Yarimo'tkazgichlar smartfon va shaxsiy kompyuterlaringizdan tortib boshqa elektron gadjetlargacha bo'lgan hamma narsada mavjud. Ular ma'lum bir jarayon orqali amalga oshirilishi va ko'plab gazlardan foydalanishi kerak. Quyida faqat bitta sanoatda qo'llaniladigan gazlarning ko'p turlari va bu yuqori texnologiyali moddalar biz haqiqatda tayanadigan narsalarni yaratish uchun mo'ljallanganligi haqida ma'lumot beradi. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish dunyosida qo'llaniladigan juda ko'p turli xil gaz turlari Yarimo'tkazgichlar kesish, joylashtirish va tozalash kabi murakkab jarayonlardan foydalangan holda hosil bo'ladi. Bu gazlarning turli xossalari va qoʻllanilishi oʻziga xos maqsadlarda yoki atmosfera sharoitlarida farqlanadi, xoh u sanoat gaz etkazib beruvchilari, ixtisoslashgan yarimoʻtkazgichli gaz etkazib beruvchilari yoki laboratoriyada boʻlsin, ularning barchasi uchun zarur boʻlgan muhim xususiyatlarga ega boʻlgan keng spektrni taʼminlaydi. topshiriqni qasddan qoniqarli deb bajarish. Bugungi kunda ushbu hisobda biz materiallarni ishlab chiqarish jarayonlari uchun mavjud bo'lgan bir nechta etakchi gazlarni kiritmoqdamiz. Silan SiH4: Bu gaz rangsiz va shuningdek, kremniyga asoslangan muhim elektron material sifatida ifodalanadi. Ma'lumki, u juda dinamik bo'lib, silikon oksidi SiO va vodorod gazini hosil qilish uchun kislorod va suv bilan tezda reaksiyaga kirishadi. Silan, SiNx kabi kremniyga asoslangan materialni tezda yoki nisbatan past haroratda joylashtirish uchun ishlatilishi mumkin. Azot N2 elementi: Bu gaz inert va oksidlanishni oldini oladi. U doimiy ravishda ishlab chiqariladi va O2 va namlikning ko'tarilishini olib tashlash uchun texnik xizmat ko'rsatish jarayonida qurilmani tozalash uchun talab qilinadi. Bunday gaz boshqa gazlarning faoliyatini osonlashtirish va tashish uchun ishlatiladi, nikrom bug'ining cho'kishi va plazma kuchaytirilgan nikrom bug'ining cho'kishida tashuvchi gaz sifatida ishlaydi.
Vodorod (H2) - Vodorod materiallardan aralashmalarni olib tashlash orqali kamaytiruvchi gaz sifatida ishlatiladi. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda u yumshatish va tozalash kabi bir qancha jarayonlarga import bosqichidan o'tadi, bundan tashqari, vodorod metall eshiklarni ishlab chiqaradi, bu esa ilg'or cmos qurilmalarini ishlab chiqaradi.
Barqaror kislorod (O2/O) - varaq va spetsifikatsiya vaqtlarini kiriting, va hokazo. O Gaz Kislorod ko'plab plazma jarayonlarida, masalan, etch va tasma/kul o ]]> ishlatilsa-da, u kremniy asosidagi oksidlanish uchun reaktiv sifatida ham xizmat qiladi. materiallar SiOx ga yoki oksidlanish orqali metall yuzalarni passivlashtiradi.
Xlor (Cl2): Xlor sariq yoki qizil tutunli, metall bo'lmagan o'tkir hidli suyuqlikdir. Kremniy asosidagi materiallar, kremniy dioksidi va alyuminiy kabi ko'plab metallar bilan juda reaktiv bo'lgan bu gaz yarimo'tkazgichli tuzilmalarni kesishda bir qator ilovalarni ko'rdi.
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda gazlarning ishlatilishi yuqori aniqlikdagi elektronikani yaratishga olib keldi, chunki yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish imkoniyatlari ortdi. Gazlar, shuningdek, yarimo'tkazgich sanoatida bir nechta muhim foydalanish va afzalliklarga ega.
Silan, ammiak va azot kabi gazlar yarimo'tkazgichlarning nozik plyonkalari bo'lgan kremniy oksidi yoki nitridini yotqizish uchun ishlatiladi. Depozit.
