ứng nhanh với oxy và nước để tạo ra oxit silic SiO và khí hydro. Silane có thể được sử dụng để đặt vật liệu gốc silicon, như SiNx, nhanh chóng hoặc ở nhiệt độ tương đối thấp. Nguyên tố Nitơ N2: Khí này trơ và ngăn ngừa quá trình oxy hóa. Nó liên tục được sản xuất và cần thiết để làm sạch thiết bị trong quá trình bảo trì nhằm loại bỏ lượng O2 và độ ẩm tăng vọt. Loại khí này sẽ được sử dụng để tạo điều kiện thuận lợi và vận chuyển các hoạt động của các loại khí khác, hoạt động như một loại khí mang trong quá trình lắng đọng hơi nichrom và lắng đọng hơi nichrom tăng cường plasma.
Hydro (H2) - Hydro được sử dụng làm khí khử bằng cách loại bỏ tạp chất khỏi vật liệu. Trong sản xuất chất bán dẫn, nó sẽ bước vào một số quy trình như ủ và làm sạch. Ngoài ra, hydro còn tạo ra cổng kim loại để sản xuất các thiết bị cmos tiên tiến.
Oxy ổn định (O2/O) - nhập thời gian sản xuất tấm và thông số kỹ thuật, v.v. O Khí Trong khi oxy được sử dụng trong nhiều quy trình plasma như ăn mòn và dải/tro o ]]>, nó cũng đóng vai trò là chất phản ứng để oxy hóa gốc silicon vật liệu sang SiOx hoặc làm thụ động bề mặt kim loại thông qua quá trình oxy hóa.
Clo (Cl2): Clo là một phi kim loại màu vàng hoặc đỏ bốc khói, có mùi hăng, ở dạng lỏng. Khí này, rất dễ phản ứng với các vật liệu gốc silicon, silicon dioxide và nhiều kim loại như nhôm, đã có một số ứng dụng trong việc ăn mòn cấu trúc bán dẫn.
Thực tế là khí được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn đã dẫn đến việc tạo ra các thiết bị điện tử có độ chính xác cao, được tạo ra nhờ khả năng sản xuất chất bán dẫn ngày càng tăng. Khí cũng có một số ứng dụng và lợi thế đáng kể trong ngành bán dẫn.
Các loại khí như Silane, amoniac và nitơ được sử dụng để lắng đọng oxit silic hoặc nitrit sẽ tạo thành màng mỏng của chất bán dẫn. Sự lắng đọng.
Khắc: Nó được sử dụng để loại bỏ có chọn lọc các vật liệu hoặc mẫu không mong muốn khỏi chất bán dẫn bằng cách sử dụng các loại khí như clo, flo và oxy.
Khí xử lý: Hydro và nitơ cần thiết cho hoạt động của thiết bị làm sạch chất bán dẫn (tinh chế) nhằm giảm tạp chất có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị.
Thanh lọc: Một trong những công dụng chính của nó là nó hoạt động như một loại khí thanh lọc khi công việc bảo trì trên thiết bị đang diễn ra, điều này giúp loại bỏ oxy và độ ẩm khỏi hệ thống, do đó giữ cho vật liệu luôn được thông thoáng.
Kết quả là, việc tìm kiếm các vật liệu và quy trình phức tạp hơn bao giờ hết sẽ không có hồi kết khi ngành công nghiệp bán dẫn phát triển. Khí cải tiến là cần thiết cho những tiến bộ về chất bán dẫn sắp tới. Đây chỉ là một số loại khí công nghệ cao trong sản xuất chất bán dẫn:
Fluorocarbons: Lý do khí flo hóa tốt cho việc chế tạo các thiết kế mạch hiện đại là vì chúng phản ứng mạnh mẽ và có chọn lọc đối với cả quá trình ăn mòn (loại bỏ các mảnh) và lắng đọng (thêm các bộ phận).
CO2 - Một loại khí trơ được sử dụng cho các ứng dụng như phún xạ, CVD và làm sạch.
Mặc dù nó nên được coi là một bước tiến trong việc sản xuất chất bán dẫn, hoàn toàn chỉ nhờ vào các hệ thống phân phối mới hiện có. Các nhà sản xuất luôn tìm cách nâng cao hiệu quả, giảm lãng phí và tăng tính an toàn. Một số loại khí tiên tiến mới nhất và hệ thống phân phối hóa chất hiện có được liệt kê ngay bên dưới.
Hệ thống phân phối khí (dành cho khí kiểm soát chính xác một lượng nhỏ hóa chất khí/lỏng cần thiết trong chất bán dẫn)
Nguồn: Hệ thống làm sạch wafer ướt tiên tiến ozoone plasma và hydrogen peroxide để biết các phương pháp hiệu quả nhất để làm sạch tạp chất khỏi vật liệu bán dẫn.
Khí bán dẫn có thể thúc đẩy nhu cầu về các thiết bị điện tử hiệu quả hơn nhưng cũng gây ra những mối đe dọa nguy hiểm cho môi trường. Có một số chương trình được áp dụng để giảm chất thải và tái chế khí đốt cùng những chương trình khác trong ngành bán dẫn. Điều này không khác gì cách các nhà sản xuất đang làm việc để xoa dịu những lo ngại về môi trường liên quan đến khí bán dẫn;
Đầu tiên và trực tiếp nhất là Giảm chất thải -> Các nhà sản xuất luôn chú trọng giảm lượng chất thải tạo ra trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Những việc như giảm lượng hóa chất và khí đốt được sử dụng, tái chế nếu có thể hoặc tạo ra các hệ thống khép kín.
