Повітря Газ Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Україна

всі категорії

Максимальна ефективність використання метану при сухому травленні та напівпровідниках

2024-11-09 15:13:02
Максимальна ефективність використання метану при сухому травленні та напівпровідниках

Це призвело AGEM щоб повторити абсолютно нові, готові способи використання метану під час процесу виготовлення напівпровідників. Ці досягнення вимагають глибокого читання технології — і ця стаття ілюструє, як збільшення використання метану може створити швидші напівпровідники з меншою ціною/вищою якістю, які служать основою для всіх електронних систем. Отже, чого ми навчилися з минулих двох уроків: добре, розуміючи деякі з цих дещо складніших концепцій, ми можемо зрозуміти, чому технологічні інновації важливі та як вони впливають на наші щоденні драйвери. 

Покращення напівпровідників

Для створення мікроскопічно малих візерунків, які віддруковуються на поверхні напівпровідникових пластин, AGEM потребує безперервного потоку газу метану та Реактиви це або надлишок, або надлишок. Особлива хімічна реакція, що відбувається між метаном і киснем. Однак ця реакція утворює плазмовий газ, який допомагає видалити деякі речовини з поверхні пластини. Ступінь, який ми розробляємо, має детальний дизайн, і AGEM може лише обережно контролювати цей процес. 

Виробництво напівпровідників – дуже складний процес. Отже, існує маса інших речей, які потрібно дуже жорстко контролювати в режимі реального часу, а також потік газу, тиск і температура в камері. Виробники напівпровідників, які використовують метан для цього перетворення, можуть виробляти менше відходів і працювати економніше. Це дозволяє компанії швидко виробляти напівпровідники, а скорочення витрат є дуже важливим для збереження конкурентоспроможності в бізнесі для всіх підприємств. 

Сухе травлення: метан з іншого боку

Наприклад, AGEM може змішувати деяку кількість метану з іншим газом, таким як аргон або гелій, щоб покращити провідність сухого травлення. Ця суміш зменшує кількість відходів, які утворюються, порівняно з використанням прямого метану. AGEM може піти ще далі та вивчити можливі комбінації газових сумішей для процедури. 

Один із способів, як це робить AGEM, — це спеціальне дистанційне джерело плазми. Це метод, який ви використовували раніше для створення плазми, але насправді він генерує плазму за межами технологічної камери, яку потім потрібно доставити до її серця. Наприклад, у цьому випадку делікатні пластини можна захистити від пошкодження в процесі травлення. Зрештою, це робить готову деталь кращою, і виробники напівпровідників можуть мати більшу впевненість у кінцевій продуктивності. 

Революція в секторі напівпровідників зменшує метан

AGEM лідирує у розумнішому використанні метану у виробництві напівпровідників. Вони розумно працюють над прискоренням і оптимізацією всіх виробничих процесів за допомогою впровадження нових стратегій. У результаті напівпровідник стає дешевшим і, зрештою, ще кращим продуктом. 

Той самий метановий стовп — це також плюс, що він може бути побічним продуктом природного газу — ще одна перемога! Метан і Воденьіншими словами, його отримання дешевше, ніж будь-який з альтернативних травильних газів. Таким чином, метан починає виглядати дуже привабливим варіантом для виробників, які прагнуть створювати відмінні, але все ще недорогі напівпровідники. 


Найсучасніший прихильник використання метану, напівпровідників, удосконалення процесів

Інші методи більш розумного використання метану AGEM постійно переглядає нові процедури. Змінюючи такі аспекти, як потік газу, тиск і температура, можна досягти подальшої адаптації для деяких із них, щоб допомогти запобігти утворенню відходів і підвищити ефективність. Це покращується з часом і дозволяє виробнику збільшити виробничі потужності, що знижує витрати (тобто нижчі ціни для всіх. 

Це ще одна ключова перевага, яка допомагає покращити ці процедури завдяки досить чистій кремнієвій пластині. Якщо після виготовлення пластини недостатньо контролювати виробничий процес, це призведе до забруднення та подряпин частини пластини. Це призводить до меншої ціни продукту та більшої ціни виробника для небагатьох. AGEM нарощує свої процеси, оскільки високоякісні пластини необхідні для успішного виробництва напівпровідників. 

Найновіші досягнення в утилізації метану

AGEM або Associated Gas Electrical Methane Group постійно шукає способи, за допомогою яких можна отримати газ метан і Вуглеводні можна використовувати більш компетентно. Що ж, вони працюють над новим джерелом плазми. Швидше джерело плазми може запропонувати дешевше виробництво кращої кількості напівпровідникових елементів, але все одно дозволить компаніям виводити на ринок напівпровідники з меншою ціною. 

AGEM також розробляє нові травильні гази, стійкі до метану. Ці гази відіграють важливу роль у підвищенні ефективності сухого травлення, тим самим покращуючи його загальну продуктивність. Змішуючи різні гази та визначаючи найкращі, AGEM сподівається, що зможе розширити можливості гравців у галузі напівпровідників.