EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Genel Bakış
- Sorgu
- İlgili Ürünler
Ürün bilgileri:
Karbondioksit dört flor, normal koşullarda nispeten pasif bir soğutma ajanı ve oksijen yer değiştirici olup, çeşitli wafer etçilme süreçlerinde de kullanılmaktadır.
CF4 şu anda mikroelektronik endüstrisinde en yaygın kullanılan plazma etçilme gazıdır. Silikon, silikon dioksit, silikon nitrit, fosforlu silikat camı ve tungsten gibi ince film malzemelerinin etçilmesinde yaygın olarak kullanılır ve elektronik cihazlar ve güneş hücrelerinin yüzey temizliği için de kullanılabilir. Ayrıca lazer teknolojisinin üretiminde, gaz fazı yalıtımında, düşük sıcaklık soğutmasında, sızıntı algılama ajanlarında, uzay roketlerinin duruşunu kontrol etmede ve basılı devre üretimindeki dekontaj ajanlarında da yaygın olarak kullanılmaktadır.
Karbon tetraflorürün kimyasal istikrarlı olması nedeniyle, karbon tetraflorür metal eritmeye ve plastik sanayine kullanılabilir.