Tái chế ' Tái chế khí và hóa chất sẽ là một phương pháp quan trọng khác giúp giảm tác động đến môi trường. Việc tạo ra chất thải có thể được giảm thiểu dễ dàng nhờ các nhà sản xuất cho phép thu hồi, lọc và tái chế khí hoặc hóa chất được sử dụng trong quá trình sản xuất.
Tóm tắt: Khí rất cần thiết để sản xuất một số thiết bị điện tử tốt nhất hiện có. Các nhà sản xuất tận tâm cải tiến cả các loại khí tiên tiến cùng với các giải pháp phân phối hỗ trợ các quy trình tối ưu, giảm chất thải và an toàn cho cộng đồng. Lĩnh vực bán dẫn cũng sẽ nỗ lực giảm bớt con đường tiêu thụ khí đốt - và dấu chân môi trường tổng thể của những loại khí này đã đưa ra nhiều chiến dịch bền vững trong những năm gần đây.
AGEM nhận thấy rằng mỗi khách hàng có yêu cầu khác nhau trong lĩnh vực khí đặc biệt, chẳng hạn như khí hiệu chuẩn. Chúng tôi cung cấp các giải pháp tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể của khách hàng. Nếu bạn yêu cầu số lượng độ tinh khiết cụ thể, kích thước xi lanh hoặc các tùy chọn đóng gói, AGEM có thể làm việc với bạn để điều chỉnh sản phẩm của họ theo yêu cầu chính xác của bạn. Mức độ tùy chỉnh này sẽ đảm bảo rằng bạn có được bình khí hiệu chuẩn tốt nhất cho các ứng dụng của mình, điều này sẽ cải thiện hiệu suất và hiệu suất tổng thể. Dòng sản phẩm của AGEM không bị giới hạn ở các loại khí hiệu chuẩn. Danh mục AGEM bao gồm Khí hydrocarbon, Halocarbon, Khí hóa học và Khí hiếm. Bạn có thể chắc chắn rằng AGEM có loại khí cụ thể mà bạn yêu cầu.
Rò rỉ khí được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn là một vấn đề lớn. Chúng tôi kiểm tra rò rỉ ít nhất năm lần để đảm bảo chất lượng. Công ty chúng tôi cung cấp dây chuyền sản xuất và thử nghiệm hoàn chỉnh cũng như áp dụng kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt và hệ thống dịch vụ hậu mãi hoàn hảo để đảm bảo khách hàng nhận được sản phẩm chất lượng hàng đầu và đầy đủ các dịch vụ. Sự cống hiến của chúng tôi để cung cấp dịch vụ khách hàng tuyệt vời và chất lượng cao là điều chúng tôi tự hào. Đội ngũ lành nghề của chúng tôi luôn sẵn sàng hỗ trợ bạn và đảm bảo rằng bạn nhận được dịch vụ tốt nhất với sự hài lòng tối đa. Dịch vụ 24X7 của chúng tôi là điều khiến chúng tôi khác biệt. Chúng tôi ở đây vì bạn cả ngày, mọi lúc.
AGEM cung cấp nhiều loại xi lanh đông lạnh để làm mát chất lỏng và khí siêu làm mát như oxy lỏng và argon. Chúng cũng có thể chứa carbon dioxide, nitơ và nitơ. Chúng tôi sử dụng van và dụng cụ nhập khẩu để đảm bảo hiệu suất tối đa. Tận dụng các thiết bị tiết kiệm gas và ưu tiên sử dụng khí quá áp trong không gian pha khí. Van an toàn kép mang đến sự đảm bảo chắc chắn cho hoạt động an toàn. Chúng tôi cung cấp nhiều loại bình đông lạnh có thể chứa chất lỏng siêu làm mát và được sử dụng trong cuộc sống hàng ngày. Thể tích đầy đủ: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/ 500L/1000LÁp suất làm việc: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa Nhiệt độ thiết kế bể bên trong: +196Nhiệt độ thiết kế bể vỏ: 20oC+50oC Cách nhiệt: Chân không với lớp bọc nhiều lớp Môi trường bảo quản: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM đã hoạt động tại Đài Loan được hơn 25 năm. Chúng tôi có chuyên môn R và D sâu rộng trong lĩnh vực này và có thể cung cấp chuyên môn độc đáo trong các lĩnh vực Khí đặc biệt, số lượng lớn và khí hiệu chuẩn trên 6 khu vực khác nhau. Đài Loan - Thành phố Cao Hùng (Trụ sở chính, Trung tâm R và D) Ấn Độ - Mumbai, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, DelhiTrung Quốc - Vũ HánTrung Đông - Dubai (UAE) và Vương quốc Ả Rập SaudiVương quốc Anh - CambridgeCác giải pháp về khí đốt do chúng tôi cung cấp bao gồm Tư vấn kỹ thuật. Lắp ráp và vận hành. Kiểm tra mẫu. Đóng gói & Vận chuyển. Thiết kế bản vẽ. Chế tạo.