- ภาพรวม
- สอบถาม
- ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง
C5F8 ก๊าซออกตาฟลูออโรไซโคลเพนเทน
ใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการกรีดของกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการกรีดขนาดเล็กและการกรีดแบบเลือกเฉพาะของคุณสมบัติทางเรขาคณิตที่เล็กที่สุด (เช่น ความกว้างของเส้นเชื่อมต่อ, จุดสัมผัส, ร่องลึก เป็นต้น)