Etching: Xlor, ftor va kislorod kabi gazlar yordamida yarimo'tkazgichlardan keraksiz materiallar yoki naqshlarni tanlab olib tashlash uchun ishlatiladi.
Jarayon gazlari: Vodorod va azot yarimo'tkazgichlarni tozalash uskunasining ishlashi (tozalash) qurilmaning ishlashiga ta'sir qilishi mumkin bo'lgan aralashmalarni kamaytirish uchun talab qilinadi.
Tozalash: Uning asosiy qo'llanilishidan biri shundaki, u uskunada ta'mirlash ishlari davom etayotganda tozalash gazi sifatida ishlaydi, bu tizimdan kislorod va namlikni olib tashlaydi va shu bilan materiallarni chiziqda ushlab turadi.
Natijada, yarimo'tkazgich sanoati rivojlanishi bilan yanada murakkab materiallar va jarayonlarga intilish tugamaydi. Yaxshilangan gazlar bo'lajak yarimo'tkazgich yutuqlari uchun zarurdir. Mana, yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda yuqori texnologiyali gazlardan bir nechtasi:
Ftorli uglerodlar: Ftorli gazlarning zamonaviy konstruksiyalarni ishlab chiqarish uchun yaxshi bo'lishining sababi shundaki, ular tajovuzkor va tanlab ta'sir qilish (bo'laklarni olib tashlash) va cho'ktirish (qismlarni qo'shish).
CO2 - püskürtme, CVD va tozalash kabi ilovalar uchun ishlatiladigan inert gaz.
Bu yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda oldinga qadam sifatida qaralishi kerak bo'lsa-da, bugungi kunda faqat yangi etkazib berish tizimlari tufayli. Ishlab chiqaruvchilar har doim samaradorlikni oshirish, chiqindilarni kamaytirish va xavfsizlikni oshirish yo'llarini izlaydilar. Hozirda mavjud bo'lgan eng yangi ilg'or gazlar va kimyoviy etkazib berish tizimlarining ba'zilari quyida keltirilgan.
Gaz etkazib berish tizimi (yarim o'tkazgichlarda zarur bo'lgan oz miqdordagi gaz / suyuq kimyoviy moddalarni aniq boshqaradigan gazlar uchun)
Manba: Advanced Wet Gofret Cleaning Systems ozoon plazmasi va vodorod periksni yarimo'tkazgich materialdan iflosliklarni tozalashning eng samarali usullari uchun.
Yarimo'tkazgichli gazlar yanada samarali elektronikaga talabni oshirishi mumkin, ammo xavfli ekologik tahdidlarni ham keltirib chiqarishi mumkin. Yarimo'tkazgich sanoatida chiqindilarni kamaytirish va gazni qayta ishlash bo'yicha ba'zi dasturlar mavjud. Bu ishlab chiqaruvchilarning yarimo'tkazgich gazlari bilan bog'liq ekologik tashvishlarni yumshatish uchun qanday ishlayotganidan farq qilmaydi;
Birinchi va eng to'g'ridan-to'g'ri, Chiqindilarni kamaytirish -> Ishlab chiqaruvchilar har doim yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida ishlab chiqarilgan chiqindilar miqdorini kamaytirishga intilishadi. Ishlatiladigan kimyoviy moddalar va gazlar miqdorini kamaytirish, iloji boricha qayta ishlash yoki yopiq tizimlarni yaratish kabi narsalar.
Qayta ishlash ' Gazlar va kimyoviy moddalarni qayta ishlash ekologik natijalarni kamaytirishga yordam beradigan yana bir muhim usul bo'ladi. Ishlab chiqarish jarayonida ishlatiladigan gazlar yoki kimyoviy moddalarni qayta tiklash, tozalash va qayta ishlash imkonini beruvchi ishlab chiqaruvchilar tomonidan chiqindilarning paydo bo'lishini juda oson kamaytirish mumkin.
Xulosa: Gazlar eng yaxshi elektronika ishlab chiqarish uchun zarurdir. Ishlab chiqaruvchilar ham ilg'or gazlarni, shuningdek, optimal jarayonlar, chiqindilarni kamaytirish va jamiyat xavfsizligini ta'minlaydigan etkazib berish echimlarini yaxshilashga bag'ishlangan. Yarimo'tkazgich sektori ham gazni iste'mol qilish yo'lini pasaytiradi va bu gazlarning umumiy ekologik izi so'nggi yillarda ko'plab barqarorlik kampaniyalarini boshladi.
