หมวดหมู่ทั้งหมด
ENEN

ก๊าซที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ประเทศไทย

สารกึ่งตัวนำมีอยู่ในทุกสิ่งตั้งแต่สมาร์ทโฟนและคอมพิวเตอร์ส่วนบุคคลไปจนถึงอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ประเภทอื่น ๆ พวกมันต้องผ่านกระบวนการเฉพาะและใช้ก๊าซจำนวนมาก ต่อไปนี้จะเน้นถึงประเภทของก๊าซต่างๆ ที่ใช้ในอุตสาหกรรมเพียงประเภทเดียวและวิธีการที่สารไฮเทคเหล่านี้ใช้ในการผลิตสิ่งของที่เราพึ่งพาจริงๆ ก๊าซประเภทต่างๆ มากมายที่ใช้ในโลกของการผลิตสารกึ่งตัวนำ สารกึ่งตัวนำถูกสร้างขึ้นโดยใช้กระบวนการที่ซับซ้อน เช่น การกัด การสะสม และการทำความสะอาด คุณสมบัติและการใช้งานต่างๆ ของก๊าซเหล่านี้แตกต่างกันไปตามการใช้งานเฉพาะหรือสภาวะบรรยากาศ ไม่ว่าจะเป็นในซัพพลายเออร์ก๊าซอุตสาหกรรม ซัพพลายเออร์ก๊าซเซมิคอนดักเตอร์เฉพาะทางที่มีชื่อเสียง หรือในห้องปฏิบัติการ โดยให้สเปกตรัมที่ครอบคลุมซึ่งเหมาะกับพวกเขาทั้งหมดพร้อมคุณลักษณะที่สำคัญที่จำเป็นในการบรรลุภารกิจตามความตั้งใจ สำหรับวันนี้ ในเรื่องนี้ เราจะแนะนำก๊าซชั้นนำบางส่วนที่ใช้สำหรับกระบวนการผลิตวัสดุ ไซเลน SiH4: ก๊าซนี้ไม่มีสีและยังแสดงเป็นวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฐานเป็นซิลิกอนที่สำคัญ เป็นที่ทราบกันดีว่ามีความคล่องตัวสูงและทำปฏิกิริยากับออกซิเจนและน้ำได้อย่างรวดเร็วเพื่อสร้างซิลิกอนออกไซด์ SiO และก๊าซไฮโดรเจน ไซเลนสามารถใช้ในการวางวัสดุที่มีฐานเป็นซิลิกอน เช่น SiNx ได้อย่างรวดเร็วหรือที่อุณหภูมิค่อนข้างต่ำ ธาตุไนโตรเจน N2: ก๊าซนี้เป็นสารเฉื่อยและป้องกันการออกซิเดชัน มีการผลิตอย่างต่อเนื่องและจำเป็นสำหรับการล้างอุปกรณ์ในกระบวนการบำรุงรักษาเพื่อขจัดการพุ่งสูงของ O2 และความชื้น ก๊าซดังกล่าวจะใช้เพื่ออำนวยความสะดวกและขนส่งกิจกรรมของก๊าซอื่นๆ เช่นกัน ทำหน้าที่เป็นก๊าซพาหะในการสะสมไอของนิโครมและการสะสมไอของนิโครมที่ปรับปรุงด้วยพลาสมา

ไฮโดรเจน (H2) - ไฮโดรเจนใช้เป็นก๊าซรีดิวซ์โดยกำจัดสิ่งเจือปนออกจากวัสดุ ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไฮโดรเจนเป็นขั้นตอนสำคัญสำหรับกระบวนการต่างๆ เช่น การอบและการทำความสะอาด นอกจากนี้ ไฮโดรเจนยังใช้ในการผลิตเกตโลหะซึ่งใช้สำหรับการผลิตอุปกรณ์ CMOS ขั้นสูง

ออกซิเจนที่เสถียร (O2/O) - ป้อนแผ่นงานและข้อมูลจำเพาะเวลานำ ฯลฯ ในขณะที่ออกซิเจนถูกนำมาใช้ในกระบวนการพลาสมาหลายอย่าง เช่น การกัดกร่อนและการลอก/เถ้า ]]> แต่ยังทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นในการออกซิไดซ์วัสดุที่เป็นซิลิกอนให้เป็น SiOx หรือทำให้พื้นผิวโลหะเฉื่อยผ่านออกซิเดชันอีกด้วย

คลอรีน (Cl2): คลอรีนเป็นของเหลวสีเหลืองหรือสีแดง มีลักษณะเป็นไอระเหย มีกลิ่นฉุน ก๊าซชนิดนี้ทำปฏิกิริยากับวัสดุที่มีฐานเป็นซิลิกอน ซิลิกอนไดออกไซด์ และโลหะหลายชนิด เช่น อะลูมิเนียม ได้ดี โดยถูกนำไปใช้งานในการกัดกร่อนโครงสร้างเซมิคอนดักเตอร์

ค้นพบการใช้งานก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำและประโยชน์

ข้อเท็จจริงที่ว่าก๊าซถูกนำมาใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้นำไปสู่การสร้างอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีความเที่ยงตรงสูง ซึ่งผลิตขึ้นจากความสามารถในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่เพิ่มขึ้น นอกจากนี้ ก๊าซยังมีการใช้งานและข้อได้เปรียบที่สำคัญหลายประการในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อีกด้วย

ก๊าซต่างๆ เช่น ไซเลน แอมโมเนีย และไนโตรเจน ใช้ในการสะสมซิลิกอนออกไซด์หรือไนไตรด์ ซึ่งจะเป็นฟิล์มบางๆ ของสารกึ่งตัวนำ

การกัดกร่อน: ใช้เพื่อกำจัดวัสดุหรือลวดลายที่ไม่ต้องการออกจากสารกึ่งตัวนำโดยใช้ก๊าซ เช่น คลอรีน ฟลูออรีน และออกซิเจน

ก๊าซกระบวนการ: ไฮโดรเจนและไนโตรเจนเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการทำงานของอุปกรณ์ทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ (การทำให้บริสุทธิ์) เพื่อลดสิ่งเจือปนที่อาจส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์

การล้าง: การใช้งานหลักอย่างหนึ่งคือการทำหน้าที่เป็นก๊าซล้างเมื่องานบำรุงรักษาอุปกรณ์กำลังดำเนินอยู่ เพื่อกำจัดออกซิเจนและความชื้นออกจากระบบ ทำให้วัสดุต่างๆ อยู่ในสภาพที่พร้อมใช้งาน

เหตุใดจึงเลือกใช้ก๊าซ AGEM ที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์?

หมวดหมู่ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

ไม่พบสิ่งที่คุณกำลังมองหาใช่ไหม
ติดต่อที่ปรึกษาของเราสำหรับผลิตภัณฑ์ที่มีเพิ่มเติม

ขอใบเสนอราคาตอนนี้