Напівпровідники є у всьому, від ваших смартфонів і персональних комп’ютерів до будь-якого іншого типу електронних гаджетів. Їх потрібно виготовляти за допомогою спеціального процесу та використовувати безліч газів. Нижче наведено опис багатьох типів газів, які використовуються лише в одній промисловості, і те, як ці високотехнологічні речовини призначені для створення речей, на які ми насправді покладаємося. Багато різних типів газів, які використовуються у світі виробництва напівпровідників Напівпровідники утворюються за допомогою складної серії процесів, таких як травлення, осадження та очищення. Різноманітні властивості та застосування цих газів залежать від конкретного використання чи атмосферних умов, будь то постачальники промислового газу, відомі постачальники спеціального напівпровідникового газу чи лабораторія, забезпечуючи широкий спектр, який підходить для всіх із критично необхідними характеристиками. виконати завдання як навмисне задовільно. На сьогодні, з цього приводу, ми представляємо кілька провідних газів, які застосовуються для процесів виробництва матеріалів. Силан SiH4: цей газ безбарвний і також представлений як важливий електронний матеріал на основі кремнію. Відомо, що він дуже динамічний і швидко реагує з киснем і водою, створюючи оксид кремнію SiO і газоподібний водень. Силан можна використовувати для розміщення матеріалу на основі кремнію, наприклад SiNx, або швидко, або при відносно низькій температурі. Елемент азот N2: цей газ інертний і запобігає окисленню. Він постійно виготовляється та потрібен для очищення пристрою в процесі технічного обслуговування, щоб усунути сплеск O2 і вологи. Такий газ буде використовуватися для сприяння та транспортування діяльності інших газів, а також працюватиме як газ-носій при осадженні ніхрому з парів і плазмовому осадженні з парів ніхрому.
Водень (H2) – водень використовується як відновний газ, видаляючи домішки з матеріалів. У виробництві напівпровідників це імпортний крок до кількох процесів, таких як відпал і очищення. Крім того, водень робить металевий затвор, який виготовляє передові КМОП-пристрої.
Стабільний кисень (O2/O) – введіть час виготовлення листів і специфікацій тощо. O Газ У той час як кисень використовується в багатьох плазмових процесах, таких як травлення та стрип/зола o ]]>, він також служить реагентом для окислення на основі кремнію матеріалів до SiOx або пасивування металевих поверхонь шляхом окислення.
Хлор (Cl2): Хлор — це жовтий або червоний димлячий неметал із різким запахом у вигляді рідини. Цей газ, який дуже реагує з матеріалами на основі кремнію, діоксидом кремнію та багатьма металами, такими як алюміній, знайшов ряд застосувань у травленні напівпровідникових структур.
Той факт, що гази використовуються у виробництві напівпровідників, призвів до створення високоякісної електроніки, яка виробляється завдяки збільшенню можливостей виробництва напівпровідників. Гази також мають кілька важливих застосувань і переваг у напівпровідниковій промисловості.
Такі гази, як силан, аміак і азот, використовуються для осадження оксиду або нітриду кремнію, які будуть тонкими плівками напівпровідників. осадження.
Травлення: використовується для вибіркового видалення небажаних матеріалів або візерунків із напівпровідників за допомогою таких газів, як хлор, фтор і кисень.
Технологічні гази: для роботи обладнання для очищення напівпровідників (очищення) необхідні водень і азот, щоб зменшити кількість домішок, які можуть вплинути на продуктивність пристрою.
Продувка: одним із основних застосувань є те, що він діє як продувальний газ під час технічного обслуговування обладнання, видаляючи кисень і вологу із системи, таким чином утримуючи матеріали в лінії.
Як наслідок, пошуки все більш складних матеріалів і процесів не бачать кінця в міру розвитку напівпровідникової промисловості. Покращені гази необхідні для майбутніх напівпровідникових досягнень. Ось лише деякі з цих високотехнологічних газів у виробництві напівпровідників:
Фторвуглеці: причина того, що фторовані гази підходять для виготовлення найсучасніших схем, полягає в тому, що вони агресивно та вибірково реагують як на травлення (видалення частин), так і на осадження (додавання частин).
CO2 – інертний газ, який використовується для таких застосувань, як напилення, CVD та очищення.
Хоча це слід розглядати як крок вперед у виробництві напівпровідників, лише завдяки новим системам доставки, можливим сьогодні. Виробники постійно шукають шляхи підвищення ефективності, зменшення відходів і підвищення безпеки. Деякі з найновіших передових газів і систем доставки хімікатів, доступних зараз, перераховані трохи нижче.
Система подачі газу (для газів, які точно контролюють невелику кількість газу/рідких хімікатів, необхідних у напівпровідниках)
Джерело: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems озоонова плазма та перекис водню для найефективніших методів очищення напівпровідникових матеріалів від забруднень.
