Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Всі Категорії

Збільшення ефективності метану у сухому етчингу та напівпровідниках

2024-11-09 15:13:02
Збільшення ефективності метану у сухому етчингу та напівпровідниках

Це призвело  AGEM для ітерації повністю новими, незвичайними способами використання метану під час процесу виготовлення напівпровідників. Ці досягнення вимагають технологій, які проникають глибоко внутрь — і ця стаття показує, як покращення використання метану може створити швидші напівпровідники за меншу вартість/вищою якістю, що діють як фундація для всіх електронних систем. Отже, що ми дізналися тут з минулих двох уроків: добре розуміючи деякі трохи більш складні концепції, ми можемо зрозуміти, чому технічна інновація важлива і як вона впливає на наші щоденні потреби.

Робимо напівпровідники кращими

Щоб створити мікрозображення, які наносяться на поверхню пластинок напівпровідників, AGEM потрібен неперервний потік метану. Реагенти що або надлишковий, або зайвий. Особлива хімічна реакція, яка відбувається між метаном і киснем. Проте ця реакція утворює плазменний газ, який допомагає прибрати деякі речовини на поверхні пластинки. Ступінь, яку ми розробляємо, має гранулярний дизайн, і AGEM може лише обережно контролювати цей процес.

Виробництво напівпровідників є дуже складним процесом. Отже, є безліч інших факторів, які необхідно строго контролювати в реальному часі разом з потоком газу, тиском і температурою у камери. Виробники напівпровідників, які використовують метан для цього перетворення, можуть виробляти менше відходів і працювати економічніше. Це дозволяє компанії швидко виробляти напівпровідники, і зниження витрат є дуже важливим для того, щоб залишатися конкурентоспроможними в бізнесі для всіх підприємств.

Суха етching: Метан з іншого кута

Наприклад, AGEM може додавати трохи метану до іншого газу, такого як аргон або гелій, щоб покращити провідність сухого етчингу. Ця суміш зменшує викиди у порівнянні з використанням чистого метану. AGEM може піти далі і дослідити можливі комбінації газових сумішей для процедури.

Одним із способів, яким AGEM це робить, є спеціальне віддалене плазменне джерело. Це метод, який ви раніше використовували для створення плазми, але насправді вона генерується за межами процесної камери, після чого її треба доставити до її середини. Наприклад, у цьому випадку хрупкі пластинки можуть бути захищені від пошкодження під час етчингу. У кінцевому результаті це забезпечує кращу продукцію деталей та дає виробникам напівпровідників більшу увереність у кінцевій продукції.

Революція у секторі напівпровідників: зменшення метану

AGEM провадить роботу за допомогою більш ефективного використання метану у виготовленні півпровідників. Вони працюють над тим, щоб прискорити та оптимізувати всі процеси виробництва завдяки введенню нових стратегій. Як результат, це робить півпровідники дешевшими, а в кінці кінців і кращою продукцією.

Той самий стовпець метану також є перевагою, оскільки він може бути побічним продуктом природного газу - ще одна перемога! Метан  водень , іншими словами, коштує менше, ніж будь-який з альтернативних газів для етчингу. Тому метан починає виглядати як дуже привабливий варіант для виробників, які хочуть виготовляти відмінні, але все ж таки недорогі півпровідники.


Найбільш сучасний пропONENT використання метану, півпровідники, покращення процесу

Інші методи використання метану більш розумним чином. AGEM неперервно переглядає нові процедури. Змінюючи параметри, такі як потік газу, тиск і температура, можна досягти додаткової адаптації деяких з них для запобігання втрат та збільшення ефективності. Це покращується з часом і дозволяє виробнику збільшувати продуктивність, що зменшує витрати (що означає нижчі ціни для всіх).

Це також ще один важливий перевага, допомагаючи покращити ці процедури за допомогою чистої кремнієвої пластинки. Після виготовлення пластинки, якщо процес виробництва не контролюється добре, це призведе до забруднення частини пластинки та її пошкодження. Це призводить до меншої ціни продукту та більших витрат для виробника. AGEM покращує свої процеси, оскільки високоякісні пластинки є ключовими для успішного виробництва напівпровідників.

Останні досягнення у використанні метану

AGEM або Група Електричного Метану Зв'язаного Газу завжди шукає способи, за допомогою яких підготовлений метановий газ і Гідрокарбонати може бути використаний ефективніше. Навколо них працюють над чимось пов'язаним з новим джерелом плазми. Більш швидке джерело плазми може означати дешевше виробництво більшої кількості напівпровідникових елементів, але все ще дозволить компаніям постачати напівпровідники на ринок дешевше.

AGEM також розробляє нові етching гази, які тolerant до метану. Ці гази грають ключову роль у покращенні ефективності сухого етчингу, таким чином покращуючи його загальний перформанс. Об'єднуючи різні гази і визначаючи найкращі, AGEM сподівається, що зможе розширити можливості учасників напівпровідникового ринку у майбутньому.