EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
НЕМАЄ
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- огляд
- Запит
- Супутні товари
Сухе травлення Матеріали на основі оксидів Стиснені зріджені гази Перфтор 2 бутин H 2316 Перфтор 2 бутин C4F6
Гексафтор-1,3-бутадієн — токсичний, безбарвний, легкозаймистий стиснений газ без кольору та запаху.
Роки досліджень показали, що C4F6 (H-2316) має кілька переваг для сухого травлення матеріалів на основі оксидів:
Він має вищу швидкість травлення та селективність, ніж октафторциклобутан (c-C4F8 – H318), ще один широко використовуваний травитель для оксиду кремнію. На відміну від C4F8 (H318), у C4F6 (H2316) протравлюється лише діелектрична підкладка. Гравірована структура має вищий аспектний коефіцієнт, що призводить до більш вузьких каналів порівняно з c-C4F8. Викиди ЛОС зменшуються: C4F6 (H2316) має низький потенціал глобального потепління, оскільки він має набагато коротший термін служби в атмосфері.
Застосування:
Наступне покоління матеріалів сердечника, необхідних у виробничих процесах LSI, щоб мінімізувати ширину та глибину лінії схеми. Сухий травильний газ використовується в процесі травлення мікроконтактних отворів. Для спеціальних газів на основі хімічної формули CxFy чим менше значення F/C, тим більше утворюється груп CF2. Порівняно з C2F6 C3F8, C4F6 має менший коефіцієнт F/C і виробляє більше груп CF2, що, у свою чергу, витравлює більше оксидної плівки. Таким чином, C4F6 має вищу селективність до оксидної плівки та забезпечує більш рівномірне травлення.