Напівпровідникові гази можуть стимулювати попит на більш ефективну електроніку, але також становлять небезпечну екологічну загрозу. У напівпровідниковій промисловості існують деякі програми, спрямовані на зменшення відходів і переробку газу. Це нічим не відрізняється від того, як виробники працюють, щоб заспокоїти екологічні проблеми, пов’язані з напівпровідниковими газами;
Перший і найпряміший – це зменшення відходів -> виробники завжди прагнуть зменшити кількість відходів, які утворюються під час виробництва напівпровідників. Такі речі, як зменшення кількості використовуваних хімікатів і газів, переробка, де це можливо, або створення систем замкнутого циклу.
Переробка ' Переробка газів і хімікатів буде ще одним важливим методом, який допоможе зменшити наслідки для навколишнього середовища. Утворення відходів можна легко мінімізувати виробниками, які дозволяють рекуперацію, очищення та переробку газів або хімікатів, що використовуються під час виробництва.
Резюме: гази необхідні для виробництва найкращої електроніки. Виробники прагнуть удосконалити як передові гази, так і рішення для доставки, які сприяють оптимальним процесам, зменшенню відходів і безпеці суспільства. Напівпровідниковий сектор також буде рухатися вниз по шляху споживання газу, і загальний вплив цих газів на навколишнє середовище в останні роки започаткував багато кампаній сталого розвитку.
AGEM розуміє, що кожен клієнт потребує різних речей у сфері спеціальних газів, таких як калібрувальний газ. Ми надаємо індивідуальні рішення для задоволення конкретних потреб наших клієнтів. Якщо вам потрібна конкретна кількість чистоти, розмір циліндра або варіанти упаковки, AGEM може співпрацювати з вами, щоб адаптувати свою продукцію відповідно до ваших точних вимог. Цей ступінь налаштування гарантує, що ви отримаєте найкращий калібрувальний газовий балон для ваших застосувань, що покращить загальну ефективність і продуктивність. Асортимент продукції AGEM не обмежується калібрувальними газами. Каталог AGEM включає вуглеводневі гази, галогеновуглеводні, хімічні гази та рідкісні гази. Ви можете бути впевнені, що AGEM матиме потрібний вид газу.
Витоки газів, які використовуються у виробництві напівпровідників, є серйозною проблемою. Ми перевіряємо герметичність щонайменше п’ять разів, щоб гарантувати якість. Наша компанія пропонує повну лінію виробництва та тестування, а також застосування суворого контролю якості та досконалої системи післяпродажного обслуговування, щоб гарантувати, що клієнти отримують продукцію найвищої якості та повний спектр послуг. Наша відданість наданню відмінного обслуговування клієнтів і високої якості - це те, чим ми пишаємося. Наша кваліфікована команда завжди готова допомогти вам і гарантувати, що ви отримаєте найкраще обслуговування, щоб ви були максимально задоволені. Наше обслуговування 24X7 – це те, що відрізняє нас. Ми тут для вас цілий день, весь час.
AGEM пропонує широкий асортимент кріогенних балонів для охолодження надхолодних рідин і газів, таких як рідкий кисень і аргон. Вони також можуть утримувати вуглекислий газ, азот і азот. Ми використовуємо імпортні клапани та інструменти для забезпечення максимальної продуктивності. Використовуйте пристрої для економії газу та надавайте перевагу використанню газу з надлишковим тиском у газовому просторі. Подвійні запобіжні клапани забезпечують надійну гарантію безпечної роботи. Ми пропонуємо широкий асортимент кріогенних циліндрів, які можуть вміщувати рідини, які переохолоджені та використовуються в повсякденному житті. Повний об’єм: 80 л/100 л/175 л/195 л/210 л/232 л/410 л/ 500L/1000L Робочий тиск: 1.37 МПа/2.3 МПа/2.88 МПа/3.45 МПа Розрахункова температура внутрішнього бака: +196 Розрахункова температура корпусу бака: 20oC+50oCІзоляція: вакуум із багатошаровою упаковкою. Середовище, що зберігається: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM працює на Тайвані більше 25 років. Ми маємо великий досвід досліджень і розробок у цій галузі та можемо запропонувати унікальний досвід у галузі спеціальних, масових і калібрувальних газів у 6 різних регіонах. Тайвань – місто Гаосюн (штаб-квартира, центр досліджень і розробок), Індія – Мумбаї, Вадодара, Коїмбатор, Пуна, Бенгалуру, ДеліКитай - УханьБлизький Схід - Дубай (ОАЕ) і Королівство Саудівська Аравія ArabiaUnited Kingdom - CambridgeSolutions для газу, які ми пропонуємо, включають технічну консультацію. Збірка та введення в експлуатацію. Тестування зразків. Упаковка та доставка. Дизайн креслення. Виробництво.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) — це завод з виробництва газу та досліджень і розробок, розташований на Тайвані, що має неперевершений досвід у галузі спеціальних, електронних, масових і калібрувальних газів по всьому світу в 6 різних регіонах.
Кімната 2 і 3, 10-й поверх, блок 1, фаза I, Huazhong International Plaza, Чжуйшань, Ухань, Хубей, Китай
Авторське право © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Політика Конфіденційності
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
НЕМАЄ
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