AGEM har bir mijoz maxsus gazlar sohasida turli xil narsalarni, masalan, kalibrlash gazini talab qilishini tan oladi. Biz mijozlarimizning maxsus ehtiyojlarini qondirish uchun moslashtirilgan echimlarni taqdim etamiz. Agar sizga ma'lum bir tozalik miqdori, silindr o'lchami yoki qadoqlash opsiyalari kerak bo'lsa, AGEM o'z mahsulotlarini sizning aniq talablaringiz bo'yicha moslashtirish uchun siz bilan birga ishlashi mumkin. Ushbu moslashtirish darajasi sizning ilovalaringiz uchun eng yaxshi kalibrlash gaz ballonini olishingizni ta'minlaydi, bu umumiy samaradorlik va ish faoliyatini yaxshilaydi. AGEM mahsulot assortimenti faqat kalibrlash gazlari bilan cheklanmaydi. AGEM katalogi uglevodorod gazlari, halokarbonlar, kimyoviy gazlar va nodir gazlardan iborat. AGEM sizga kerakli gaz turiga ega ekanligiga ishonchingiz komil bo'lishi mumkin.
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda ishlatiladigan gazlardagi qochqinlar asosiy muammo hisoblanadi. Sifatni ta'minlash uchun kamida besh marta qochqinlarni sinovdan o'tkazamiz. Kompaniyamiz to'liq ishlab chiqarish va sinov liniyasini va qat'iy sifat nazorati va mukammal sotishdan keyingi xizmat ko'rsatish tizimini qo'llashni taklif etadi, bu esa mijozlarga yuqori sifatli mahsulotlar va xizmatlarning to'liq spektrini olishlarini ta'minlaydi. Mijozlarga a'lo darajadagi xizmat ko'rsatish va yuqori sifatni ta'minlashga sodiqligimiz biz bilan faxrlanadigan narsadir. Bizning malakali jamoamiz har doim sizga yordam berishga va sizning qoniqishingizga eng yaxshi xizmatni olishingizni ta'minlashga tayyor. Bizning 24X7 xizmatimiz bizni ajratib turadigan narsadir. Biz kun bo'yi, har doim siz uchun shu yerdamiz.
AGEM suyuq kislorod va argon kabi super sovutuvchi suyuqliklar va gazlarni sovutish uchun kriogen silindrlarning keng assortimentini taklif etadi. Ular karbonat angidrid, azot va azotni ham ushlab turishi mumkin. Maksimal ishlashni ta'minlash uchun import qilingan klapanlar va asboblardan foydalanamiz. Gazni tejash qurilmalaridan foydalaning va gaz fazasi bo'shlig'ida ortiqcha bosimli gazdan foydalanishga ustuvor ahamiyat bering. Ikki tomonlama xavfsizlik klapanlari xavfsiz ishlash uchun mustahkam kafolat beradi. Biz o'ta sovutilgan va kundalik hayotda ishlatiladigan suyuqliklarni sig'dira oladigan kriogenli tsilindrlarning keng assortimentini taklif qilamiz. To'liq hajm: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/ 500L/1000L Ish bosimi: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa Ichki tank dizayni harorati : +196Shell tank dizayni harorati : 20oC+50oCizolyatsiya: Koʻp qatlamli oʻralgan vakuumli saqlash muhiti: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM Tayvanda 25 yildan ortiq faoliyat yuritib kelmoqda. Biz bu sohada keng qamrovli ilmiy-tadqiqot va tajribaga egamiz va 6 xil mintaqada maxsus, quyma va kalibrlash gazlari sohalarida noyob tajribani taklif qilishimiz mumkin. Tayvan - Kaohsiung shahri (Bosh qarorgoh, R va D markazi) Hindiston - Mumbay, Vadodara, Koimbatore, Pune, Bengaluru, DehliXitoy - VuhanYaqin Sharq - Dubay (BAA) va Saudiya Arabistoni QirolligiBirlashgan Qirollik - Biz taklif qilayotgan gaz bo'yicha CambridgeSolutions texnik konsaltingni o'z ichiga oladi. Yig'ish va ishga tushirish. Sinov namunasi. Qadoqlash va jo'natish. Chizma dizayni. Ishlab chiqarish.