EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
YOK HAYIR
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Genel Bakış
- Sorgula
- İlgili Ürünler
Ürün Bilgisi:
Karbon tetraflorür, normal koşullar altında nispeten inert olan, bir oksijen yer değiştirici olan ve ayrıca çeşitli levha aşındırma işlemlerinde kullanılan kriyojenik bir soğutucudur.
CF4 şu anda mikroelektronik endüstrisinde en yaygın kullanılan plazma aşındırma gazıdır. Silikon, silikon dioksit, silikon nitrür, fosfosilikat cam ve tungsten gibi ince film malzemelerinin aşındırılmasında, elektronik cihazların ve güneş pillerinin yüzey temizliğinde yaygın olarak kullanılabilir. Ayrıca lazer teknolojisinin üretiminde, gaz fazı yalıtımında, düşük sıcaklıkta soğutmada, sızıntı tespit maddelerinde, uzay roketlerinin tutumunun kontrolünde ve baskılı devre üretiminde dekontaminasyon maddelerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Karbon tetraflorürün kimyasal stabilitesi nedeniyle, karbon tetraflorür metal eritme ve plastik endüstrilerinde kullanılabilir.
